Thaum lub sij hawm evaporation txheej, lub nucleation thiab kev loj hlob ntawm zaj duab xis txheej yog lub hauv paus ntawm ntau yam ion txheej technology 1. Nucleation Hauv lub tshuab nqus tsev evaporation txheej technology, tom qab zaj duab xis txheej me me yog evaporated los ntawm qhov chaw evaporation nyob rau hauv daim ntawv ntawm atoms, lawv ya ncaj qha mus rau w ...
1. Qhov kev ua haujlwm tsis ncaj ncees yog qis Vim yog qhov ntxiv ntawm lub cuab yeej los ua kom tus nqi ionization nce ntxiv, qhov kev tso tawm tam sim no nce ntxiv, thiab qhov hluav taws xob tsis ncaj ncees raug txo kom 0.5 ~ 1kV. Qhov backsputtering tshwm sim los ntawm kev foob pob ntau dhau ntawm cov ions muaj zog siab thiab kev puas tsuaj rau ntawm qhov chaw ua haujlwm...
1) Lub hom phiaj cylindrical muaj kev siv ntau dua li lub hom phiaj planar. Hauv cov txheej txheem txheej, txawm tias nws yog hom rotary magnetic lossis lub raj rotary hom cylindrical sputtering target, txhua qhov ntawm qhov chaw ntawm lub raj phiaj txuas ntxiv dhau los ntawm thaj chaw sputtering tsim nyob rau hauv pem hauv ntej ntawm ...