Буландырғыш жабын жабдығы - бұл оптикалық құрылғылар, электронды құрылғылар, сәндік жабындар және т.б. салаларда кеңінен қолданылатын субстрат бетіне жұқа пленкалық материалдарды орналастыру үшін қолданылатын жабдықтың бір түрі. Буландырғыш жабын негізінен қатты материалдарды газ тәріздес күйге айналдыру үшін жоғары температураны пайдаланады, содан кейін вакуумдық ортада субстратқа түседі. Буландыру жабынының жұмыс принципі төмендегідей:
Вакуумдық орта:
Булану кезінде материалдың ауадағы оттегімен немесе басқа қоспалармен әрекеттесуіне жол бермеу және тұндырылған пленканың тазалығын қамтамасыз ету үшін буландырғыш жабын жабдықтарының жұмысын жоғары вакуумдық ортада орындау қажет.
Вакуумдық камера механикалық сорғылар және диффузиялық сорғылар сияқты жабдық арқылы қажетті вакуум деңгейіне жетеді.
Булану көзі:
Булану көзі - жабын материалын қыздыру және булану үшін қолданылатын құрылғы. Жалпы булану көздеріне қарсылық қыздыру көздері, электронды сәулелік булану көздері және лазерлік булану көздері жатады.
Қарсылықты қыздыру: материалды буландыру үшін кедергі сым арқылы қыздыру.
Электрондық сәуленің булануы: оны булану үшін қапталған материалды тікелей қыздыру үшін электронды сәулені шығару үшін электронды пистолетті пайдалану.
Лазерлік булану: материалды тез булану үшін жоғары энергиялы лазер сәулесімен сәулелендіріңіз.
Булану процесі:
Қапталған материал булану көзінің жоғары температурасы кезінде қатты немесе сұйық күйден газ күйіне ауысады, бу түзеді.
Бұл бу молекулалары вакуумдық ортада еркін қозғалады және барлық бағытта таралады.
Фильмді орналастыру:
Бу молекулалары субстраттың салқындатылған бетімен кездеседі, олар қозғалады, конденсацияланады және жұқа қабықша түзеді.
Қабықшаның біркелкілігі мен дәйектілігін қамтамасыз ету үшін субстратты айналдыруға немесе басқа жолмен бу ортасына біркелкі әсер етуге болады.
Салқындату және емдеу:
Тұндырылғаннан кейін пленка субстрат бетінде салқындап, қатып, белгілі бір физикалық және химиялық қасиеттері бар жұқа пленка қабатын құрайды.
Қолдану аймақтары
Оптикалық жабын: шағылысқан қабыршақтарды, айналарды, сүзгілерді және басқа оптикалық компоненттерді жасау үшін қолданылады.
Электрондық құрылғылар: интегралдық схемаларды, жартылай өткізгіш құрылғыларды, дисплей құрылғыларын және т.б. өндіру үшін қолданылады.
Сәндік жабындар: әшекейлердің, сағаттардың, зергерлік бұйымдардың және т.б. олардың эстетикалық және тозуға төзімділігін жақсарту үшін олардың бетін жабу үшін қолданылады.
Функционалды жабындар: коррозияға қарсы, тотығуға қарсы және тозуға төзімділік сияқты арнайы функциялары бар пленкаларды жасау үшін қолданылады.
Жоғары тазалығымен, біркелкілігімен және көп функционалдығымен буландырғыш жабын технологиясы көптеген жоғары дәлдіктегі және жоғары сұранысқа ие қолданбаларда кеңінен қолданылды.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасын жасауГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 23 шілде 2024 ж