| 유형 | 이름 | 원칙 | 작동 압력 범위 |
| 기계식 펌프 | 단일 기계 오일씰 기계식 펌프 | 기계를 이용한 가스 압축 및 수축 | 105--101 |
| 이중 기계식 오일씰 기계식 펌프 | 105--102 | ||
| 분자 펌프 | 101--108 | ||
| 루트 펌프 | 103--102 | ||
| 증기 주입 펌프 | 오일 분사 펌프 | 증기 분출의 운동량을 이용해 가스를 날려 보냅니다. | 101--107 |
| 오일 확산 펌프 | 101--106 | ||
| 수은 확산 펌프 | 101--105 | ||
| 건식 펌프 | 스퍼터링 이온 펌프 | 승화 또는 스퍼터링으로 형성된 흡수성 막에 의한 기체의 흡수 및 제거 | 101--108 |
| 티타늄 승화 펌프 | 101--109 | ||
| 흡착 펌프 | 저온 표면에서의 물리적 흡착을 통한 가스 제거 | 106--102 | |
| 응축수 펌프 | 102--1011 | ||
| 응축수 흡착 펌프 | 102--1010 |
게시 시간: 2022년 11월 8일