垂直多機能コーティング生産ライン
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製品説明
本装置は垂直モジュール設計構造を採用し、複数のアクセスドアを備えているため、キャビティの個別設置とメンテナンス、組立、将来のアップグレードが容易になります。ワークピースの汚染を防ぐため、完全密閉型の精製材料ラック搬送システムを備えています。ワークピースは片面または両面にコーティングすることができ、主に光学用カラーフィルムや金属フィルムの成膜に使用されます。
本装置のコーティング室は、高真空状態を長時間維持し、不純物ガスが少なく、コーティングの純度が高く、屈折率も良好です。全自動Speedflo閉ループ制御システムを搭載し、成膜速度を向上させています。プロセスパラメータのトレースが可能で、生産プロセスを全工程にわたって監視できるため、生産欠陥の追跡が容易です。本装置は高度な自動化機能を備えており、マニピュレーターと併用することで前工程と後工程を連携させ、人件費を削減できます。
コーティング生産ラインはNbのコーティングに使用できます2O5、SiO2、TiO2、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Agなどの酸化物や単純な金属材料に使用されます。主に金属と光学材料を重ね合わせる光学カラーフィルム工程に使用されます。ガラス、PCなどの板状製品に適しています。ペットPETフィルム／複合板、ガラスカバープレート、ディスプレイスクリーンなどの製品に広く使用されています。
オプションモデル
| 垂直多機能コーティング生産ライン | 垂直装飾フィルムコーティング生産ライン |
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