עקרון העבודה של מערכת ציפוי אידוי תרמי

ציוד ציפוי אידוי הוא סוג של ציוד המשמש להפקדת חומרי שכבה דקה על פני השטח של המצע, והוא נמצא בשימוש נרחב בתחומי התקנים אופטיים, מכשירים אלקטרוניים, ציפויים דקורטיביים וכן הלאה. ציפוי אידוי משתמש בעיקר בטמפרטורה גבוהה כדי להמיר חומרים מוצקים למצב גזי, ולאחר מכן להפקיד אותם על המצע בסביבת ואקום. להלן עקרון הפעולה של ציוד ציפוי אידוי:

סביבת ואקום:
יש לבצע את עבודת ציוד הציפוי באידוי בסביבת ואקום גבוהה כדי למנוע מהחומר להגיב עם חמצן או זיהומים אחרים באוויר במהלך האידוי ולהבטיח את טוהר הסרט המופקד.
תא הוואקום משיג את רמת הוואקום הנדרשת באמצעות ציוד כגון משאבות מכניות ומשאבות דיפוזיה.
מקור אידוי:
מקור אידוי הוא מכשיר המשמש לחימום ואידוי של חומר הציפוי. מקורות אידוי נפוצים כוללים מקורות חימום התנגדות, מקורות אידוי באמצעות קרן אלקטרונים ומקורות אידוי באמצעות לייזר.
חימום התנגדות: חימום החומר באמצעות חוט התנגדות כדי לאדות אותו.
אידוי אלומת אלקטרונים: שימוש באקדח אלקטרונים לפליטת אלומת אלקטרונים לחימום ישיר של החומר המצופה כדי לגרום לו להתאדות.
אידוי לייזר: הקרינו את החומר בקרן לייזר בעלת אנרגיה גבוהה כדי לגרום לו להתאדות במהירות.
תהליך אידוי:
החומר המצופה עובר תהליך של שינוי צורה ממצב מוצק או נוזלי למצב גזי תחת הטמפרטורה הגבוהה של מקור האידוי, ויוצר אדים.
מולקולות אדים אלה נעות בחופשיות בסביבת ואקום ומתפזרות לכל הכיוונים.
שקיעת סרט:
מולקולות אדים נתקלות במשטח המקורר של המצע כשהן נעות, מתעבות ומשקעות ליצירת שכבה דקה.
ניתן לסובב את המצע או לחשוף אותו באופן אחיד לסביבת האדים כדי להבטיח אחידות ועקביות של הסרט.
קירור וריפוי:
לאחר ההפקדה, הסרט מתקרר ומתקשה על פני המצע ליצירת שכבת סרט דקה בעלת תכונות פיזיקליות וכימיות ספציפיות.
תחומי יישום
ציפוי אופטי: משמש לייצור סרטים נוגדי השתקפות, מראות, מסננים ורכיבים אופטיים אחרים.
מכשירים אלקטרוניים: משמשים לייצור מעגלים משולבים, התקני מוליכים למחצה, התקני תצוגה וכו'.
ציפויים דקורטיביים: משמשים לציפוי פני השטח של קישוטים, שעונים, תכשיטים וכו' כדי לשפר את האסתטיקה שלהם ואת עמידותם בפני שחיקה.
ציפויים פונקציונליים: משמשים לייצור סרטים בעלי פונקציות מיוחדות כגון עמידות בפני קורוזיה, חמצון ועמידות בפני שחיקה.
עם טוהר גבוה, אחידות ורב-פונקציונליות, טכנולוגיית ציפוי אידוי נמצאת בשימוש נרחב ביישומים רבים הדורשים רמת דיוק גבוהה וביקוש גבוה.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונת ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה