| Tip | İsim | Prensip | Çalışma basıncı aralığı |
| Mekanik Pompa | Tek makine yağ keçeli mekanik pompa | Gazın makinelerle sıkıştırılması ve boşaltılması | 105--101 |
| Çift makine yağ keçeli mekanik pompa | 105--102 | ||
| Moleküler pompa | 101--108 | ||
| Kök pompası | 103--102 | ||
| Buhar enjeksiyon pompası | Yağ enjeksiyon pompası | Buhar jetinin momentumuyla gazı uzaklaştırmak | 101--107 |
| Yağ difüzyon pompası | 101--106 | ||
| Cıva difüzyon pompası | 101--105 | ||
| Kuru pompa | Püskürtmeli iyon pompası | Süblimasyon veya püskürtme yoluyla oluşturulan emici bir film tarafından gazların emilmesi ve uzaklaştırılması. | 101--108 |
| Titanyum süblimasyon pompası | 101--109 | ||
| Adsorpsiyon pompası | Düşük sıcaklıktaki yüzeylerde fiziksel adsorpsiyon yoluyla gaz uzaklaştırma | 106--102 | |
| Yoğuşma pompası | 102--1011 | ||
| Yoğuşma suyu adsorpsiyon pompası | 102--1010 |
Yayın tarihi: 08.11.2022