ប្លាស្មាបង្កើនការបញ្ចេញចំហាយគីមី

លក្ខណៈសម្បត្តិប្លាស្មា
ធម្មជាតិនៃប្លាស្មានៅក្នុងប្លាស្មា បញ្ចេញចំហាយគីមីដែលពង្រឹងទៅលើប្លាស្មាគឺថាវាពឹងផ្អែកលើថាមពល kinetic នៃអេឡិចត្រុងនៅក្នុងប្លាស្មាដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិកម្មគីមីសកម្មក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន។ដោយសារប្លាស្មាគឺជាបណ្តុំនៃអ៊ីយ៉ុង អេឡិចត្រុង អាតូមអព្យាក្រឹត និងម៉ូលេគុល វាមានអព្យាក្រឹតអគ្គិសនីនៅកម្រិតម៉ាក្រូស្កូប។នៅក្នុងប្លាស្មាមួយ បរិមាណថាមពលដ៏ច្រើនត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្នុងថាមពលខាងក្នុងនៃប្លាស្មា។ប្លាស្មាដំបូងត្រូវបានបែងចែកទៅជាប្លាស្មាក្តៅ និងប្លាស្មាត្រជាក់។នៅក្នុងប្រព័ន្ធ PECVD វាគឺជាប្លាស្មាត្រជាក់ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញឧស្ម័នសម្ពាធទាប។ប្លាស្មានេះផលិតដោយការបញ្ចេញសម្ពាធទាបក្រោមពីរបីរយ Pa គឺជាប្លាស្មាឧស្ម័នដែលមិនមានលំនឹង។
ធម្មជាតិនៃប្លាស្មានេះមានដូចខាងក្រោម៖
(1) ចលនាកម្ដៅមិនទៀងទាត់នៃអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងលើសពីចលនាដែលដឹកនាំរបស់ពួកគេ។
(2) ដំណើរការអ៊ីយ៉ូដរបស់វាត្រូវបានបង្កឡើងជាចម្បងដោយការប៉ះទង្គិចនៃអេឡិចត្រុងលឿនជាមួយនឹងម៉ូលេគុលឧស្ម័ន។
(3) ថាមពលចលនាកម្ដៅជាមធ្យមនៃអេឡិចត្រុងគឺ 1 ទៅ 2 លំដាប់នៃរ៉ិចទ័រខ្ពស់ជាងភាគល្អិតធ្ងន់ដូចជា ម៉ូលេគុល អាតូម អ៊ីយ៉ុង និងរ៉ាឌីកាល់សេរី។
(4) ការបាត់បង់ថាមពលបន្ទាប់ពីការប៉ះទង្គិចនៃអេឡិចត្រុងនិងភាគល្អិតធ្ងន់អាចត្រូវបានផ្តល់សំណងពីវាលអគ្គីសនីរវាងការប៉ះទង្គិច។
វាពិបាកក្នុងការកំណត់លក្ខណៈប្លាស្មាគ្មានលំនឹងសីតុណ្ហភាពទាបជាមួយនឹងប៉ារ៉ាម៉ែត្រមួយចំនួនតូចព្រោះវាជាប្លាស្មាសីតុណ្ហភាពទាបនៅក្នុងប្រព័ន្ធ PECVD ដែលសីតុណ្ហភាពអេឡិចត្រុង Te មិនដូចសីតុណ្ហភាព Tj នៃភាគល្អិតធ្ងន់នោះទេ។នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា PECVD មុខងារចម្បងនៃប្លាស្មាគឺផលិតអ៊ីយ៉ុងសកម្មគីមី និងរ៉ាឌីកាល់សេរី។អ៊ីយ៉ុង និងរ៉ាឌីកាល់សេរីទាំងនេះមានប្រតិកម្មជាមួយអ៊ីយ៉ុង អាតូម និងម៉ូលេគុលផ្សេងទៀតក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន ឬបណ្តាលឱ្យខូចខាតបន្ទះឈើ និងប្រតិកម្មគីមីលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយទិន្នផលនៃសារធាតុសកម្មគឺជាមុខងារនៃដង់ស៊ីតេអេឡិចត្រុង កំហាប់ប្រតិកម្ម និងមេគុណទិន្នផល។ម៉្យាងទៀតទិន្នផលនៃសម្ភារៈសកម្មគឺអាស្រ័យលើកម្លាំងវាលអគ្គិសនី សម្ពាធឧស្ម័ន និងចន្លោះទំនេរជាមធ្យមនៃភាគល្អិតនៅពេលប៉ះទង្គិច។នៅពេលដែលឧស្ម័ន reactant នៅក្នុងប្លាស្មា dissociates ដោយសារតែការប៉ះទង្គិចនៃអេឡិចត្រុងថាមពលខ្ពស់, របាំងធ្វើឱ្យសកម្មនៃប្រតិកម្មគីមីអាចត្រូវបានយកឈ្នះហើយសីតុណ្ហភាពនៃឧស្ម័ន reactant អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ។ភាពខុសគ្នាចំបងរវាង PECVD និង CVD ធម្មតាគឺថាគោលការណ៍នៃទែរម៉ូឌីណាមិកនៃប្រតិកម្មគីមីគឺខុសគ្នា។ការបែកខ្ញែកនៃម៉ូលេគុលឧស្ម័ននៅក្នុងប្លាស្មាគឺមិនជ្រើសរើសទេ ដូច្នេះស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ដោយ PECVD គឺខុសគ្នាទាំងស្រុងពី CVD ធម្មតា។សមាសភាពដំណាក់កាលដែលផលិតដោយ PECVD ប្រហែលជាមិនមានលំនឹងតែមួយទេ ហើយការបង្កើតរបស់វាមិនត្រូវបានកំនត់ដោយ kinetics លំនឹងទៀតទេ។ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តធម្មតាបំផុតគឺស្ថានភាពអាម៉ូញាក់។

លក្ខណៈពិសេសរបស់ PECVD
(1​) សីតុណ្ហភាព​ទាប​។
(2) កាត់បន្ថយភាពតានតឹងខាងក្នុងដែលបណ្តាលមកពីភាពមិនស៊ីគ្នានៃមេគុណពង្រីកលីនេអ៊ែរនៃសម្ភារៈភ្នាស/មូលដ្ឋាន។
(3) អត្រានៃការដាក់ប្រាក់គឺខ្ពស់គួរសម ជាពិសេសការទម្លាក់សីតុណ្ហភាពទាប ដែលអំណោយផលដល់ការទទួលបានខ្សែភាពយន្តអាម៉ូញ៉ូម និងមីក្រូគ្រីស្តាល់។

ដោយសារដំណើរការសីតុណ្ហភាពទាបនៃ PECVD ការខូចខាតកម្ដៅអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ ការសាយភាយទៅវិញទៅមក និងប្រតិកម្មរវាងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត និងសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ។ល។ សម្រាប់ការងារឡើងវិញ។សម្រាប់ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំជ្រុល (VLSI, ULSI) បច្ចេកវិទ្យា PECVD ត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីត្រាត (SiN) ជាខ្សែភាពយន្តការពារចុងក្រោយបន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភ្លើង Al electrode ក៏ដូចជាការរុញភ្ជាប់ និង ការបង្កើតខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនអុកស៊ីដជាអ៊ីសូឡង់អន្តរស្រទាប់។ក្នុងនាមជាឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើង បច្ចេកវិទ្យា PECVD ក៏ត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យក្នុងការផលិតត្រង់ស៊ីស្ទ័រខ្សែភាពយន្តស្តើង (TFTs) សម្រាប់អេក្រង់ LCD ជាដើម ដោយប្រើកញ្ចក់ជាស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងវិធីសាស្ត្រម៉ាទ្រីសសកម្ម។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាទៅជាទ្រង់ទ្រាយធំនិងសមាហរណកម្មខ្ពស់ជាងមុននិងការប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៃឧបករណ៍ semiconductor សមាសធាតុ PECVD ត្រូវបានគេតម្រូវឱ្យត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពទាបនិងដំណើរការថាមពលអេឡិចត្រុងខ្ពស់។ដើម្បីបំពេញតម្រូវការនេះ បច្ចេកវិជ្ជាដែលអាចសំយោគខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពរាបស្មើខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពទាបត្រូវបានបង្កើតឡើង។ខ្សែភាពយន្ត SiN និង SiOx ត្រូវបានសិក្សាយ៉ាងទូលំទូលាយដោយប្រើប្លាស្មា ECR និងបច្ចេកវិជ្ជាការបំភាយឧស្ម័នគីមីប្លាស្មាថ្មី (PCVD) ជាមួយនឹងប្លាស្មា helical ហើយបានឈានដល់កម្រិតជាក់ស្តែងក្នុងការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់អន្តរស្រទាប់សម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ។ល។