| タイプ | 名前 | 原理 | 使用圧力範囲 |
| 機械式ポンプ | 単体機械式オイルシールメカニカルポンプ | 機械によるガスの圧縮と収縮 | 105--101 |
| ダブルマシンオイルシールメカニカルポンプ | 105--102 | ||
| 分子ポンプ | 101--108 | ||
| 根のポンプ | 103--102 | ||
| 蒸気噴射ポンプ | オイルインジェクションポンプ | 蒸気噴射の勢いでガスを運び去る | 101--107 |
| オイル拡散ポンプ | 101--106 | ||
| 水銀拡散ポンプ | 101--105 | ||
| ドライポンプ | スパッタリングイオンポンプ | 昇華またはスパッタリングによって形成された吸収膜によるガスの吸収および除去 | 101--108 |
| チタン昇華ポンプ | 101--109 | ||
| 吸着ポンプ | 低温表面への物理吸着によるガス除去 | 106--102 | |
| 凝縮水ポンプ | 102--1011 | ||
| 凝縮水吸着ポンプ | 102--1010 |
投稿日時：2022年11月8日