Uppgufunarbúnaður er búnaður sem notaður er til að setja þunnfilmuefni á yfirborð undirlagsins og er mikið notaður í ljósfræði, rafeindatækni, skreytingarhúðun og svo framvegis. Uppgufunarbúnaður notar aðallega háan hita til að breyta föstum efnum í loftkennt ástand og setja þau síðan á undirlagið í lofttæmi. Eftirfarandi er virknisregla uppgufunarbúnaðarins:
Tómarúmsumhverfi:
Vinna við uppgufunarbúnað þarf að fara fram í hálofttæmi til að koma í veg fyrir að efnið hvarfast við súrefni eða önnur óhreinindi í loftinu við uppgufun og til að tryggja hreinleika filmunnar sem sett er niður.
Lofttæmishólfið nær nauðsynlegu lofttæmisstigi með búnaði eins og vélrænum dælum og dreifidælum.
Uppgufunaruppspretta:
Uppgufunargjafi er tæki sem notað er til að hita og gufa upp húðunarefnið. Algengar uppgufunargjafir eru viðnámshitunargjafar, rafeindageislauppgufunargjafar og leysigeislauppgufunargjafar.
Viðnámshitun: Hitun efnisins með viðnámsvír til að gufa það upp.
Uppgufun rafeindageisla: rafeindabyssa sendir rafeindageisla beint frá sér til að hita húðaða efnið til að láta það gufa upp.
Leysigeisli: Geislaðu efnið með orkumiklum leysigeisla til að láta það gufa upp hratt.
Uppgufunarferli:
Húðaða efnið umbreytist úr föstu eða fljótandi ástandi í gaskennt ástand við háan hita uppgufunargjafans og myndar gufu.
Þessar gufusameindir hreyfast frjálslega í lofttæmisumhverfi og dreifast í allar áttir.
Filmuútfelling:
Gufusameindir rekast á kælt yfirborð undirlagsins þegar þær hreyfast, þéttast og setjast saman til að mynda þunna filmu.
Hægt er að snúa undirlaginu eða á annan hátt láta það verða fyrir gufuumhverfinu jafnt til að tryggja einsleitni og samræmi filmunnar.
Kæling og herðing:
Eftir útfellingu kólnar filman og harðnar á yfirborði undirlagsins til að mynda þunnt filmulag með sérstökum eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum.
Notkunarsvið
Ljósfræðileg húðun: Notuð til að búa til endurskinsvörn, spegla, síur og aðra sjónræna íhluti.
Rafeindatæki: notuð til að framleiða samþættar hringrásir, hálfleiðaratæki, skjátæki o.s.frv.
Skreytingarhúðun: Notuð til yfirborðshúðunar á skreytingum, úrum, skartgripum o.s.frv. til að bæta fagurfræði þeirra og slitþol.
Virknihúðun: notuð til að búa til filmur með sérstökum eiginleikum eins og tæringarvörn, oxunarvörn og slitþol.
Með mikilli hreinleika, einsleitni og fjölnota eiginleika hefur uppgufunarhúðunartækni verið mikið notuð í mörgum forritum sem krefjast mikillar nákvæmni og mikillar eftirspurnar.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 23. júlí 2024