| يكتب | اسم | مبدأ | نطاق ضغط التشغيل |
| مضخة ميكانيكية | مضخة ميكانيكية أحادية الآلة لختم الزيت | ضغط وتفريغ الغاز بواسطة الآلات | 10510-1 |
| مضخة ميكانيكية مزدوجة مانعة لتسرب الزيت | 10510-2 | ||
| المضخة الجزيئية | 10110-8 | ||
| مضخة جذور | 10310-2 | ||
| مضخة حقن البخار | مضخة حقن الزيت | يحمل الغاز بعيدًا بزخم تيار البخار | 10110-7 |
| مضخة انتشار الزيت | 10110-6 | ||
| مضخة انتشار الزئبق | 10110-5 | ||
| مضخة جافة | مضخة أيونية بالرش | امتصاص وإزالة الغازات بواسطة طبقة ماصة، تتشكل عن طريق التسامي أو التذرية | 10110-8 |
| مضخة التسامي المصنوعة من التيتانيوم | 10110-9 | ||
| مضخة امتصاص | إزالة الغاز عن طريق الامتزاز الفيزيائي على الأسطح ذات درجات الحرارة المنخفضة | 10610-2 | |
| مضخة المكثفات | 10210-11 | ||
| مضخة امتصاص المكثفات | 10210-10 |
تاريخ النشر: 8 نوفمبر 2022