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Principio di funzionamento e campo di applicazione della pompa a vuoto principale

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 22-11-08

Tipo

Nome

Principio

Intervallo di pressione di esercizio

Pompa meccanica

pompa meccanica a tenuta d'olio a macchina singola Compressione e decompressione del gas mediante macchinari 105--101
Pompa meccanica a doppia tenuta dell'olio. 105--102
Pompa molecolare 101--108
Pompa radicale 103--102

pompa di iniezione vapore

Pompa di iniezione dell'olio Trasportando via il gas con la quantità di moto del getto di vapore 101--107
Pompa a diffusione d'olio 101--106
Pompa a diffusione di mercurio 101--105

Pompa a secco

Pompa ionica a sputtering Assorbimento e rimozione dei gas mediante una pellicola assorbente, formata per sublimazione o sputtering. 101--108
Pompa a sublimazione in titanio 101--109
Pompa di adsorbimento Rimozione dei gas mediante adsorbimento fisico su superfici a bassa temperatura 106--102
Pompa di condensa 102--1011
pompa di adsorbimento della condensa 102--1010

Data di pubblicazione: 8 novembre 2022