ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບເກຍ

ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ PVD ໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ມາເປັນເວລາຫຼາຍປີແລ້ວໃນຖານະເປັນເຕັກໂນໂລຊີການດັດແປງພື້ນຜິວໃໝ່, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບໄອອອນສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງໄດ້ຮັບການພັດທະນາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້ ແລະ ປະຈຸບັນນີ້ໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປິ່ນປົວເຄື່ອງມື, ແມ່ພິມ, ວົງແຫວນລູກສູບ, ເກຍ ແລະ ສ່ວນປະກອບອື່ນໆ. ເກຍເຄືອບທີ່ກະກຽມໂດຍເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບໄອອອນສູນຍາກາດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ປັບປຸງການປ້ອງກັນການສວມໃສ່ ແລະ ການປ້ອງກັນການກັດກ່ອນທີ່ແນ່ນອນ, ແລະ ໄດ້ກາຍເປັນຈຸດສຸມ ແລະ ຈຸດຮ້ອນຂອງການຄົ້ນຄວ້າໃນຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຊີການເສີມສ້າງພື້ນຜິວເກຍ.

ວັດສະດຸທົ່ວໄປທີ່ໃຊ້ສຳລັບເກຍສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຫຼັກກ້າ, ເຫຼັກຫລໍ່, ເຫຼັກຫລໍ່, ໂລຫະທີ່ບໍ່ແມ່ນເຫຼັກ (ທອງແດງ, ອາລູມິນຽມ) ແລະພາດສະຕິກ. ເຫຼັກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຫຼັກ 45, 35SiMn, 40Cr, 40CrNi, 40MnB, 38CrMoAl. ເຫຼັກກາກບອນຕ່ຳສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນ 20Cr, 20CrMnTi, 20MnB, 20CrMnTo. ເຫຼັກຫລໍ່ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເກຍເນື່ອງຈາກປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າ, ໃນຂະນະທີ່ເຫຼັກຫລໍ່ມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຜະລິດເກຍທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ > 400 ມມ ແລະໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນ. ເກຍເຫຼັກຫລໍ່ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ກາວ ແລະ ການເປັນຮູ, ແຕ່ຂາດຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກະທົບ ແລະ ການສວມໃສ່, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສຳລັບວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງ, ພະລັງງານບໍ່ແມ່ນຄວາມໄວຕ່ຳ ຫຼື ຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ສາມາດເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂອງການຂາດການຫຼໍ່ລື່ນ, ເໝາະສຳລັບລະບົບສົ່ງກຳລັງແບບເປີດ. ໂລຫະທີ່ບໍ່ແມ່ນເຫຼັກທີ່ນິຍົມໃຊ້ຄື ກົ່ວທອງສຳລິດ, ອາລູມິນຽມ-ເຫຼັກທອງສຳລິດ ແລະ ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມຫລໍ່ ເຊິ່ງມັກໃຊ້ໃນການຜະລິດກັງຫັນ ຫຼື ເກຍ ແຕ່ຄຸນສົມບັດການເລື່ອນ ແລະ ຕ້ານແຮງສຽດທານບໍ່ດີ, ສະເພາະສຳລັບເກຍນ້ຳໜັກເບົາ, ເກຍຂະໜາດກາງ ແລະ ເກຍຄວາມໄວຕ່ຳເທົ່ານັ້ນ. ເກຍທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ໃນບາງຂົງເຂດທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການພິເສດ ເຊັ່ນ: ການຫລໍ່ລື່ນທີ່ບໍ່ມີນ້ຳມັນ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງ. ຂົງເຂດທີ່ມີສະພາບມົນລະພິດຕ່ຳ ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງໃຊ້ໃນຄົວເຮືອນ, ອຸປະກອນການແພດ, ເຄື່ອງຈັກອາຫານ ແລະ ເຄື່ອງຈັກແຜ່ນແພ.

ວັດສະດຸເຄືອບເກຍ

ວັດສະດຸເຊລາມິກວິສະວະກຳແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຫວັງຫຼາຍດ້ວຍຄວາມແຂງແຮງ ແລະ ຄວາມແຂງສູງ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນຳຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ, ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງ. ການສຶກສາຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າວັດສະດຸເຊລາມິກມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນໂດຍທຳມະຊາດ ແລະ ມີການສວມໃສ່ໂລຫະຕ່ຳ. ດັ່ງນັ້ນ, ການນຳໃຊ້ວັດສະດຸເຊລາມິກແທນວັດສະດຸໂລຫະສຳລັບຊິ້ນສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສາມາດປັບປຸງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງວັດສະດຸສຽດທານ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການບາງຢ່າງທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ, ຫຼາຍໜ້າທີ່ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການທີ່ທົນທານອື່ນໆ. ໃນປະຈຸບັນ, ວັດສະດຸເຊລາມິກວິສະວະກຳໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ໃນການຜະລິດຊິ້ນສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນຂອງເຄື່ອງຈັກ, ລະບົບສົ່ງກຳລັງກົນຈັກໃນຊິ້ນສ່ວນທີ່ສວມໃສ່, ອຸປະກອນເຄມີໃນຊິ້ນສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ ແລະ ຊິ້ນສ່ວນປະທັບຕາ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການນຳໃຊ້ວັດສະດຸເຊລາມິກຢ່າງກວ້າງຂວາງ.

ບັນດາປະເທດທີ່ພັດທະນາແລ້ວເຊັ່ນ: ເຢຍລະມັນ, ຍີ່ປຸ່ນ, ສະຫະລັດອາເມລິກາ, ສະຫະລາຊະອານາຈັກ ແລະ ປະເທດອື່ນໆ ໃຫ້ຄວາມສຳຄັນຢ່າງຍິ່ງຕໍ່ການພັດທະນາ ແລະ ການນຳໃຊ້ວັດສະດຸເຊລາມິກວິສະວະກຳ, ໂດຍລົງທຶນເງິນ ແລະ ກຳລັງຄົນຈຳນວນຫຼາຍເພື່ອພັດທະນາທິດສະດີການປຸງແຕ່ງ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີຂອງເຊລາມິກວິສະວະກຳ. ເຢຍລະມັນໄດ້ເປີດຕົວໂຄງການທີ່ເອີ້ນວ່າ "SFB442", ເຊິ່ງມີຈຸດປະສົງເພື່ອນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ເພື່ອສັງເຄາະຟິມທີ່ເໝາະສົມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆເພື່ອທົດແທນສື່ກາງຫລໍ່ລື່ນທີ່ອາດເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ຮ່າງກາຍຂອງມະນຸດ. PW Gold ແລະ ຄົນອື່ນໆໃນເຢຍລະມັນໄດ້ນຳໃຊ້ທຶນຈາກ SFB442 ເພື່ອນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ເພື່ອວາງຟິມບາງໆຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງລູກປືນກິ້ງ ແລະ ພົບວ່າປະສິດທິພາບຕ້ານການສວມໃສ່ຂອງລູກປືນກິ້ງໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ຟິມທີ່ວາງຢູ່ເທິງໜ້າດິນສາມາດທົດແທນໜ້າທີ່ຂອງສານເຕີມແຕ່ງຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງໄດ້ຢ່າງສົມບູນ. Joachim, Franz ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານໃນເຢຍລະມັນໄດ້ໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ເພື່ອກະກຽມຟິມ WC/C ທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດຕ້ານການເມື່ອຍລ້າທີ່ດີເລີດ, ສູງກວ່ານໍ້າມັນຫຼໍ່ລື່ນທີ່ມີສານເຕີມແຕ່ງ EP, ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຄ້າຍຄືກັນນີ້ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມເປັນໄປໄດ້ໃນການທົດແທນສານເຕີມແຕ່ງທີ່ເປັນອັນຕະລາຍດ້ວຍການເຄືອບ. E. Lugscheider ແລະ ເພື່ອນຮ່ວມງານຈາກສະຖາບັນວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ມະຫາວິທະຍາໄລເຕັກນິກ Aachen, ເຢຍລະມັນ, ໂດຍໄດ້ຮັບທຶນຈາກ DFG (ຄະນະກຳມະການຄົ້ນຄວ້າເຢຍລະມັນ), ໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນຄວາມຕ້ານທານຄວາມເມື່ອຍລ້າຫຼັງຈາກການວາງຟິມທີ່ເໝາະສົມໃສ່ເຫຼັກ 100Cr6 ໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD. ນອກຈາກນັ້ນ, ບໍລິສັດ General Motors ຂອງສະຫະລັດໄດ້ເລີ່ມຕົ້ນໃນ... ຟິມເຄືອບໜ້າດິນເກຍລົດ VolvoS80Turbo ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການເກີດຈຸດໆເມື່ອເມື່ອຍລ້າ; ບໍລິສັດ Timken ທີ່ມີຊື່ສຽງໄດ້ເປີດຕົວຟິມເຄືອບໜ້າດິນເກຍ ES200; ເຄື່ອງໝາຍການຄ້າທີ່ຈົດທະບຽນ MAXIT ໄດ້ປາກົດຢູ່ໃນເຢຍລະມັນ; ເຄື່ອງໝາຍການຄ້າທີ່ຈົດທະບຽນ Graphit-iC ແລະ Dymon-iC ຕາມລຳດັບ ການເຄືອບເກຍທີ່ມີເຄື່ອງໝາຍການຄ້າທີ່ຈົດທະບຽນ Graphit-iC ແລະ Dymon-iC ຍັງມີຢູ່ໃນສະຫະລາຊະອານາຈັກ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນອາໄຫຼ່ທີ່ສຳຄັນຂອງລະບົບສົ່ງກຳລັງກົນຈັກ, ເກຍມີບົດບາດສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳ, ສະນັ້ນມັນຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນການສຶກສາການນຳໃຊ້ວັດສະດຸເຊລາມິກໃນເກຍ. ໃນປະຈຸບັນ, ເຊລາມິກວິສະວະກຳທີ່ໃຊ້ກັບເກຍສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.

1. ຊັ້ນເຄືອບ TiN
1. ທິ້ງ

ຊັ້ນເຊລາມິກ TiN ເຄືອບໄອອອນແມ່ນໜຶ່ງໃນຊັ້ນເຄືອບທີ່ຖືກດັດແປງພື້ນຜິວທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງທີ່ສຸດ ເຊິ່ງມີຄວາມແຂງສູງ, ມີຄວາມແຂງແຮງໃນການຍຶດຕິດສູງ, ມີສຳປະສິດຄວາມເສື່ອມຕ່ຳ, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີ, ແລະອື່ນໆ. ມັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂົງເຂດ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາເຄື່ອງມື ແລະ ແມ່ພິມ. ເຫດຜົນຫຼັກທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບເຊລາມິກໃນເກຍແມ່ນບັນຫາການຍຶດຕິດລະຫວ່າງການເຄືອບເຊລາມິກ ແລະ ວັດສະດຸຮອງພື້ນ. ເນື່ອງຈາກເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກ ແລະ ປັດໄຈທີ່ມີອິດທິພົນຂອງເກຍມີຄວາມສັບສົນຫຼາຍກ່ວາເຄື່ອງມື ແລະ ແມ່ພິມ, ການນໍາໃຊ້ການເຄືອບ TiN ດຽວໃນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວເກຍແມ່ນມີຂໍ້ຈໍາກັດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ເຖິງແມ່ນວ່າການເຄືອບເຊລາມິກມີຂໍ້ດີຄືຄວາມແຂງສູງ, ສຳປະສິດຄວາມເສື່ອມຕ່ຳ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ແຕ່ມັນແຕກງ່າຍ ແລະ ຍາກທີ່ຈະໄດ້ຮັບຊັ້ນເຄືອບທີ່ໜາກວ່າ, ສະນັ້ນມັນຕ້ອງການຊັ້ນເຄືອບທີ່ມີຄວາມແຂງສູງ ແລະ ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງເພື່ອຮອງຮັບຊັ້ນເຄືອບເພື່ອໃຫ້ມີລັກສະນະຂອງມັນ. ດັ່ງນັ້ນ, ການເຄືອບເຊລາມິກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບພື້ນຜິວຄາໄບ ແລະ ເຫຼັກຄວາມໄວສູງ. ວັດສະດຸເກຍມີຄວາມອ່ອນນຸ້ມເມື່ອທຽບກັບວັດສະດຸເຊລາມິກ, ແລະຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງລັກສະນະຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ການເຄືອບແມ່ນໃຫຍ່, ດັ່ງນັ້ນການປະສົມປະສານຂອງການເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນຈຶ່ງບໍ່ດີ, ແລະການເຄືອບບໍ່ພຽງພໍທີ່ຈະຮອງຮັບການເຄືອບ, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບຫຼົ່ນອອກງ່າຍໃນຂະບວນການນຳໃຊ້, ບໍ່ພຽງແຕ່ບໍ່ສາມາດມີຂໍ້ດີຂອງການເຄືອບເຊລາມິກເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ອະນຸພາກເຄືອບເຊລາມິກທີ່ຫຼົ່ນອອກຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການສວມໃສ່ທີ່ຂັດກັບເກຍ, ເຮັດໃຫ້ການສູນເສຍການສວມໃສ່ຂອງເກຍເລັ່ງຂຶ້ນ. ວິທີແກ້ໄຂໃນປະຈຸບັນແມ່ນການໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວປະສົມເພື່ອປັບປຸງການຜູກມັດລະຫວ່າງເຊລາມິກ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ. ເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວພື້ນຜິວປະສົມໝາຍເຖິງການປະສົມປະສານຂອງການເຄືອບການວາງໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບ ແລະ ຂະບວນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ ຫຼື ການເຄືອບອື່ນໆ, ໂດຍໃຊ້ສອງພື້ນຜິວ/ຊັ້ນຮອງພື້ນແຍກຕ່າງຫາກເພື່ອດັດແປງພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸຊັ້ນຮອງພື້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄຸນສົມບັດກົນຈັກປະສົມທີ່ບໍ່ສາມາດບັນລຸໄດ້ໂດຍຂະບວນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວດຽວ. ການເຄືອບປະສົມ TiN ທີ່ວາງໂດຍໄອອອນໄນໄຕຣດິ້ງ ແລະ PVD ແມ່ນໜຶ່ງໃນການເຄືອບປະສົມທີ່ໄດ້ຮັບການຄົ້ນຄວ້າຫຼາຍທີ່ສຸດ. ຊັ້ນຮອງພື້ນໄນໄຕຣດິ້ງ plasma ແລະ ການເຄືອບປະສົມເຊລາມິກ TiN ມີການຜູກມັດທີ່ເຂັ້ມແຂງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄວາມໜາທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງຊັ້ນຟິມ TiN ທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ການຍຶດຕິດຂອງພື້ນຖານຟິມທີ່ດີເລີດແມ່ນປະມານ 3~4μm. ຖ້າຄວາມໜາຂອງຊັ້ນຟິມໜ້ອຍກວ່າ 2μm, ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຈະບໍ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຖ້າຄວາມໜາຂອງຊັ້ນຟິມຫຼາຍກວ່າ 5μm, ການຍຶດຕິດຂອງພື້ນຖານຟິມຈະຫຼຸດລົງ.

2、ຫຼາຍຊັ້ນ, ຫຼາຍອົງປະກອບ TiN ເຄືອບ

ດ້ວຍການນຳໃຊ້ການເຄືອບ TiN ທີ່ຄ່ອຍໆ ແລະ ແຜ່ຂະຫຍາຍຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ມີການຄົ້ນຄວ້າຫຼາຍຂຶ້ນເລື້ອຍໆກ່ຽວກັບວິທີການປັບປຸງ ແລະ ເສີມສ້າງການເຄືອບ TiN. ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ການເຄືອບຫຼາຍອົງປະກອບ ແລະ ການເຄືອບຫຼາຍຊັ້ນໄດ້ຖືກພັດທະນາໂດຍອີງໃສ່ການເຄືອບ TiN ແບບຄູ່, ເຊັ່ນ Ti-CN, Ti-CNB, Ti-Al-N, Ti-BN, (Tix,Cr1-x)N, TiN/Al2O3, ແລະອື່ນໆ. ໂດຍການເພີ່ມອົງປະກອບເຊັ່ນ Al ແລະ Si ໃສ່ກັບການເຄືອບ TiN, ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຜຸພັງທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມແຂງຂອງເຄືອບສາມາດປັບປຸງໄດ້, ໃນຂະນະທີ່ການເພີ່ມອົງປະກອບເຊັ່ນ B ສາມາດປັບປຸງຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດຂອງເຄືອບ.

ເນື່ອງຈາກຄວາມສັບສົນຂອງສ່ວນປະກອບຫຼາຍອົງປະກອບ, ມີການໂຕ້ຖຽງກັນຫຼາຍຢ່າງໃນການສຶກສານີ້. ໃນການສຶກສາການເຄືອບຫຼາຍອົງປະກອບ (Tix,Cr1-x)N, ມີການໂຕ້ຖຽງກັນຢ່າງໃຫຍ່ຫຼວງໃນຜົນການຄົ້ນຄວ້າ. ບາງຄົນເຊື່ອວ່າການເຄືອບ (Tix,Cr1-x)N ແມ່ນອີງໃສ່ TiN, ແລະ Cr ສາມາດມີຢູ່ໃນຮູບແບບຂອງສານລະລາຍແຂງທົດແທນໃນຈຸດແມັດຕຣິກ TiN ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ບໍ່ແມ່ນເປັນໄລຍະ CrN ແຍກຕ່າງຫາກ. ການສຶກສາອື່ນໆສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າຈຳນວນອະຕອມ Cr ທີ່ທົດແທນອະຕອມ Ti ໂດຍກົງໃນເຄືອບ (Tix,Cr1-x)N ແມ່ນມີຈຳກັດ, ແລະ Cr ທີ່ເຫຼືອຢູ່ໃນສະຖານະດ່ຽວ ຫຼື ສ້າງເປັນສານປະກອບກັບ N. ຜົນການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າການເພີ່ມ Cr ໃສ່ເຄືອບຊ່ວຍຫຼຸດຂະໜາດຂອງອະນຸພາກພື້ນຜິວ ແລະ ເພີ່ມຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມແຂງຂອງເຄືອບຈະບັນລຸຄ່າສູງສຸດເມື່ອອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງ Cr ບັນລຸ 3l%, ແຕ່ຄວາມກົດດັນພາຍໃນຂອງການເຄືອບຍັງບັນລຸຄ່າສູງສຸດ.

3, ຊັ້ນເຄືອບອື່ນໆ

ນອກເໜືອໄປຈາກການເຄືອບ TiN ທີ່ນິຍົມໃຊ້ທົ່ວໄປແລ້ວ, ເຊລາມິກວິສະວະກຳຫຼາຍຊະນິດຍັງຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອເສີມສ້າງພື້ນຜິວເກຍ.

(1) ທ່ານ Y. Terauchi ແລະ ຄະນະ ຈາກປະເທດຍີ່ປຸ່ນ ໄດ້ສຶກສາຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຂອງເກຍເຊລາມິກ titanium carbide ຫຼື titanium nitride ທີ່ວາງໄວ້ໂດຍວິທີການວາງອາຍນ້ຳ. ເກຍໄດ້ຖືກເຄືອບດ້ວຍຄາບູໄຣ ແລະ ຂັດເງົາເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວປະມານ HV720 ແລະ ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ 2.4 μm ກ່ອນການເຄືອບ, ແລະ ການເຄືອບເຊລາມິກໄດ້ຖືກກະກຽມໂດຍການວາງອາຍເຄມີ (CVD) ສຳລັບ titanium carbide ແລະ ໂດຍການວາງອາຍທາງກາຍະພາບ (PVD) ສຳລັບ titanium nitride, ດ້ວຍຄວາມໜາຂອງຟິມເຊລາມິກປະມານ 2 μm. ຄຸນສົມບັດການສວມໃສ່ຂອງແຮງສຽດທານໄດ້ຖືກກວດສອບໃນເວລາທີ່ມີນ້ຳມັນ ແລະ ແຮງສຽດທານແຫ້ງຕາມລຳດັບ. ພົບວ່າຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງຕົວຈັບເກຍໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼັງຈາກເຄືອບດ້ວຍເຊລາມິກ.

(2) ການເຄືອບປະສົມຂອງ Ni-P ແລະ TiN ທີ່ເຄືອບດ້ວຍສານເຄມີໄດ້ຖືກກະກຽມໂດຍການເຄືອບ Ni-P ກ່ອນເປັນຊັ້ນປ່ຽນແປງ ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຝາກ TiN. ການສຶກສາສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວຂອງເຄືອບປະສົມນີ້ໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນໃນລະດັບໜຶ່ງ, ແລະ ການເຄືອບດັ່ງກ່າວຈະຕິດກັບຊັ້ນຮອງພື້ນໄດ້ດີຂຶ້ນ ແລະ ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ໄດ້ດີຂຶ້ນ.

(3) ຟິມບາງໆ WC/C, B4C
ທ່ານ M. Murakawa ແລະ ຄະນະ, ພະແນກວິສະວະກຳກົນຈັກ, ສະຖາບັນເຕັກໂນໂລຊີຍີ່ປຸ່ນ, ໄດ້ນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ເພື່ອຝາກຟິມບາງ WC/C ລົງເທິງໜ້າຜິວຂອງເກຍ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງມັນສູງກວ່າເກຍທຳມະດາເຖິງສາມເທົ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຫລໍ່ລື່ນທີ່ບໍ່ມີນ້ຳມັນ. Franz J ແລະ ຄະນະ ໄດ້ນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ PVD ເພື່ອຝາກຟິມບາງ WC/C ແລະ B4C ລົງເທິງໜ້າຜິວຂອງເກຍ FEZ-A ແລະ FEZ-C, ແລະ ການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າການເຄືອບ PVD ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານຂອງເກຍໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ເກຍມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການຕິດກາວຮ້ອນ ຫຼື ການຕິດກາວໜ້ອຍລົງ, ແລະ ປັບປຸງຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ຳໜັກຂອງເກຍ.

(4) ຟິມ CrN
ຟິມ CrN ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຟິມ TiN ເພາະມັນມີຄວາມແຂງສູງກວ່າ, ແລະຟິມ CrN ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງທີ່ອຸນຫະພູມສູງກ່ວາ TiN, ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມກົດດັນພາຍໃນຕ່ຳກວ່າຟິມ TiN, ແລະມີຄວາມທົນທານທີ່ຂ້ອນຂ້າງດີກວ່າ. Chen Ling ແລະ ຍັງໄດ້ກະກຽມຟິມປະສົມ TiAlCrN/CrN ທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ມີການຍຶດຕິດທີ່ອີງໃສ່ຟິມທີ່ດີເລີດຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງ HSS, ແລະຍັງໄດ້ສະເໜີທິດສະດີການຈັດວາງການເຄື່ອນທີ່ຂອງຟິມຫຼາຍຊັ້ນ, ຖ້າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງພະລັງງານການເຄື່ອນທີ່ລະຫວ່າງສອງຊັ້ນມີຂະໜາດໃຫຍ່, ການເຄື່ອນທີ່ທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນຊັ້ນໜຶ່ງຈະຍາກທີ່ຈະຂ້າມໜ້າດິນຂອງມັນໄປສູ່ອີກຊັ້ນໜຶ່ງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສ້າງການຈັດວາງການເຄື່ອນທີ່ຢູ່ທີ່ໜ້າດິນ ແລະມີບົດບາດໃນການເສີມສ້າງວັດສະດຸ. Zhong Bin ແລະ ຍັງໄດ້ສຶກສາຜົນກະທົບຂອງປະລິມານໄນໂຕຣເຈນຕໍ່ໂຄງສ້າງເຟສ ແລະຄຸນສົມບັດການສວມໃສ່ຂອງຟິມ CrNx, ແລະການສຶກສາສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າຈຸດສູງສຸດຂອງການກະຈາຍ Cr2N (211) ໃນຟິມຄ່ອຍໆອ່ອນລົງ ແລະຈຸດສູງສຸດ CrN (220) ຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນດ້ວຍການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງປະລິມານ N2, ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຟິມຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງ ແລະໜ້າດິນມັກຈະຮາບພຽງ. ເມື່ອການລະບາຍອາກາດ N2 ແມ່ນ 25 ml/ນາທີ (ກະແສໄຟຟ້າຈຸດໝາຍປາຍທາງແມ່ນ 75 A, ຟິມ CrN ທີ່ຝາກໄວ້ຈະມີຄຸນນະພາບໜ້າຜິວທີ່ດີ, ຄວາມແຂງດີ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ ເມື່ອການລະບາຍອາກາດ N2 ແມ່ນ 25 ml/ນາທີ (ກະແສໄຟຟ້າຈຸດໝາຍປາຍທາງແມ່ນ 75 A, ຄວາມດັນລົບແມ່ນ 100V).

(5) ຟິມແຂງພິເສດ
ຟິມແຂງ Superhard ແມ່ນຟິມແຂງທີ່ມີຄວາມແຂງຫຼາຍກວ່າ 40GPa, ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສຳປະສິດການສຽດທານຕ່ຳ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຟິມເພັດທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ ແລະ ຟິມ CN. ຟິມເພັດທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງມີຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ, ບໍ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ລຽງລຳດັບໄລຍະຍາວ, ແລະ ມີພັນທະບັດ CC tetrahedral ຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ, ສະນັ້ນພວກມັນຈຶ່ງຖືກເອີ້ນວ່າຟິມຄາບອນທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ tetrahedral. ໃນຖານະເປັນຟິມຄາບອນທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ, ການເຄືອບຄ້າຍຄືເພັດ (DLC) ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຫຼາຍຢ່າງທີ່ຄ້າຍຄືກັບເພັດ, ເຊັ່ນ: ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄວາມແຂງສູງ, ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງ, ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີ, ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີ ແລະ ສຳປະສິດການສຽດທານຕ່ຳ. ມັນໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າການເຄືອບຟິມຄ້າຍຄືເພັດໃສ່ໜ້າດິນເກຍສາມາດຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານໄດ້ 6 ເທົ່າ ແລະ ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຄວາມອິດເມື່ອຍຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຟິມ CN, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າຟິມຄາບອນ-ໄນໂຕຣເຈນທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ, ມີໂຄງສ້າງຜລຶກຄ້າຍຄືກັບທາດປະສົມໂຄວາເລນ β-Si3N4 ແລະ ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມ β-C3N4. Liu ແລະ Cohen ແລະ ຄະນະ. ໄດ້ປະຕິບັດການຄິດໄລ່ທາງທິດສະດີຢ່າງເຂັ້ມງວດໂດຍໃຊ້ການຄິດໄລ່ແຖບທ່າແຮງປອມຈາກຫຼັກການທຳມະຊາດທຳອິດ, ຢືນຢັນວ່າ β-C3N4 ມີພະລັງງານຜູກມັດຂະໜາດໃຫຍ່, ມີໂຄງສ້າງກົນຈັກທີ່ໝັ້ນຄົງ, ຢ່າງໜ້ອຍສາມາດມີສະຖານະທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງໄດ້ໜຶ່ງສະຖານະ, ແລະໂມດູລັດຍືດหยุ่นຂອງມັນທຽບເທົ່າກັບເພັດ, ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີ, ເຊິ່ງສາມາດປັບປຸງຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຂອງວັດສະດຸໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າສຳປະສິດການສຽດທານ.

(6) ຊັ້ນເຄືອບທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຂອງໂລຫະປະສົມອື່ນໆ
ການເຄືອບທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຂອງໂລຫະປະສົມບາງຊະນິດຍັງໄດ້ພະຍາຍາມນຳໃຊ້ກັບເກຍ, ຕົວຢ່າງ, ການວາງຊັ້ນໂລຫະປະສົມ Ni-P-Co ໃສ່ໜ້າຜິວແຂ້ວຂອງເກຍເຫຼັກ 45# ເປັນຊັ້ນໂລຫະປະສົມເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການຈັດລຽງເມັດທີ່ລະອຽດຫຼາຍ, ເຊິ່ງສາມາດຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານໄດ້ເຖິງ 1.144~1.533 ເທົ່າ. ມີການສຶກສາວ່າຊັ້ນໂລຫະ Cu ແລະ ການເຄືອບໂລຫະປະສົມ Ni-W ຖືກນຳໃຊ້ໃສ່ໜ້າຜິວແຂ້ວຂອງເກຍເຫຼັກຫຼໍ່ໂລຫະປະສົມ Cu-Cr-P ເພື່ອປັບປຸງຄວາມແຂງແຮງຂອງມັນ; ການເຄືອບໂລຫະປະສົມ Ni-W ແລະ Ni-Co ຖືກນຳໃຊ້ໃສ່ໜ້າຜິວແຂ້ວຂອງເກຍເຫຼັກຫຼໍ່ HT250 ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ໄດ້ 4~6 ເທົ່າເມື່ອທຽບກັບເກຍທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບ.