真空状態で、ワークピースを低圧グロー放電の陰極上に置き、適切なガスを注入します。一定の温度に達すると、化学反応とプラズマを組み合わせたイオン化重合プロセスによってワークピースの表面にコーティングが形成されます。ガス状物質はワークピースの表面に吸着され、互いに反応することで、最終的にワークピースの表面に固体膜が形成され、堆積します。
特性:
1. 低温成膜のため、温度がワークに与える影響が少なく、高温成膜の粗粒化を回避でき、膜層が剥がれにくい。
2. 厚膜コーティングが可能で、組成が均一で、バリア効果が良好で、緻密性があり、内部応力が小さく、微小亀裂が生じにくいです。
3. プラズマ処理により洗浄効果が得られ、フィルムの密着性が向上します。
この装置は主にPET、PA、PPなどのフィルム材料にSiOx高耐性バリアをコーティングするために使用されます。医療・医薬品包装、電子部品、食品包装、飲料、脂肪食品、食用油などの包装容器など、幅広い用途に使用されています。このフィルムは優れたバリア性、環境適応性、高いマイクロ波透過性、透明性を備え、環境湿度や温度変化の影響を受けにくいため、従来の包装材料が健康被害をもたらす可能性があるという問題を解決します。
| オプションモデル | 機器サイズ(幅) |
| RBW1250 | 1250(mm) |