A különféle vákuumszivattyúk teljesítménye a kamrába történő vákuumpumpálási képességen kívül más különbségekkel is rendelkezik. Ezért nagyon fontos tisztázni a szivattyú által a vákuumrendszerben végzett munkát a kiválasztáskor, és a szivattyú különböző munkaterületeken betöltött szerepét az alábbiakban foglaljuk össze.
1. A rendszer fő szivattyújaként működik
A fő szivattyú az a vákuumszivattyú, amely közvetlenül a vákuumrendszer szivattyúzott kamráját pumpálja, hogy elérje a folyamatkövetelményeknek megfelelő vákuumfokot.
2, Durva szivattyúzás
A durva szivattyúzású vákuumszivattyú az a vákuumszivattyú, amely a légnyomástól csökkenni kezd, és a vákuumrendszer nyomása eléri a másik szivattyúrendszert, amely elkezdhet működni.
3. Előfokozatú szivattyú
Az előfokozatú szivattyú egy vákuumszivattyú, amelyet egy másik szivattyú előfokozatú nyomásának a megengedett legmagasabb előfokozatú nyomás alatt tartására használnak.
4. Tartószivattyú
A tartálytároló szivattyú olyan szivattyú, amely nem tudja hatékonyan használni a fő előfokozatú szivattyút, ha a vákuumrendszer szivattyúzási teljesítménye nagyon kicsi. Emiatt a vákuumrendszerben egy másik típusú, kisebb szivattyúzási sebességű kiegészítő előfokozatú szivattyút használnak a főszivattyú normál működésének fenntartására vagy az kiürített tartály által megkövetelt alacsony nyomás fenntartására.
5, Durva vákuumszivattyú vagy alacsony vákuumszivattyú
A durva vagy alacsony vákuumszivattyú olyan vákuumszivattyú, amely levegőből indul, és a szivattyúzott tartály nyomásának csökkentése után alacsony vagy durva vákuumtartományban működik.
6, Nagyvákuumú szivattyú
A nagyvákuumú szivattyú a nagyvákuum tartományban működő vákuumszivattyúra utal.
7, Ultra nagy vákuumszivattyú
Az ultra-nagy vákuumszivattyú az ultra-nagy vákuumtartományban működő vákuumszivattyúra utal.
8, Nyomásfokozó szivattyú
A nyomásfokozó szivattyú általában a kisvákuumú és a nagyvákuumú szivattyú között elhelyezkedő vákuumszivattyúra utal, amely a szivattyúrendszer szivattyúteljesítményét növeli a középső nyomástartományban, vagy csökkenti az előbbi szivattyú szivattyúzási sebességét.
Bevezetés az iontisztítóba
Plazmatisztító
1. A plazma egy ionizált gáz, amelyben a pozitív ionok és az elektronok sűrűsége megközelítőleg egyenlő. Ionokból, elektronokból, szabad gyökökből és semleges részecskékből áll.
2. Ez az anyag negyedik halmazállapota. Mivel a plazma nagyobb energiájú, mint a gáz, a plazmakörnyezetben lévő anyag több fizikai-kémiai és egyéb reakciójellemzőt vehet fel.
3. A plazmatisztító gép mechanizmusa az anyag „plazmaállapotára” támaszkodik, hogy eltávolítsa a felületi foltokat.
4. A plazmatisztítás a leghatékonyabb tisztítási módszer az összes tisztítási módszer közül. Széles körben alkalmazható félvezető, mikroelektronika, COG, LCD, LCM és LED folyamatokban.
5. Precíziós tisztítás eszközök csomagolása előtt, vákuumelektronika, csatlakozók és relék, napelemes fotovoltaikus ipar, műanyag, gumi, fém és kerámia felületek tisztítása, maratás, hamvasztás, felületaktiválás és az élettudományi kísérletek egyéb területei.
Közzététel ideje: 2022. november 7.