He maha nga tau e whakamahia ana te hangarau whakahekenga PVD hei hangarau whakarereke mata hou, ina koa te hangarau whakakikorua katote korehau, kua nui te whakawhanaketanga i roto i nga tau tata nei, a kua whakamahia nuitia inaianei mo te maimoatanga o nga taputapu, nga miihini, nga mowhiti piston, nga taputapu me etahi atu waahanga. Ko nga taputapu whakakikoruatia e te hangarau whakakikorua katote korehau ka taea te whakaiti i te whakarea waku, te whakapai ake i nga kakahu me etahi anti-corrosion, a kua waiho hei arotahi me te waahi wera o te rangahau i roto i te waahanga o te hangarau whakapakari mata taputapu.
Ko nga mea e whakamahia ana mo nga taputapu ko te nuinga o te rino, te rino whakarewa, te rino, te konganuku kore (parahi, konumohe) me nga kirihou. Ko te maitai ko te 45 maitai, 35SiMn, 40Cr, 40CrNi, 40MnB, 38CrMoAl. Wao waro iti te nuinga whakamahia i roto i 20Cr, 20CrMnTi, 20MnB, 20CrMnTo. He pai ake te whakamahi i te rino whariki i roto i nga miihini na te mea he pai ake te mahi, i te nuinga o te waa ka whakamahia te rino whakarewa ki te hanga taputapu me te diameter> 400mm me te hanganga uaua. Maka rino nihowhiti anti-kāpia me te pitting ātete, engari te kore o te pānga me te mau ātete, te nuinga mo te mahi pūmau, te mana he kore tere iti ranei rahi nui me te hanga matatini, ka taea te mahi i raro i te huru o te kore o te whakahinuhinu , e tika ana mo te tuku tuwhera. Ko nga konganuku kore-ferrous e whakamahia nuitia ana ko te parahi tine, konumohe-rino parahi me te whakarewa konumohe koranu konumohe, e whakamahia nuitia ana i roto i te hanga o nga turbine me nga taputapu, engari he ngoikore nga taonga whakaheke me te aukati, mo te maamaa anake, mo te utaina reo me nga taputapu iti-tere. Ko nga taputapu miihini-kore e whakamahia ana i etahi waahi me nga whakaritenga motuhake, penei i te whakahinuhinu kore-hinu me te tino pono. Ko te mara o nga tikanga penei i te parahanga iti, penei i nga taputapu whare, taputapu rongoa, miihini kai me nga miihini kakano.
He taputapu whakakikorua taputapu
Ko nga taonga miihini miihini he mea tino pai rawa atu te kaha me te pakeke, ina koa he pai rawa atu te wera, te iti o te waiariki me te whakawhänui i te waiariki, te kaha o te kakahu me te aukati waiariki. He maha nga rangahau i whakaatu ko nga taonga uku he atete ki te wera me te iti o te kakahu ki nga konganuku. Na reira, ko te whakamahi i nga taonga karaima hei utu mo nga taonga whakarewa mo nga waahanga kakahu-atete ka taea te whakapai ake i te oranga o te riipene waku, ka tutuki etahi o nga mea teitei o te pāmahana me nga taputapu whakakakahu teitei, he maha nga mahi me etahi atu whakaritenga uaua. I tenei wa, kua whakamahia nga taonga miihini miihini ki te hanga i nga waahanga wera-wera miihini, te tuku miihini i nga waahanga kakahu, nga taputapu matū i roto i nga waahanga aukati-waikura me nga waahanga hiri, e whakaatu ana i te whanuitanga o te whakamahi i nga taonga karaima.
Ko nga whenua whakawhanake penei i Tiamana, Japan, United States, United Kingdom me etahi atu whenua e piri nui ana ki te whakawhanaketanga me te tono o nga rawa miihini miihini, te whakapau moni nui me te tangata ki te whakawhanake i te ariā tukatuka me te hangarau o te miihini miihini. Kua whakarewahia e Tiamana tetahi kaupapa e kiia nei ko “SFB442″, ko te kaupapa he whakamahi hangarau PVD ki te whakahiato i tetahi kiriata pai ki runga i te mata o nga waahanga hei whakakapi i te momo whakahinuhinu kino ki te taiao me te tinana o te tangata. ka taea e nga kiriata kua whakatakotoria ki te mata te whakakapi i te mahi a te pehanga nui o nga taapiri whakakakahu i a Joachim, Franz et al i Tiamana i whakamahi i te hangarau PVD ki te whakarite i nga kiriata WC/C e whakaatu ana i te pai o nga mea whakahinuhinu e mau ana i nga taapiri EP, he hua ano ka taea te whakakapi i nga koti Pūtaiao Rauemi, Te Whare Wananga Hangarau o Aachen, Tiamana, me nga putea mai i te DFG (GermanResearch Commission), i whakaatu i te pikinga nui o te aukati ngenge i muri i te whakatakoto i nga kiriata e tika ana i runga i te maitai 100Cr6 ma te whakamahi i te hangarau PVD I tua atu, kua timata te United States General Motors i roto i tana momo VolvoS80Turbo mo te ahua o te kiriata whakahekenga o te motokoto waka ki te whakapai ake i te ingoa o te kamupene whakaraerae o Timken0; Ko te tohu hokohoko kua rehitatia kua puta te paninga taputapu MAXIT i Tiamana kua rehitatia a Graphit-iC me Dymon-iC Ko nga paninga Gear me nga tohu tohu kua rehitatia ko Graphit-iC me Dymon-iC kei te UK.
I te mea he waahanga nui e manawapa ana mo te tuku miihini, he waahi nui nga taputapu ki roto i te umanga, na reira he mea tino nui ki te ako i te tono o nga rawa uku ki nga taputapu. I tenei wa, ko nga miihini miihini e whakamahia ana ki nga taputapu ko nga mea e whai ake nei.
1, paparanga paninga TiN
1, TiN
Katote paninga TiN paparanga uku ko tetahi o te mata tino whakamahia paninga whakarerekētia ki te pakeke teitei, kaha adhesion tiketike, whakarea waku iti, pai te waikura ātete, me ētahi atu Kua whakamahia whānuitia i roto i ngā mara, rawa i roto i te taputapu me te ahumahi pokepokea ai. Ko te take nui e pa ana ki te tono paninga uku ki nga taputapu ko te raru hononga i waenga i te paninga uku me te tïpako. I te mea he uaua rawa atu nga tikanga mahi me nga awe o nga taputapu i nga taputapu me nga miihini, ka tino aukati te tono o te paninga TiN kotahi ki te maimoatanga mata taputapu. Ahakoa ko te paninga uku he painga o te pakeke teitei, te iti o te whakarea waku me te aukati waikura, he pakarukaru, he uaua hoki ki te whiwhi i te paninga matotoru, na reira me kaha te uaua me te taputapu kaha teitei hei tautoko i te paninga kia taea ai te purei i ona ahuatanga. Na reira, ko te paninga uku te nuinga e whakamahia ana mo te carbide me te mata maitai-tere. He ngawari te taputapu taputapu ki te whakataurite ki nga taonga karaima, he nui te rereketanga i waenga i te ahua o te tïpako me te paninga, no reira he ngoikore te whakakotahitanga o te paninga me te tïpako, a kaore e ranea te paninga ki te tautoko i te paninga, ka ngawari te taka o te paninga i te wa e whakamahia ana, ehara i te mea ka taea e koe te takaro i nga painga o te paninga uku, engari ko te maru o te paninga ka mau te tere o te matūriki. taputapu. Ko te otinga o naianei ko te whakamahi i te hangarau maimoatanga mata hiato hei whakapai ake i te hononga i waenga i te uku me te tïpako. Ko te hangarau maimoatanga mata hiato e pa ana ki te whakakotahitanga o te whakakikoruatanga kohu tinana me etahi atu tukanga maimoatanga mata, whakakikorua ranei, ma te whakamahi i nga papanga motuhake e rua/raro ki te whakarereke i te mata o te rauemi tïpako ki te whiwhi i nga taonga miihini hiato e kore e taea te whakatutuki i te mahinga maimoatanga mata kotahi. Ko te paninga hiato TiN i whakatakotoria e te katote nitriding me te PVD tetahi o nga paninga hiato kua tino rangahaua. He kaha te here o te taputapu nitriding plasma me te paninga hiato TiN, ka tino pai ake te aukati kakahu.
Ko te matotoru tino pai o te paparanga kiriata TiN me te aukati kakahu pai me te hononga turanga kiriata e pa ana ki te 3 ~ 4μm. Mena he iti iho i te 2μm te matotoru o te paparanga kiriata, kaore e tino pai ake te aukati kakahu. Mena he nui atu i te 5μm te matotoru o te paparanga kiriata, ka heke te hononga turanga kiriata.
2、Paranga maha, paninga TiN maha-waahanga
Na te kaha me te whanui o te tono paninga TiN, he nui ake nga rangahau mo te whakapai me te whakarei ake i nga paninga TiN. I roto i nga tau tata nei, kua whakawhanakehia nga paninga maha-waahanga me nga paparanga maha i runga i nga paninga TiN rua, penei i te Ti-CN, Ti-CNB, Ti-Al-N, Ti-BN, (Tix, Cr1-x) N, TiN/Al2O3, me etahi atu. ka taea te whakapai ake i te pakeke me te kaha piri o nga paninga.
Na te uaua o te titonga maha, he maha nga tautohetohe i roto i tenei rangahau. I roto i te rangahau o (Tix,Cr1-x)N nga whakakikoruatanga maha, he tautohetohe nui kei roto i nga hua rangahau. Ko etahi e whakapono ana ko nga paninga (Tix,Cr1-x)N kei runga i te TiN, ka taea anake te noho a Cr i te ahua o te otinga totoka whakakapinga i roto i te matrix ira TiN, engari ehara i te waahanga CrN motuhake. Ko etahi atu rangahau e whakaatu ana he iti te maha o nga ngota Cr e whakakapi tika ana i nga ngota Ti i roto i nga paninga (Tix,Cr1-x)N, a ko te toenga o te Cr kei roto i te ahua kotahi, ka hanga pūhui ranei me te N. Ko nga hua whakamatautau e whakaatu ana ko te taapiri o te Cr ki te paninga ka whakaitihia te rahi o te matūriki o te mata me te whakanui ake i te pakeke, me te pakeke o te paninga ka eke ki te 3% teitei o te uara o roto. o te paninga hoki tae tona uara mōrahi.
3, Ētahi atu paparanga paninga
Hei taapiri atu ki nga paninga TiN e whakamahia nuitia ana, he maha nga miihini miihini rereke e whakamahia ana hei whakapakari i te mata taputapu.
(1)Y. Terauchi et al. o Hapani i rangahau i te atete ki te kakahu waku o te titanium carbide me te titanium nitride taputapu uku i whakatakotoria e te tikanga whakaheke kohu. Ko nga taputapu he mea karamu, ka orohia kia eke ki te pakeke o te mata e tata ana ki te HV720 me te taratara o te mata o te 2.4 μm i mua i te paninga, a ko nga paninga uku i whakaritea e te waipara matū matū (CVD) mo te titanium carbide me te whakapohehe tinana (PVD) mo te titanium nitride, me te matotoru o te kiriata μm. I tirotirohia nga ahuatanga kakahu waku i te aroaro o te hinu me te waku maroke. I kitea i tino whakanuia te parenga kawa me te karawarawa o te taputapu taputapu i muri i te paninga ki te uku.
(2) Ko te paninga hiato o te Ni-P me te TiN kua whakakikoruatia ma te whakamaarama i mua i te whakakikorua i te Ni-P hei paparanga whakawhiti, katahi ka whakatakotohia te TiN. Ko te rangahau e whakaatu ana kua pai ake te pakeke o te mata o tenei paninga hiato ki tetahi waahanga, a he pai ake te hono o te paninga ki te tïpako me te pai ake o te whakakakahu.
(3) WC/C, B4C kiriata angiangi
M. Murakawa et al., Te Tari Hangarau Hangarau, Japan Institute of Technology, i whakamahi i te hangarau PVD ki te whakatakoto i te kiriata angiangi WC/C i runga i te mata o nga taputapu, a ko tona oranga mahi e toru nga wa o nga taputapu kua tineia me te whenua i raro i nga tikanga whakahinuhinu kore hinu. Franz J et al. i whakamahia te hangarau PVD ki te whakatakoto i te WC/C me te B4C te kiriata angiangi i runga i te mata o nga taputapu FEZ-A me te FEZ-C, a, ko te whakamatautau i whakaatu ko te paninga PVD i tino whakahekehia te waku o te taputapu, ka iti ake te kaha o te taputapu ki te whakapiri wera, ki te whakapiri ranei, me te whakapai ake i te kaha o te kawenga o te taputapu.
(4) CrN kiriata
He rite nga kiriata CrN ki nga kiriata TiN i te mea he nui ake te pakeke, a, he kaha ake nga kiriata CrN ki te hauhautanga o te pāmahana teitei atu i te TiN, he pai ake te aukati i te waikura, he iti ake te ahotea o roto i nga kiriata TiN, me te pakari ake. I whakaritea e Chen Ling et tetahi kiriata tito tiAlCrN/CrN e mau ana me te pai o te hononga-a-kiriata i runga i te mata o te HSS, me te whakaaro ano hoki i te ariā whakahiatotanga o te kiriata multilayer, mena he nui te rereketanga o te kaha o te wehenga i waenga i nga papa e rua, ka uaua te whiti i te atanga ki tetahi atu paparanga, na reira ka whakakaha i te atanga me te purei o te papanga. I ako a Zhong Bin et i te paanga o te hauota ki runga i te hanganga wahanga me nga ahuatanga kakahu waku o nga kiriata CrNx, a, i kitea e te rangahau ko te tihi o te Cr2N (211) i roto i nga kiriata ka ngoikore haere, ka piki haere te tihi o te CrN (220) i te pikinga o te ihirangi N2, ka heke haere nga matūriki nui o te kiriata me te papatahi. I te 25 ml/min te N2 aeration (ko te 75 A te naianei o te arc puna, he pai te kounga o te mata o te kiriata CrN kua whakatakotohia, he pai te pakeke me te pai o te whakaahuru i te kakahu ina he 25ml/min te hikoi o te N2 (ko te 75A te pehanga kino, ko te 100V te pehanga kino).
(5) kiriata Superhard
Ko te kiriata Superhard te kiriata totoka me te pakeke nui atu i te 40GPa, he pai rawa atu te mau kakahu, he nui te parenga o te pāmahana me te iti o te whakarea waku me te iti o te whakareatanga whakareatanga waiariki, te nuinga o te kiriata taimana amorphous me te kiriata CN. Ko nga kiriata taimana amorphous he taonga amorphous, kaore he hanganga raupapa-roa, he maha nga herenga CC tetrahedral kei roto, no reira ka kiia hoki he kiriata waro amorphous tetrahedral. Ka rite ki te ahua o te kiriata waro amorphous, taimana-rite paninga (DLC) he maha ngā āhuatanga tino pai rite ki te taimana, pērā i te kawe waiariki tiketike, teitei pakeke, teitei modulus rapa, iti whakarea o te roha waiariki, pai pūmautanga matū, pai te kakahu ātete me te iti whakarea waku. Kua whakaatuhia ko te whakakikorua i nga kiriata penei i te taimana i runga i nga papa taputapu ka taea te roa te oranga o te ratonga ma te 6 me te tino whakapai ake i te kaha o te ngenge. Ko nga kiriata CN, e mohiotia ana ko nga kiriata waro-hauota amorphous, he hanganga karaihe rite ki te β-Si3N4 pūhui covalent me te mohiotia ano ko β-C3N4. Ko Liu raua ko Cohen et al. i mahi i nga tatauranga aria ma te whakamahi i nga tatauranga roopu pseudopotential mai i te kaupapa tuatahi-nature, i whakapumau he nui te kaha here o te β-C3N4, he hanganga miihini pumau, he iti rawa te noho o te ahua iti, he rite ki te taimana, he pai nga ahuatanga, ka taea te whakapai ake i te pakeke o te mata me te whakaiti i te waku o te papanga.
(6) Ētahi atu koranu kahu-ātete paparanga paninga
Kua whakamatauria hoki etahi koranu koranu kakahu-ātete paninga ki te tono ki taputapu, hei tauira, te waipara o Ni-P-Co paparanga koranu i runga i te mata niho o 45 # taputapu maitai ko te paparanga koranu ki te whiwhi ultra-pai whakahaere witi, e taea te whakawhānui i te ora ki runga ki te 1.144 ~ 1.533 wa. Kua rangahauhia ano ko te paparanga whakarewa Cu me te paninga koranu Ni-W e whakamahia ana i runga i te mata niho o te Cu-Cr-P koranu taputapu rino ki te whakapai ake i tona kaha; Ko te paninga koranu Ni-W me Ni-Co ka whakamahia ki runga i te mata niho o te HT250 nga taputapu rino ki te whakapai ake i te aukati kakahu ma te 4 ~ 6 nga wa ka whakaritea ki nga taputapu kore.
Wā tuku: Nov-07-2022