Garinimo dengimo įranga – tai įranga, naudojama plonoms plėvelėms nusodinti ant pagrindo paviršiaus. Ji plačiai naudojama optinių prietaisų, elektroninių prietaisų, dekoratyvinių dangų ir kt. srityse. Garinimo dengimui daugiausia naudojama aukšta temperatūra, kad kietos medžiagos būtų paverstos dujine būsena, o po to vakuuminėje aplinkoje nusodinamos ant pagrindo. Toliau pateikiamas garinimo dengimo įrangos veikimo principas:
Vakuuminė aplinka:
Garinimo dangos įrangos darbas turi būti atliekamas aukšto vakuumo aplinkoje, kad medžiaga garavimo metu nereaguotų su deguonimi ar kitomis ore esančiomis priemaišomis ir būtų užtikrintas nusodintos plėvelės grynumas.
Vakuuminė kamera pasiekia reikiamą vakuumo lygį naudodama tokią įrangą kaip mechaniniai siurbliai ir difuziniai siurbliai.
Garavimo šaltinis:
Garinimo šaltinis yra įtaisas, naudojamas dangos medžiagai kaitinti ir garinti. Įprasti garinimo šaltiniai yra varžinio kaitinimo šaltiniai, elektronų pluošto garinimo šaltiniai ir lazerinio garinimo šaltiniai.
Varžinis kaitinimas: medžiagos kaitinimas per varžinę vielą, kad ji išgaruotų.
Elektronų pluošto garinimas: elektronų prožektoriaus naudojimas elektronų pluoštui skleisti, siekiant tiesiogiai kaitinti padengtą medžiagą, kad ji išgaruotų.
Lazerinis garinimas: apšvitinkite medžiagą didelės energijos lazerio spinduliu, kad ji greitai išgaruotų.
Garinimo procesas:
Padengta medžiaga, veikiant aukštai garinimo šaltinio temperatūrai, iš kietos arba skystos būsenos virsta dujine būsena, sudarydama garus.
Šios garų molekulės laisvai juda vakuuminėje aplinkoje ir sklinda visomis kryptimis.
Plėvelės nusodinimas:
Garų molekulės susiduria su atvėsusiu substrato paviršiumi, kai juda, kondensuojasi ir nusėda, sudarydamos ploną plėvelę.
Substratas gali būti pasuktas arba kitaip tolygiai veikiamas garų aplinkos, kad būtų užtikrintas plėvelės vienodumas ir konsistencija.
Aušinimas ir kietėjimas:
Po nusodinimo plėvelė atvėsta ir sukietėja ant pagrindo paviršiaus, sudarydama ploną plėvelės sluoksnį, pasižymintį specifinėmis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis.
Taikymo sritys
Optinė danga: Naudojama neatspindinčioms plėvelėms, veidrodžiams, filtrams ir kitiems optiniams komponentams gaminti.
Elektroniniai įtaisai: naudojami integrinėms grandinėms, puslaidininkiniams įtaisams, ekranams ir kt. gaminti.
Dekoratyvinės dangos: naudojamos dekoracijų, laikrodžių, papuošalų ir kt. paviršiaus padengimui, siekiant pagerinti jų estetiką ir atsparumą dilimui.
Funkcinės dangos: naudojamos plėvelėms su specialiomis funkcijomis, tokiomis kaip antikorozinė, antioksidacinė ir atspari dilimui, gaminti.
Dėl didelio grynumo, vienodumo ir daugiafunkciškumo garinimo dengimo technologija buvo plačiai naudojama daugelyje didelio tikslumo ir didelės paklausos sričių.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinos gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. liepos 23 d.