Peralatan pelapisan evaporatif adalah jenis peralatan yang digunakan untuk melapisi material film tipis pada permukaan substrat, yang banyak digunakan dalam bidang perangkat optik, perangkat elektronik, pelapis dekoratif, dan sebagainya. Pelapisan evaporatif terutama memanfaatkan suhu tinggi untuk mengubah material padat menjadi gas, lalu melapisinya pada substrat dalam lingkungan vakum. Berikut ini adalah prinsip kerja peralatan pelapisan evaporatif:
Lingkungan vakum:
Pekerjaan peralatan pelapisan evaporatif perlu dilakukan dalam lingkungan vakum tinggi untuk mencegah material bereaksi dengan oksigen atau kotoran lain di udara selama penguapan dan untuk memastikan kemurnian film yang disimpan.
Ruang vakum mencapai tingkat vakum yang dibutuhkan melalui peralatan seperti pompa mekanis dan pompa difusi.
Sumber penguapan:
Sumber penguapan adalah perangkat yang digunakan untuk memanaskan dan menguapkan bahan pelapis. Sumber penguapan yang umum meliputi sumber pemanas resistansi, sumber penguapan berkas elektron, dan sumber penguapan laser.
Pemanasan resistansi: memanaskan material melalui kawat resistansi untuk menguapkannya.
Penguapan berkas elektron: menggunakan pistol elektron untuk memancarkan berkas elektron guna memanaskan langsung bahan yang dilapisi agar menguap.
Penguapan laser: menyinari material dengan sinar laser berenergi tinggi untuk membuatnya menguap dengan cepat.
Proses penguapan:
Bahan yang dilapisi diubah dari wujud padat atau cair menjadi wujud gas di bawah suhu tinggi sumber penguapan, sehingga membentuk uap.
Molekul uap ini bergerak bebas dalam lingkungan vakum dan berdifusi ke segala arah.
Deposisi film:
Molekul uap berhadapan dengan permukaan substrat yang didinginkan ketika bergerak, mengembun, dan mengendap membentuk lapisan tipis.
Substrat dapat diputar atau diekspos secara seragam ke lingkungan uap untuk memastikan keseragaman dan konsistensi film.
Pendinginan dan Pengeringan:
Setelah pengendapan, film mendingin dan mengeras pada permukaan substrat untuk membentuk lapisan film tipis dengan sifat fisik dan kimia tertentu.
Bidang Aplikasi
Pelapis Optik: Digunakan untuk membuat film anti-reflektif, cermin, filter, dan komponen optik lainnya.
Perangkat elektronik: digunakan untuk memproduksi sirkuit terpadu, perangkat semikonduktor, perangkat tampilan, dll.
Pelapis dekoratif: digunakan untuk pelapis permukaan dekorasi, jam tangan, perhiasan, dll. untuk meningkatkan estetika dan ketahanan aus.
Pelapis fungsional: digunakan untuk membuat film dengan fungsi khusus seperti anti-korosi, anti-oksidasi, dan ketahanan aus.
Dengan kemurnian tinggi, keseragaman dan multi-fungsionalitasnya, teknologi pelapisan evaporatif telah banyak digunakan dalam banyak aplikasi berpresisi tinggi dan permintaan tinggi.
–Artikel ini dirilis olehpembuatan mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 23-Jul-2024