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Principe de dégonflage et plage de fonctionnement de la pompe à vide principale

Source de l'article : Zhenhua Vacuum
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Publié le : 22-11-08

Taper

Nom

Principe

Plage de pression de service

Pompe mécanique

Pompe mécanique à joint d'huile monobloc Compression et dégonflage de gaz par des machines 105--101
Pompe mécanique à double joint d'huile 105--102
Pompe moléculaire 101--108
Pompe à racines 103--102

Pompe d'injection de vapeur

Pompe d'injection d'huile Emportant le gaz grâce à l'élan du jet de vapeur 101--107
Pompe à diffusion d'huile 101--106
Pompe à diffusion de mercure 101--105

Pompe sèche

Pompe à ions par pulvérisation cathodique Absorption et élimination des gaz par un film absorbant, formé par sublimation ou pulvérisation cathodique 101--108
Pompe à sublimation en titane 101--109
Pompe à adsorption Élimination des gaz par adsorption physique sur des surfaces à basse température 106--102
Pompe à condensats 102--1011
Pompe à adsorption de condensats 102--1010

Date de publication : 8 novembre 2022