ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಪಾತ್ರ

ವಿವಿಧ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಕೋಣೆಗೆ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಪಂಪ್ ಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಜೊತೆಗೆ ಇತರ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಪಂಪ್ ಕೈಗೊಂಡ ಕೆಲಸವನ್ನು ಸ್ಪಷ್ಟಪಡಿಸುವುದು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯ, ಮತ್ತು ವಿಭಿನ್ನ ಕೆಲಸದ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಪಂಪ್ ವಹಿಸಿದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ಸಂಕ್ಷೇಪಿಸಲಾಗಿದೆ.

1, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಮುಖ್ಯ ಪಂಪ್ ಆಗಿರುವುದು
ಮುಖ್ಯ ಪಂಪ್ ಎಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪಂಪ್ ಮಾಡಿದ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪಂಪ್ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
2, ರಫ್ ಪಂಪಿಂಗ್ ಪಂಪ್
ರಫ್ ಪಂಪಿಂಗ್ ಪಂಪ್ ಎಂದರೆ ಗಾಳಿಯ ಒತ್ತಡದಿಂದ ಕಡಿಮೆಯಾಗಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಒತ್ತಡವು ಕೆಲಸ ಮಾಡಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಬಹುದಾದ ಮತ್ತೊಂದು ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ.
3, ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ಪಂಪ್
ಪ್ರಿ-ಸ್ಟೇಜ್ ಪಂಪ್ ಎನ್ನುವುದು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಆಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಮತ್ತೊಂದು ಪಂಪ್‌ನ ಪ್ರಿ-ಸ್ಟೇಜ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಅದರ ಅತ್ಯಧಿಕ ಅನುಮತಿಸಲಾದ ಪ್ರಿ-ಸ್ಟೇಜ್ ಒತ್ತಡಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
4, ಹೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಪಂಪ್
ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪಂಪಿಂಗ್ ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದಾಗ, ಹೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಪಂಪ್ ಮುಖ್ಯ ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಬಳಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗದ ಪಂಪ್ ಆಗಿದೆ. ಈ ಕಾರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಮುಖ್ಯ ಪಂಪ್‌ನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕೆಲಸವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅಥವಾ ಖಾಲಿಯಾದ ಪಾತ್ರೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಮತ್ತೊಂದು ರೀತಿಯ ಸಹಾಯಕ ಪೂರ್ವ-ಹಂತದ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
5, ಒರಟಾದ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್
ರಫ್ ಅಥವಾ ಲೋ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಎಂದರೆ ಗಾಳಿಯಿಂದ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುವ ಮತ್ತು ಪಂಪ್ ಮಾಡಿದ ಪಾತ್ರೆಯ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿದ ನಂತರ ಕಡಿಮೆ ಅಥವಾ ಒರಟಾದ ನಿರ್ವಾತ ಒತ್ತಡದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್.
6, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಎಂದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್.
7, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್
ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ ಎಂದರೆ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್.
8, ಬೂಸ್ಟರ್ ಪಂಪ್
ಬೂಸ್ಟರ್ ಪಂಪ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮಧ್ಯಮ ಒತ್ತಡದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪಂಪಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅಥವಾ ಹಿಂದಿನ ಪಂಪ್‌ನ ಪಂಪಿಂಗ್ ದರದ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ನಡುವೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.

ಅಯಾನ್ ಕ್ಲೀನರ್ ಪರಿಚಯ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನರ್
1. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಒಂದು ಅಯಾನೀಕೃತ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಧನಾತ್ಮಕ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳು ಸರಿಸುಮಾರು ಸಮಾನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಇದು ಅಯಾನುಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು, ಸ್ವತಂತ್ರ ರಾಡಿಕಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಟಸ್ಥ ಕಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
2. ಇದು ವಸ್ತುವಿನ ನಾಲ್ಕನೇ ಸ್ಥಿತಿಯಾಗಿದೆ. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಸಂಯೋಜನೆಯಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿರುವ ವಸ್ತುವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಭೌತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.
3. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವು ಮೇಲ್ಮೈ ಕಲೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ವಸ್ತುವಿನ "ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವ ಪರಿಣಾಮ" ದ "ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸ್ಥಿತಿ" ಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರಬೇಕು.
4. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಎಲ್ಲಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ತಳವಿಲ್ಲದ ಸ್ಟ್ರಿಪ್ಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯಾಗಿದೆ.ಇದನ್ನು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್, ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, COG, LCD, LCM ಮತ್ತು LED ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.
5. ಸಾಧನ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್, ನಿರ್ವಾತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಕನೆಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ರಿಲೇಗಳು, ಸೌರ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ, ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್, ರಬ್ಬರ್, ಲೋಹ ಮತ್ತು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, ಬೂದಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಜೀವ ವಿಜ್ಞಾನ ಪ್ರಯೋಗಗಳ ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳ ಮೊದಲು ನಿಖರವಾದ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ.