| タイプ | 名前 | 原理 | 動作圧力範囲 |
| 機械式ポンプ | 単機オイルシール機械式ポンプ | 機械によるガスの圧縮と減圧 | 105--101 |
| ダブルマシンオイルシール機械式ポンプ | 105--102 | ||
| 分子ポンプ | 101--108 | ||
| ルーツポンプ | 103--102 | ||
| 蒸気注入ポンプ | オイル噴射ポンプ | 蒸気ジェットの勢いでガスを運び去る | 101--107 |
| オイル拡散ポンプ | 101--106 | ||
| 水銀拡散ポンプ | 101--105 | ||
| ドライポンプ | スパッタリングイオンポンプ | 昇華またはスパッタリングによって形成された吸収膜によるガスの吸収と除去 | 101--108 |
| チタン昇華ポンプ | 101--109 | ||
| 吸着ポンプ | 低温表面での物理吸着によるガス除去 | 106--102 | |
| 凝縮ポンプ | 102--1011 | ||
| 凝縮水吸着ポンプ | 102--1010 |
投稿日時: 2022年11月8日