សូមស្វាគមន៍មកកាន់ក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
បដាតែមួយ

បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតហ្គែរ

ប្រភពអត្ថបទ៖ ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
អាន៖ ១០
បានចេញផ្សាយ៖ ២២-១១-០៧

បច្ចេកវិទ្យា​ដាក់​ស្រទាប់ PVD ត្រូវ​បាន​អនុវត្ត​អស់​រយៈពេល​ជាច្រើន​ឆ្នាំ​មក​ហើយ​ជា​បច្ចេកវិទ្យា​កែប្រែ​ផ្ទៃ​ថ្មី ជាពិសេស​បច្ចេកវិទ្យា​ថ្នាំកូត​អ៊ីយ៉ុង​សុញ្ញากาศ ដែល​ទទួល​បាន​ការ​អភិវឌ្ឍ​យ៉ាង​ខ្លាំង​ក្នុង​ប៉ុន្មាន​ឆ្នាំ​ថ្មីៗ​នេះ ហើយ​ឥឡូវ​នេះ​ត្រូវ​បាន​គេ​ប្រើប្រាស់​យ៉ាង​ទូលំទូលាយ​ក្នុង​ការ​ព្យាបាល​ឧបករណ៍ ផ្សិត ចិញ្ចៀន​ពីស្តុង ប្រអប់លេខ និង​សមាសធាតុ​ផ្សេងៗ​ទៀត។ ប្រអប់លេខ​ស្រោប​ដែល​រៀបចំ​ដោយ​បច្ចេកវិទ្យា​ថ្នាំកូត​អ៊ីយ៉ុង​សុញ្ញากาศ​អាច​កាត់​បន្ថយ​មេគុណ​កកិត​យ៉ាង​សំខាន់ បង្កើន​ប្រសិទ្ធភាព​ប្រឆាំង​នឹង​ការ​ពាក់ និង​ប្រឆាំង​នឹង​ការ​ច្រេះ​ជាក់លាក់ ហើយ​បាន​ក្លាយ​ជា​ចំណុច​ផ្តោត​ និង​ចំណុច​ក្តៅ​នៃ​ការ​ស្រាវជ្រាវ​ក្នុង​វិស័យ​បច្ចេកវិទ្យា​ពង្រឹង​ផ្ទៃ​ប្រអប់លេខ។
បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតហ្គែរ
សម្ភារៈទូទៅដែលប្រើសម្រាប់ប្រអប់លេខភាគច្រើនគឺដែកថែបដែលបានក្លែងធ្វើ ដែកថែបវណ្ណះ ដែកវណ្ណះ លោហធាតុមិនមែនជាតិដែក (ទង់ដែង អាលុយមីញ៉ូម) និងផ្លាស្ទិច។ ដែកថែបភាគច្រើនជាដែកថែប 45, 35SiMn, 40Cr, 40CrNi, 40MnB, 38CrMoAl។ ដែកថែបកាបូនទាបភាគច្រើនប្រើក្នុង 20Cr, 20CrMnTi, 20MnB, 20CrMnTo។ ដែកថែបវណ្ណះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងប្រអប់លេខដោយសារតែដំណើរការល្អជាងរបស់វា ខណៈពេលដែលដែកថែបវណ្ណះជាធម្មតាត្រូវបានប្រើដើម្បីផលិតប្រអប់លេខដែលមានអង្កត់ផ្ចិត > 400mm និងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគស្មាញ។ ប្រអប់លេខដែកវណ្ណះមានភាពធន់នឹងកាវ និងភាពធន់នឹងការប្រេះ ប៉ុន្តែខ្វះភាពធន់នឹងផលប៉ះពាល់ និងភាពធន់នឹងការពាក់ ជាចម្បងសម្រាប់ការងារដែលមានស្ថេរភាព ថាមពលមិនមែនល្បឿនទាប ឬទំហំធំ និងរូបរាងស្មុគស្មាញ អាចដំណើរការក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះប្រេងរំអិល សមរម្យសម្រាប់ការបញ្ជូនបើកចំហ។ លោហធាតុមិនមែនដែកដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅគឺ សំណប៉ាហាំងសំរិទ្ធ អាលុយមីញ៉ូម-ដែកសំរិទ្ធ និងយ៉ាន់ស្ព័រអាលុយមីញ៉ូមដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅក្នុងការផលិតទួរប៊ីន ឬហ្គែរ ប៉ុន្តែលក្ខណៈសម្បត្តិរអិល និងប្រឆាំងនឹងការកកិតគឺមិនល្អ សម្រាប់តែហ្គែរស្រាល បន្ទុកមធ្យម និងល្បឿនទាបប៉ុណ្ណោះ។ ហ្គែរសម្ភារៈមិនមែនដែកភាគច្រើនត្រូវបានប្រើនៅក្នុងវិស័យមួយចំនួនដែលមានតម្រូវការពិសេស ដូចជាការរំអិលដែលគ្មានប្រេង និងភាពជឿជាក់ខ្ពស់។ វិស័យដែលមានលក្ខខណ្ឌដូចជាការបំពុលទាប ដូចជាឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ក្នុងផ្ទះ ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ គ្រឿងចក្រម្ហូបអាហារ និងគ្រឿងចក្រវាយនភណ្ឌ។

សម្ភារៈថ្នាំកូតហ្គែរ

សម្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្មគឺជាសម្ភារៈដែលមានសក្តានុពលខ្លាំងជាមួយនឹងកម្លាំង និងភាពរឹងខ្ពស់ ជាពិសេសធន់នឹងកំដៅបានល្អឥតខ្ចោះ មានចរន្តកំដៅទាប និងការពង្រីកកំដៅ ធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម។ ការសិក្សាមួយចំនួនធំបានបង្ហាញថា សម្ភារៈសេរ៉ាមិចមានភាពធន់នឹងកំដៅដោយធម្មជាតិ និងមានការពាក់លោហៈទាប។ ដូច្នេះ ការប្រើប្រាស់សម្ភារៈសេរ៉ាមិចជំនួសសម្ភារៈលោហៈសម្រាប់គ្រឿងបន្លាស់ធន់នឹងការពាក់អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអាយុកាលរបស់ផ្នែកកកិត អាចបំពេញតម្រូវការមួយចំនួននៃសម្ភារៈធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ ពហុមុខងារ និងតម្រូវការរឹងមាំផ្សេងទៀត។ បច្ចុប្បន្ននេះ សម្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្មត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការផលិតគ្រឿងបន្លាស់ធន់នឹងកំដៅរបស់ម៉ាស៊ីន ប្រអប់លេខមេកានិចនៅក្នុងគ្រឿងបន្លាស់ធន់នឹងការពាក់ ឧបករណ៍គីមីនៅក្នុងគ្រឿងបន្លាស់ធន់នឹងការច្រេះ និងគ្រឿងបន្លាស់ផ្សាភ្ជាប់ ដែលបង្ហាញពីការអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៃសម្ភារៈសេរ៉ាមិច។

ប្រទេសអភិវឌ្ឍន៍ដូចជា អាល្លឺម៉ង់ ជប៉ុន សហរដ្ឋអាមេរិក ចក្រភពអង់គ្លេស និងប្រទេសដទៃទៀត បានផ្តល់សារៈសំខាន់យ៉ាងខ្លាំងដល់ការអភិវឌ្ឍ និងការអនុវត្តសម្ភារៈសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម ដោយវិនិយោគប្រាក់ និងកម្លាំងពលកម្មយ៉ាងច្រើន ដើម្បីអភិវឌ្ឍទ្រឹស្តី និងបច្ចេកវិទ្យាកែច្នៃសេរ៉ាមិចវិស្វកម្ម។ ប្រទេសអាល្លឺម៉ង់បានដាក់ឱ្យដំណើរការកម្មវិធីមួយដែលមានឈ្មោះថា "SFB442" ដែលមានគោលបំណងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីសំយោគខ្សែភាពយន្តសមស្របមួយនៅលើផ្ទៃនៃគ្រឿងបន្លាស់ ដើម្បីជំនួសឧបករណ៍រំអិលដែលអាចបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់បរិស្ថាន និងរាងកាយមនុស្ស។ ក្រុមហ៊ុន PW Gold និងអ្នកដទៃទៀតនៅក្នុងប្រទេសអាល្លឺម៉ង់បានប្រើប្រាស់មូលនិធិពី SFB442 ដើម្បីអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗនៅលើផ្ទៃនៃប៊ែររ័ររំកិល ហើយបានរកឃើញថា ការអនុវត្តប្រឆាំងនឹងការពាក់របស់ប៊ែររ័ររំកិលត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់ ហើយខ្សែភាពយន្តដែលដាក់នៅលើផ្ទៃអាចជំនួសមុខងារទាំងស្រុងនៃសារធាតុបន្ថែមប្រឆាំងនឹងការពាក់សម្ពាធខ្លាំង។ Joachim, Franz et al. នៅប្រទេសអាល្លឺម៉ង់បានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត WC/C ដែលបង្ហាញពីលក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងការអស់កម្លាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ខ្ពស់ជាងសារធាតុបន្ថែមនៃប្រេងរំអិលដែលមានសារធាតុបន្ថែម EP ដែលជាលទ្ធផលដែលផ្តល់នូវលទ្ធភាពនៃការជំនួសសារធាតុបន្ថែមដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត។ E. Lugscheider et al. មកពីវិទ្យាស្ថានវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ សាកលវិទ្យាល័យបច្ចេកទេស Aachen ប្រទេសអាល្លឺម៉ង់ ដោយមានមូលនិធិពី DFG (គណៈកម្មការស្រាវជ្រាវអាល្លឺម៉ង់) បានបង្ហាញពីការកើនឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់នៃភាពធន់នឹងការអស់កម្លាំង បន្ទាប់ពីដាក់ខ្សែភាពយន្តសមស្របលើដែកថែប 100Cr6 ដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យា PVD។ លើសពីនេះ ក្រុមហ៊ុន General Motors សហរដ្ឋអាមេរិកបានចាប់ផ្តើមនៅក្នុង... ខ្សែភាពយន្ត​ដាក់​ផ្ទៃ​ហ្គែរ​រថយន្ត VolvoS80 ប្រភេទ Turbo ដើម្បី​បង្កើន​ភាពធន់នឹង​ការ​របក​ចេញ​ពី​កម្លាំង​ពលកម្ម; ក្រុមហ៊ុន Timken ដ៏ល្បីល្បាញ​បាន​ចេញ​ផ្សាយ​ខ្សែភាពយន្ត​ផ្ទៃ​ហ្គែរ​ឈ្មោះ ES200; ថ្នាំកូត​ហ្គែរ​ពាណិជ្ជសញ្ញា​ចុះបញ្ជី MAXIT បាន​លេច​មុខ​នៅ​ប្រទេស​អាល្លឺម៉ង់; ថ្នាំកូត​ហ្គែរ​ពាណិជ្ជសញ្ញា​ចុះបញ្ជី Graphit-iC និង Dymon-iC រៀងៗ​ខ្លួន​ជាមួយ​នឹង​ពាណិជ្ជសញ្ញា​ចុះបញ្ជី Graphit-iC និង Dymon-iC ក៏មាន​នៅ​ចក្រភព​អង់គ្លេស​ផងដែរ។

ក្នុងនាមជាគ្រឿងបន្លាស់សំខាន់មួយនៃប្រព័ន្ធបញ្ជូនមេកានិច ប្រអប់លេខដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្ម ដូច្នេះវាមានសារៈសំខាន់ជាក់ស្តែងខ្លាំងណាស់ក្នុងការសិក្សាអំពីការអនុវត្តសម្ភារៈសេរ៉ាមិចលើប្រអប់លេខ។ បច្ចុប្បន្ននេះ សេរ៉ាមិចវិស្វកម្មដែលអនុវត្តចំពោះប្រអប់លេខភាគច្រើនមានដូចខាងក្រោម។

1. ស្រទាប់ថ្នាំកូត TiN
១. ទីណា

ស្រទាប់សេរ៉ាមិច TiN ស្រោបអ៊ីយ៉ុង គឺជាថ្នាំកូតកែប្រែផ្ទៃមួយក្នុងចំណោមថ្នាំកូតដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ជាមួយនឹងភាពរឹងខ្ពស់ កម្លាំងស្អិតខ្ពស់ មេគុណកកិតទាប ធន់នឹងការច្រេះល្អ ជាដើម។ វាត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យផ្សេងៗ ជាពិសេសនៅក្នុងឧស្សាហកម្មឧបករណ៍ និងផ្សិត។ មូលហេតុចម្បងដែលប៉ះពាល់ដល់ការអនុវត្តថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចលើហ្គែរគឺបញ្ហាភ្ជាប់រវាងថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយសារលក្ខខណ្ឌការងារ និងកត្តាជះឥទ្ធិពលនៃហ្គែរមានភាពស្មុគស្មាញជាងឧបករណ៍ និងផ្សិត ការអនុវត្តថ្នាំកូត TiN តែមួយលើការព្យាបាលផ្ទៃហ្គែរត្រូវបានកំណត់យ៉ាងខ្លាំង។ ទោះបីជាថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចមានគុណសម្បត្តិនៃភាពរឹងខ្ពស់ មេគុណកកិតទាប និងភាពធន់នឹងការច្រេះក៏ដោយ វាផុយស្រួយ និងពិបាកក្នុងការទទួលបានថ្នាំកូតក្រាស់ជាងនេះ ដូច្នេះវាត្រូវការស្រទាប់ខាងក្រោមរឹងខ្ពស់ និងកម្លាំងខ្ពស់ដើម្បីទ្រទ្រង់ថ្នាំកូត ដើម្បីដើរតួជាលក្ខណៈរបស់វា។ ដូច្នេះ ថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ផ្ទៃកាប៊ីដ និងដែកថែបល្បឿនលឿន។ សម្ភារៈស្ពឺមានភាពទន់បើប្រៀបធៀបទៅនឹងសម្ភារៈសេរ៉ាមិច ហើយភាពខុសគ្នារវាងលក្ខណៈនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងថ្នាំកូតគឺធំ ដូច្នេះការរួមបញ្ចូលគ្នានៃថ្នាំកូត និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺមិនល្អ ហើយថ្នាំកូតមិនគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីទ្រទ្រង់ថ្នាំកូតនោះទេ ដែលធ្វើឱ្យថ្នាំកូតងាយនឹងជ្រុះក្នុងដំណើរការប្រើប្រាស់ មិនត្រឹមតែមិនអាចដើរតួជាគុណសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែភាគល្អិតថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចដែលជ្រុះនឹងបណ្តាលឱ្យមានការពាក់សំណឹកលើស្ពឺ ដែលបង្កើនល្បឿនការបាត់បង់ការពាក់ស្ពឺ។ ដំណោះស្រាយបច្ចុប្បន្នគឺត្រូវប្រើបច្ចេកវិទ្យាព្យាបាលផ្ទៃសមាសធាតុដើម្បីកែលម្អចំណងរវាងសេរ៉ាមិច និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ បច្ចេកវិទ្យាព្យាបាលផ្ទៃសមាសធាតុសំដៅទៅលើការរួមបញ្ចូលគ្នានៃថ្នាំកូតដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត និងដំណើរការព្យាបាលផ្ទៃ ឬថ្នាំកូតផ្សេងទៀត ដោយប្រើផ្ទៃ/ផ្ទៃរងពីរដាច់ដោយឡែកពីគ្នាដើម្បីកែប្រែផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីទទួលបានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចសមាសធាតុដែលមិនអាចសម្រេចបានដោយដំណើរការព្យាបាលផ្ទៃតែមួយ។ ថ្នាំកូតសមាសធាតុ TiN ដែលដាក់ដោយអ៊ីយ៉ុងនីទ្រីឌីង និង PVD គឺជាថ្នាំកូតសមាសធាតុមួយក្នុងចំណោមថ្នាំកូតសមាសធាតុដែលត្រូវបានស្រាវជ្រាវច្រើនបំផុត។ ស្រទាប់ខាងក្រោមនីទ្រីឌីងប្លាស្មា និងថ្នាំកូតសមាសធាតុសេរ៉ាមិច TiN មានចំណងរឹងមាំ ហើយភាពធន់នឹងការពាក់ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់។

កម្រាស់ល្អបំផុតនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត TiN ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងការពាក់ និងការភ្ជាប់មូលដ្ឋានខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះគឺប្រហែល 3~4μm។ ប្រសិនបើកម្រាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តតិចជាង 2μm ភាពធន់នឹងការពាក់នឹងមិនមានភាពប្រសើរឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់ទេ។ ប្រសិនបើកម្រាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តលើសពី 5μm ការភ្ជាប់មូលដ្ឋានខ្សែភាពយន្តនឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយ។

2, ថ្នាំកូត TiN ច្រើនស្រទាប់ ច្រើនសមាសធាតុ

ជាមួយនឹងការអនុវត្តថ្នាំកូត TiN បន្តិចម្តងៗ និងរីករាលដាល មានការស្រាវជ្រាវកាន់តែច្រើនឡើងៗ អំពីរបៀបកែលម្អ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្នាំកូត TiN។ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ថ្នាំកូតពហុសមាសធាតុ និងថ្នាំកូតពហុស្រទាប់ ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយផ្អែកលើថ្នាំកូត TiN គោលពីរ ដូចជា Ti-CN, Ti-CNB, Ti-Al-N, Ti-BN, (Tix,Cr1-x)N, TiN/Al2O3 ជាដើម។ ដោយការបន្ថែមធាតុដូចជា Al និង Si ទៅក្នុងថ្នាំកូត TiN ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងភាពរឹងរបស់ថ្នាំកូតអាចត្រូវបានកែលម្អ ខណៈពេលដែលការបន្ថែមធាតុដូចជា B អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពរឹង និងកម្លាំងស្អិតរបស់ថ្នាំកូត។

ដោយសារតែភាពស្មុគស្មាញនៃសមាសធាតុចម្រុះ មានភាពចម្រូងចម្រាសជាច្រើននៅក្នុងការសិក្សានេះ។ នៅក្នុងការសិក្សាអំពីថ្នាំកូតចម្រុះ (Tix,Cr1-x)N មានភាពចម្រូងចម្រាសយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងលទ្ធផលស្រាវជ្រាវ។ មនុស្សមួយចំនួនជឿថាថ្នាំកូត (Tix,Cr1-x)N គឺផ្អែកលើ TiN ហើយ Cr អាចមាននៅក្នុងទម្រង់ជាដំណោះស្រាយរឹងជំនួសនៅក្នុងម៉ាទ្រីសចំណុច TiN ប៉ុន្តែមិនមែនជាដំណាក់កាល CrN ដាច់ដោយឡែកនោះទេ។ ការសិក្សាផ្សេងទៀតបង្ហាញថាចំនួនអាតូម Cr ដែលជំនួសអាតូម Ti ដោយផ្ទាល់នៅក្នុងថ្នាំកូត (Tix,Cr1-x)N គឺមានកំណត់ ហើយ Cr ដែលនៅសល់មាននៅក្នុងសភាពឯកត្តជន ឬបង្កើតជាសមាសធាតុជាមួយ N។ លទ្ធផលពិសោធន៍បង្ហាញថាការបន្ថែម Cr ទៅក្នុងថ្នាំកូតកាត់បន្ថយទំហំភាគល្អិតលើផ្ទៃ និងបង្កើនភាពរឹង ហើយភាពរឹងនៃថ្នាំកូតឈានដល់តម្លៃខ្ពស់បំផុតរបស់វានៅពេលដែលភាគរយម៉ាស់នៃ Cr ឈានដល់ 3l% ប៉ុន្តែភាពតានតឹងខាងក្នុងនៃថ្នាំកូតក៏ឈានដល់តម្លៃអតិបរមារបស់វាផងដែរ។

៣, ស្រទាប់ថ្នាំកូតផ្សេងទៀត

បន្ថែមពីលើថ្នាំកូត TiN ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ សេរ៉ាមិចវិស្វកម្មជាច្រើនប្រភេទត្រូវបានប្រើសម្រាប់ពង្រឹងផ្ទៃស្ពឺ។

(1)លោក Y. Terauchi និងក្រុមការងាររបស់ប្រទេសជប៉ុនបានសិក្សាពីភាពធន់នឹងការពាក់កកិតនៃឧបករណ៍សេរ៉ាមិចទីតានីញ៉ូមកាបូអ៊ីត ឬទីតានីញ៉ូមនីទ្រីតដែលដាក់ដោយវិធីសាស្ត្រដាក់ចំហាយទឹក។ ឧបករណ៍ទាំងនោះត្រូវបានដុត និងប៉ូលាដើម្បីទទួលបានភាពរឹងលើផ្ទៃប្រហែល HV720 និងភាពរដុបលើផ្ទៃ 2.4 μm មុនពេលលាបថ្នាំ ហើយថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចត្រូវបានរៀបចំដោយការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) សម្រាប់ទីតានីញ៉ូមកាបូអ៊ីត និងដោយការដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD) សម្រាប់ទីតានីញ៉ូមនីទ្រីត ដែលមានកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តសេរ៉ាមិចប្រហែល 2 μm។ លក្ខណៈសម្បត្តិពាក់កកិតត្រូវបានស៊ើបអង្កេតនៅក្នុងវត្តមាននៃការកកិតប្រេង និងស្ងួតរៀងៗខ្លួន។ វាត្រូវបានគេរកឃើញថា ភាពធន់នឹងការឡើងក្រហម និងភាពធន់នឹងការកោសរបស់វីសស្ពឺត្រូវបានបង្កើនយ៉ាងខ្លាំងបន្ទាប់ពីលាបជាមួយសេរ៉ាមិច។

(2) ថ្នាំកូតសមាសធាតុនៃ Ni-P និង TiN ដែលស្រោបដោយគីមីត្រូវបានរៀបចំឡើងដោយការស្រោប Ni-P ជាមុនជាស្រទាប់អន្តរកាល ហើយបន្ទាប់មកដាក់ TiN។ ការសិក្សាបង្ហាញថា ភាពរឹងនៃផ្ទៃនៃថ្នាំកូតសមាសធាតុនេះត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងក្នុងកម្រិតជាក់លាក់មួយ ហើយថ្នាំកូតត្រូវបានភ្ជាប់កាន់តែប្រសើរជាមួយនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម និងមានភាពធន់នឹងការពាក់កាន់តែប្រសើរ។

(3) WC/C, ខ្សែភាពយន្តស្តើង B4C
លោក M. Murakawa និង​ក្រុម​ការងារ​មកពី​នាយកដ្ឋាន​វិស្វកម្ម​មេកានិច វិទ្យាស្ថាន​បច្ចេកវិទ្យា​ជប៉ុន បាន​ប្រើប្រាស់​បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បី​ដាក់​ស្រទាប់​ស្តើង WC/C លើ​ផ្ទៃ​ហ្គែរ ហើយ​អាយុកាល​សេវាកម្ម​របស់​វា​គឺ​ច្រើនជាង​បីដង​នៃ​ហ្គែរ​ធម្មតា​ដែល​បាន​ពន្លត់ និង​ហ្គែរ​ដី​ក្រោម​លក្ខខណ្ឌ​ប្រេងរំអិល​ដែល​គ្មាន​ប្រេង។ លោក Franz J និង​ក្រុម​ការងារ​បាន​ប្រើប្រាស់​បច្ចេកវិទ្យា PVD ដើម្បី​ដាក់​ស្រទាប់​ស្តើង WC/C និង B4C លើ​ផ្ទៃ​ហ្គែរ FEZ-A និង FEZ-C ហើយ​ការពិសោធន៍​បាន​បង្ហាញ​ថា ថ្នាំកូត PVD បាន​កាត់បន្ថយ​ការកកិត​ហ្គែរ​យ៉ាងច្រើន ធ្វើឱ្យ​ហ្គែរ​មិនសូវ​ងាយ​នឹង​ស្អិត​ក្តៅ ឬ​ស្អិត​ខ្លាំង និង​បង្កើន​សមត្ថភាព​ទ្រ​ទម្ងន់​របស់​ហ្គែរ។

(4) ខ្សែភាពយន្ត CrN
ខ្សែភាពយន្ត CrN គឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងខ្សែភាពយន្ត TiN ដោយវាមានភាពរឹងខ្ពស់ជាង ហើយខ្សែភាពយន្ត CrN មានភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាង TiN មានភាពធន់នឹងការច្រេះល្អជាង ភាពតានតឹងខាងក្នុងទាបជាងខ្សែភាពយន្ត TiN និងភាពរឹងមាំល្អជាង។ Chen Ling និងបានរៀបចំខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ TiAlCrN/CrN ដែលធន់នឹងការពាក់ ជាមួយនឹងការភ្ជាប់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះដោយផ្អែកលើខ្សែភាពយន្តនៅលើផ្ទៃនៃ HSS ហើយក៏បានស្នើឡើងនូវទ្រឹស្តីនៃការដាក់ជង់ឌីស្កូបនៃខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់ ប្រសិនបើភាពខុសគ្នានៃថាមពលឌីស្កូបរវាងស្រទាប់ពីរមានទំហំធំ ការឌីស្កូបដែលកើតឡើងនៅក្នុងស្រទាប់មួយនឹងពិបាកក្នុងការឆ្លងកាត់ចំណុចប្រទាក់របស់វាទៅក្នុងស្រទាប់មួយទៀត ដោយហេតុនេះបង្កើតជាជង់ឌីស្កូបនៅចំណុចប្រទាក់ និងដើរតួនាទីក្នុងការពង្រឹងសម្ភារៈ។ Zhong Bin និងបានសិក្សាពីឥទ្ធិពលនៃមាតិកាអាសូតលើរចនាសម្ព័ន្ធដំណាក់កាល និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃការពាក់កកិតនៃខ្សែភាពយន្ត CrNx ហើយការសិក្សាបានបង្ហាញថាកំពូលឌីផ្រាក់ស្កូប Cr2N (211) នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តចុះខ្សោយបន្តិចម្តងៗ ហើយកំពូល CrN (220) កើនឡើងបន្តិចម្តងៗជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃមាតិកា N2 ភាគល្អិតធំៗនៅលើផ្ទៃខ្សែភាពយន្តថយចុះបន្តិចម្តងៗ ហើយផ្ទៃមានទំនោររាបស្មើ។ នៅពេលដែលការបញ្ចូលខ្យល់ N2 មាន ​​25 មីលីលីត្រ/នាទី (ចរន្តធ្នូប្រភពគោលដៅគឺ 75 អាំ ខ្សែភាពយន្ត CrN ដែលដាក់មានគុណភាពផ្ទៃល្អ រឹងល្អ និងធន់នឹងការពាក់ល្អឥតខ្ចោះ នៅពេលដែលការបញ្ចូលខ្យល់ N2 មាន ​​25 មីលីលីត្រ/នាទី (ចរន្តធ្នូប្រភពគោលដៅគឺ 75 អាំ សម្ពាធអវិជ្ជមានគឺ 100 វ៉ុល)។

(5) ខ្សែភាពយន្តរឹងខ្លាំង
ខ្សែភាពយន្ត Superhard គឺជាខ្សែភាពយន្តរឹងដែលមានភាពរឹងធំជាង 40GPa ធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមេគុណកកិតទាប និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប ភាគច្រើនជាខ្សែភាពយន្តពេជ្រអសណ្ឋាន និងខ្សែភាពយន្ត CN។ ខ្សែភាពយន្តពេជ្រអសណ្ឋានមានលក្ខណៈសម្បត្តិអសណ្ឋាន គ្មានរចនាសម្ព័ន្ធលំដាប់លំដោយរយៈចម្ងាយឆ្ងាយ និងមានចំណង tetrahedral CC មួយចំនួនធំ ដូច្នេះពួកវាក៏ត្រូវបានគេហៅថាខ្សែភាពយន្តកាបូនអសណ្ឋាន tetrahedral។ ក្នុងនាមជាប្រភេទខ្សែភាពយន្តកាបូនអសណ្ឋាន ថ្នាំកូតដូចពេជ្រ (DLC) មានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះជាច្រើនស្រដៀងនឹងពេជ្រ ដូចជាចរន្តកំដៅខ្ពស់ ភាពរឹងខ្ពស់ ម៉ូឌុលយឺតខ្ពស់ មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប ស្ថេរភាពគីមីល្អ ធន់នឹងការពាក់ល្អ និងមេគុណកកិតទាប។ វាត្រូវបានបង្ហាញថា ការលាបខ្សែភាពយន្តដូចពេជ្រលើផ្ទៃស្ពឺអាចពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មបាន 6 ដង និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងភាពអស់កម្លាំងយ៉ាងខ្លាំង។ ខ្សែភាពយន្ត CN ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាខ្សែភាពយន្តកាបូន-អាសូតអសណ្ឋាន មានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ស្រដៀងគ្នាទៅនឹងសមាសធាតុកូវ៉ាឡង់ β-Si3N4 ហើយត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា β-C3N4។ Liu និង Cohen et al. បានអនុវត្តការគណនាទ្រឹស្តីយ៉ាងម៉ត់ចត់ដោយប្រើការគណនាក្រុមប៉ូតង់ស្យែលក្លែងក្លាយពីគោលការណ៍ធម្មជាតិទីមួយ បានបញ្ជាក់ថា β-C3N4 មានថាមពលចងធំ រចនាសម្ព័ន្ធមេកានិចមានស្ថេរភាព យ៉ាងហោចណាស់អាចមានស្ថានភាពមិនស្ថិតស្ថេរមួយ ហើយម៉ូឌុលអេឡាស្ទិករបស់វាអាចប្រៀបធៀបទៅនឹងពេជ្រ ដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អ ដែលអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពរឹងនៃផ្ទៃ និងភាពធន់នឹងការពាក់នៃវត្ថុធាតុ និងកាត់បន្ថយមេគុណកកិត។

(6) ស្រទាប់ថ្នាំកូតធន់នឹងការពាក់នៃយ៉ាន់ស្ព័រផ្សេងទៀត
ថ្នាំកូតធន់នឹងការពាក់យ៉ាន់ស្ព័រមួយចំនួនក៏ត្រូវបានគេសាកល្បងអនុវត្តទៅលើប្រអប់លេខផងដែរ ឧទាហរណ៍ ការដាក់ស្រទាប់យ៉ាន់ស្ព័រ Ni-P-Co នៅលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ប្រអប់លេខដែក 45# គឺជាស្រទាប់យ៉ាន់ស្ព័រដើម្បីទទួលបានការរៀបចំគ្រាប់ធញ្ញជាតិដ៏ល្អិតល្អន់ ដែលអាចពន្យារអាយុកាលរហូតដល់ 1.144~1.533 ដង។ វាក៏ត្រូវបានសិក្សាផងដែរថា ស្រទាប់ដែក Cu និងថ្នាំកូតយ៉ាន់ស្ព័រ Ni-W ត្រូវបានអនុវត្តលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ប្រអប់លេខដែកវណ្ណះ Cu-Cr-P ដើម្បីបង្កើនកម្លាំងរបស់វា។ ថ្នាំកូតយ៉ាន់ស្ព័រ Ni-W និង Ni-Co ត្រូវបានអនុវត្តលើផ្ទៃធ្មេញរបស់ប្រអប់លេខដែកវណ្ណះ HT250 ដើម្បីបង្កើនភាពធន់នឹងការពាក់ 4~6 ដងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងប្រអប់លេខដែលមិនបានលាបថ្នាំ។


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៧-២០២២