진공 코팅 장비는 일반적으로 효율적이고 균일한 박막 증착을 위해 서로 협력하여 작동하는 여러 주요 구성 요소로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 고유한 기능을 수행합니다. 아래는 주요 구성 요소와 그 기능에 대한 설명입니다. 주요 구성 요소 진공 챔버: 기능: 제공...
(3) 무선 주파수 플라즈마 CVD(RFCVD) RF는 정전 용량 결합 방식과 유도 결합 방식, 두 가지 다른 방법으로 플라즈마를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. RF 플라즈마 CVD는 13.56MHz의 주파수를 사용합니다. RF 플라즈마의 장점은 마이크로파 플라즈마보다 훨씬 넓은 영역에 확산된다는 것입니다.
고온 필라멘트 CVD는 저압에서 다이아몬드를 성장시키는 가장 초기이자 가장 널리 사용되는 방법입니다. 1982년 마쓰모토(Matsumoto) 외 연구진은 내화 금속 필라멘트를 2000°C 이상으로 가열했는데, 이 온도에서 필라멘트를 통과하는 H2 가스는 쉽게 수소 원자를 생성합니다. 원자 수소의 생성은...