Катуу материалдарды жогорку вакуумдук чөйрөдө ысытуу процесси аларды сублимациялоо же буулантуу жана аларды белгилүү бир субстратка коюу үчүн жука пленканы алуу үчүн вакуумдук буулануу каптоосу (буулануу каптоосу) деп аталат.
Вакуумдук буулантуу процесси менен жука пленкаларды даярдоонун тарыхы 1850-жылдардан башталса болот. 1857-жылы М.Фаррар металл зымдарын азотто бууланып, жука пленкаларды пайда кылуу аркылуу вакуумдук каптоо аракетин баштаган. Ал кездеги вакуумдук технологиянын аздыгынан жука пленкаларды мындай ыкма менен даярдоо өтө көп убакытты талап кылган жана практикалык жактан анча деле пайдалуу эмес. 1930-жылга чейин мунай диффузиялык насостун механикалык насостун биргелешкен насостук системасы түзүлгөн, вакуумдук технология тез өнүгүп, буулануу жана чачыратуу катмарын практикалык технологияга айландырышы мүмкүн.
Вакуумдук буулантуу байыркы жука пленка коюу технологиясы болсо да, бирок бул эң кеңири таралган ыкмада колдонулган лабораториялык жана өнөр жай аймактары. Анын негизги артыкчылыктары жөнөкөй иштеши, чөкүү параметрлерин жеңил башкаруу жана алынган пленкалардын жогорку тазалыгы. Вакуумдук каптоо процессин төмөнкү үч этапка бөлүүгө болот.
1) баштапкы материал буулануу же сублимациялоо үчүн ысытылган жана эриген; 2) буу буулануу же сублимациялоо үчүн баштапкы материалдан чыгарылат.
2) буу баштапкы материалдан субстратка өтөт.
3) буу катуу пленка пайда кылуу үчүн субстрат бетинде конденсацияланат.
Жука пленкалардын вакуумдук буулануусу көбүнчө поликристаллдык пленка же аморфтук пленка болуп саналат, пленкадан аралга өсүү басымдуулук кылат, ядролук жана пленка эки процесс аркылуу. Бууланган атомдор (же молекулалар) субстрат менен кагылышат, субстратка туруктуу тиркеменин бир бөлүгү, адсорбциянын бир бөлүгү жана андан кийин субстраттан бууланып, субстраттын бетинен түз чагылышынын бир бөлүгү. Жылуулук кыймылынан улам атомдордун (же молекулалардын) субстрат бетине адгезиясы бетти бойлой жылып кетиши мүмкүн, мисалы, башка атомдорго тийгенде кластерлерге чогулат. Кластерлер көбүнчө субстраттын бетиндеги стресс жогору болгон жерде же кристаллдык субстраттын сольвациялык баскычтарында пайда болот, анткени бул адсорбцияланган атомдордун бош энергиясын азайтат. Бул ядролук процесс. Атомдордун (молекулалардын) андан аркы катмарлануусу жогоруда айтылган арал түрүндөгү кластерлердин (ядролордун) үзгүлтүксүз пленкага чейин кеңейишине алып келет. Демек, вакуумда бууланган поликристаллдык пленкалардын түзүлүшү жана касиеттери буулануу ылдамдыгы жана субстраттын температурасы менен тыгыз байланышта. Жалпысынан алганда, субстраттын температурасы канчалык төмөн болсо, буулануу ылдамдыгы ошончолук жогору, пленка бүртүкчөлөрү майда жана тыгызыраак болот.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 23-март-2024