| Typ | Name | Prinzip | Arbeitsdruckbereich |
| Mechanische Pumpe | Mechanische Pumpe mit Einzelmaschinen-Öldichtung | Komprimieren und Entleeren von Gas durch Maschinen | 105--101 |
| Doppelte Maschinenöldichtung mechanische Pumpe | 105--102 | ||
| Molekularpumpe | 101--108 | ||
| Roots-Pumpe | 103--102 | ||
| Dampfeinspritzpumpe | Öleinspritzpumpe | Das Gas wird durch den Impuls des Dampfstrahls mitgerissen. | 101--107 |
| Öldiffusionspumpe | 101--106 | ||
| Quecksilberdiffusionspumpe | 101--105 | ||
| Trockenpumpe | Sputterionenpumpe | Absorption und Entfernung von Gasen durch einen Absorptionsfilm, der durch Sublimation oder Sputtern gebildet wird | 101--108 |
| Titan-Sublimationspumpe | 101--109 | ||
| Adsorptionspumpe | Gasentfernung durch physikalische Adsorption an Niedertemperaturoberflächen | 106--102 | |
| Kondensatpumpe | 102--1011 | ||
| Kondensatadsorptionspumpe | 102--1010 |
Veröffentlichungsdatum: 08.11.2022