ຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸແຂງໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງເພື່ອ sublimate ຫຼື evaporate ແລະຝາກໃຫ້ເຂົາເຈົ້າກ່ຽວກັບ substrate ສະເພາະເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບເປັນຮູບເງົາບາງໆເປັນທີ່ຮູ້ຈັກເປັນ vacuum evaporation coating (ເອີ້ນວ່າການເຄືອບ evaporation).
ປະຫວັດຂອງການກະກຽມຂອງຮູບເງົາບາງໆໂດຍຂະບວນການ evaporation ສູນຍາກາດສາມາດ traced ກັບ 1850′s. ໃນປີ 1857, M. Farrar ໄດ້ເລີ່ມຕົ້ນຄວາມພະຍາຍາມຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍການ evaporating ສາຍໂລຫະໃນໄນໂຕຣເຈນເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາບາງໆ. ເນື່ອງຈາກເຕັກໂນໂລຢີສູນຍາກາດຕ່ໍາໃນເວລານັ້ນ, ການກະກຽມຮູບເງົາບາງໆດ້ວຍວິທີນີ້ແມ່ນໃຊ້ເວລາຫຼາຍແລະບໍ່ໄດ້ປະຕິບັດ. ຈົນກ່ວາ 1930 ເຄື່ອງຈັກການແຜ່ກະຈາຍນ້ໍາມັນເຄື່ອງສູບນ້ໍາຮ່ວມກັນໄດ້ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ເຕັກໂນໂລຊີສູນຍາກາດສາມາດພັດທະນາຢ່າງໄວວາ, ພຽງແຕ່ເຮັດໃຫ້ການລະເຫີຍແລະການເຄືອບ sputtering ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຊີປະຕິບັດໄດ້.
ເຖິງແມ່ນວ່າການລະເຫີຍສູນຍາກາດເປັນເທກໂນໂລຍີການຝັງດິນບາງໆວັດຖຸບູຮານ, ແຕ່ວ່າມັນແມ່ນຫ້ອງທົດລອງແລະພື້ນທີ່ອຸດສາຫະກໍາທີ່ໃຊ້ໃນວິທີການທົ່ວໄປທີ່ສຸດ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນການດໍາເນີນງານງ່າຍດາຍ, ການຄວບຄຸມງ່າຍຂອງຕົວກໍານົດການ deposition ແລະຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງຮູບເງົາຜົນໄດ້ຮັບ. ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດສາມາດແບ່ງອອກເປັນສາມຂັ້ນຕອນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.
1) ອຸປະກອນການແຫຼ່ງແມ່ນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະ melted ກັບ evaporate ຫຼື sublimate; 2) vapor ໄດ້ຖືກໂຍກຍ້າຍອອກຈາກວັດສະດຸແຫຼ່ງເພື່ອ evaporate ຫຼື sublimate.
2) Vapor ຖືກໂອນຈາກວັດສະດຸແຫຼ່ງໄປສູ່ substrate.
3) vapor condenses ເທິງຫນ້າດິນ substrate ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາແຂງ.
ການລະເຫີຍສູນຍາກາດຂອງຮູບເງົາບາງໆ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນຮູບເງົາ polycrystalline ຫຼືຮູບເງົາ amorphous, ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາກັບເກາະແມ່ນເດັ່ນ, ໂດຍຜ່ານ nucleation ແລະຮູບເງົາສອງຂະບວນການ. ປະລໍາມະນູ evaporated (ຫຼືໂມເລກຸນ) collide ກັບ substrate ໄດ້, ສ່ວນຫນຶ່ງຂອງການຍຶດຕິດຖາວອນກັບ substrate, ສ່ວນຫນຶ່ງຂອງການດູດຊຶມແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ evaporate ອອກ substrate, ແລະສ່ວນຫນຶ່ງຂອງການສະທ້ອນໂດຍກົງກັບຄືນໄປບ່ອນຈາກພື້ນຜິວ substrate ໄດ້. ການຍຶດຕິດກັບພື້ນຜິວຂອງອະຕອມ (ຫຼືໂມເລກຸນ) ເນື່ອງຈາກການເຄື່ອນໄຫວຂອງຄວາມຮ້ອນສາມາດເຄື່ອນຍ້າຍຕາມພື້ນຜິວເຊັ່ນການສໍາຜັດກັບປະລໍາມະນູອື່ນໆຈະສະສົມເປັນກຸ່ມ. ສ່ວນຫຼາຍມັກ, ກຸ່ມມັກຈະເກີດຂື້ນໃນບ່ອນທີ່ຄວາມກົດດັນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນສູງ, ຫຼືໃນຂັ້ນຕອນການແກ້ໄຂຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນໄປເຊຍກັນ, ເພາະວ່ານີ້ຫຼຸດຜ່ອນພະລັງງານຟຣີຂອງອະຕອມທີ່ຖືກດູດຊຶມ. ນີ້ແມ່ນຂະບວນການ nucleation. ການປ່ອຍຕົວເພີ່ມເຕີມຂອງອະຕອມ (ໂມເລກຸນ) ສົ່ງຜົນໃຫ້ການຂະຫຍາຍຂອງກຸ່ມເກາະທີ່ມີຮູບຊົງ (ນິວເຄລຍ) ທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງຈົນກ່ວາພວກມັນຖືກຂະຫຍາຍອອກເປັນຮູບເງົາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ດັ່ງນັ້ນ, ໂຄງສ້າງແລະຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາ polycrystalline evaporated ສູນຍາກາດແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງໃກ້ຊິດກັບອັດຕາການລະເຫີຍແລະອຸນຫະພູມຂອງ substrate. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນຕໍ່າລົງ, ອັດຕາການລະເຫີຍສູງຂຶ້ນ, ເມັດຟິມຈະອ່ອນກວ່າ ແລະ ໜາແໜ້ນ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 23-03-2024