| Typ | Name | Prinzip | Arbeitsdruckbereich |
| Mechanische Pumpe | Mechanische Pumpe mit Einzelmaschinen-Öldichtung | Maschinelles Komprimieren und Entlüften von Gas | 105--101 |
| Mechanische Pumpe mit doppelter Maschinenöldichtung | 105--102 | ||
| Molekularpumpe | 101--108 | ||
| Wurzelpumpe | 103--102 | ||
| Dampfinjektionspumpe | Öleinspritzpumpe | Durch den Schwung des Dampfstrahls wird das Gas mitgerissen | 101--107 |
| Öldiffusionspumpe | 101--106 | ||
| Quecksilberdiffusionspumpe | 101--105 | ||
| Trockene Pumpe | Sputter-Ionenpumpe | Absorption und Entfernung von Gasen durch einen absorbierenden Film, der durch Sublimation oder Sputtern entsteht | 101--108 |
| Titan-Sublimationspumpe | 101--109 | ||
| Adsorptionspumpe | Gasentfernung durch physikalische Adsorption auf Oberflächen mit niedriger Temperatur | 106--102 | |
| Kondensatpumpe | 102--1011 | ||
| Kondensatadsorptionspumpe | 102--1010 |
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.11.2022