Habka kaydinta uumiga faakuumka guud ahaan waxaa ka mid ah tallaabooyin sida nadiifinta dusha sare ee substrate-ka, diyaarinta ka hor inta aan la dahaadhin, kaydinta uumiga, soo qaadista qaybaha, daawaynta ka dib marka la dahaadho, tijaabinta, iyo alaabada la dhammeeyay. (1) Nadiifinta dusha sare ee substrate-ka. Darbiyada qolka faakuumka, qaab-dhismeedka substrate-ka iyo kuwa kale...
Maxaad u Isticmaalaysaa Faakiyuum? Ka Hortagga Wasakhowga: Maqnaanshaha hawada iyo gaasaska kale waxay ka hortagtaa in walxaha la dhigo ay la falgalaan gaasaska jawiga, kuwaas oo wasakheyn kara filimka. Ku dhegganaanta La Hagaajiyay: La'aanta hawada waxay ka dhigan tahay in filimku si toos ah ugu dheggan yahay substrate-ka iyada oo aan lahayn hawo...
Dhinaca muraayadaha indhaha, muraayadda indhaha ama dusha sare ee quartz-ka oo lagu dahaadhay lakab ama dhowr lakab oo walxo kala duwan ah ka dib filimka, waxaad heli kartaa milicsi sare ama aan milicsi lahayn (tusaale ahaan, kordhinta awoodda filimka) ama qayb gaar ah oo ka mid ah milicsiga ama gudbinta m...
Qalabka dahaarka uumi-baxa waa nooc ka mid ah qalabka loo isticmaalo in lagu shubo walxaha filimada khafiifka ah dusha sare ee substrate-ka, kaas oo si weyn loogu isticmaalo aaladaha indhaha, aaladaha elektarooniga ah, dahaarka qurxinta iyo wixii la mid ah. Dahaarka uumi-baxa wuxuu inta badan isticmaalaa heerkul sare si uu u beddelo...
Dahaarka gudaha ee faakuumka waa nooc horumarsan oo nidaam dahaar ah oo loogu talagalay jawi wax soo saar joogto ah oo wax soo saar sare leh. Si ka duwan dahaarka dufcadda, kaas oo ka shaqeeya substrate-ka kooxo kala duwan, dahaarka gudaha wuxuu u oggolaanayaa substrate-ka inuu si joogto ah u socdo marxalado kala duwan oo habka dahaarka ah. Iyada...
(3) Heerka Raadiyaha ee Plasma CVD (RFVVD) RF waxaa loo isticmaali karaa in lagu soo saaro Balaasma laba hab oo kala duwan, habka isku xidhka awoodda iyo habka isku xidhka inductive. Heerka RF ee CVD wuxuu isticmaalaa soo noqnoqoshada 13.56 MHz. Faa'iidada Balaasma RF waa inuu ku faafo meel aad uga weyn marka loo eego Microwave-ka...
Fiilada kulul ee CVD waa habka ugu horreeya uguna caansan ee lagu beero dheemanka cadaadis hooseeya. 1982 Matsumoto et al. waxay kululeeyeen fiilada birta ah ee adkeysiga leh ilaa 2000°C, heerkulkaas oo gaaska H2 ee dhex mara fiilada uu si fudud u soo saaro atamka haydarojiin. Soo saarista haydarojiin atomi ah ayaa...