ठोस पदार्थों को उच्च निर्वात वातावरण में गर्म करके उन्हें उर्ध्वपातित या वाष्पित करने तथा एक पतली फिल्म प्राप्त करने के लिए उन्हें एक विशिष्ट सब्सट्रेट पर जमा करने की प्रक्रिया को निर्वात वाष्पीकरण कोटिंग (जिसे वाष्पीकरण कोटिंग भी कहा जाता है) के रूप में जाना जाता है।
वैक्यूम वाष्पीकरण प्रक्रिया द्वारा पतली फिल्मों की तैयारी का इतिहास 1850 के दशक में वापस खोजा जा सकता है। 1857 में, एम। फर्रार ने पतली फिल्मों को बनाने के लिए नाइट्रोजन में धातु के तारों को वाष्पित करके वैक्यूम कोटिंग का प्रयास शुरू किया। उस समय कम वैक्यूम तकनीक के कारण, इस तरह से पतली फिल्मों की तैयारी बहुत समय लेने वाली और व्यावहारिक नहीं थी। 1930 तक तेल प्रसार पंप एक यांत्रिक पंप संयुक्त पंपिंग प्रणाली स्थापित की गई थी, वैक्यूम तकनीक तेजी से विकास हो सकती है, केवल वाष्पीकरण और स्पटरिंग कोटिंग को एक व्यावहारिक तकनीक बनाने के लिए।
यद्यपि वैक्यूम वाष्पीकरण एक प्राचीन पतली फिल्म जमाव तकनीक है, लेकिन यह प्रयोगशाला और औद्योगिक क्षेत्रों में उपयोग की जाने वाली सबसे आम विधि है। इसके मुख्य लाभ सरल संचालन, जमाव मापदंडों का आसान नियंत्रण और परिणामी फिल्मों की उच्च शुद्धता हैं। वैक्यूम कोटिंग प्रक्रिया को निम्नलिखित तीन चरणों में विभाजित किया जा सकता है।
1) स्रोत सामग्री को गर्म किया जाता है और पिघलाकर वाष्पित या उर्ध्वपातित किया जाता है; 2) वाष्प को वाष्पित या उर्ध्वपातित करने के लिए स्रोत सामग्री से वाष्प को हटा दिया जाता है।
2) वाष्प को स्रोत सामग्री से सब्सट्रेट में स्थानांतरित किया जाता है।
3) वाष्प सब्सट्रेट सतह पर संघनित होकर एक ठोस फिल्म बनाती है।
पतली फिल्मों का वैक्यूम वाष्पीकरण, आम तौर पर पॉलीक्रिस्टलाइन फिल्म या अनाकार फिल्म होती है, फिल्म से द्वीप तक की वृद्धि प्रमुख होती है, न्यूक्लियेशन और फिल्म दो प्रक्रियाओं के माध्यम से। वाष्पित परमाणु (या अणु) सब्सट्रेट से टकराते हैं, सब्सट्रेट से स्थायी लगाव का हिस्सा, सोखना का हिस्सा और फिर सब्सट्रेट से वाष्पित हो जाते हैं, और सब्सट्रेट की सतह से वापस सीधे परावर्तन का हिस्सा। ऊष्मीय गति के कारण परमाणुओं (या अणुओं) के सब्सट्रेट सतह पर आसंजन सतह के साथ आगे बढ़ सकते हैं, जैसे कि अन्य परमाणुओं को छूने से गुच्छों में जमा हो जाएगा। क्लस्टर सबसे अधिक होने की संभावना है जहां सब्सट्रेट सतह पर तनाव अधिक है, या क्रिस्टल सब्सट्रेट के विलयन चरणों पर, क्योंकि यह अधिशोषित परमाणुओं की मुक्त ऊर्जा को कम करता है। यह न्यूक्लियेशन प्रक्रिया है। परमाणुओं (अणुओं) के आगे जमाव के परिणामस्वरूप ऊपर वर्णित द्वीप के आकार के समूहों (नाभिक) का विस्तार होता है जब तक कि वे एक सतत फिल्म में विस्तारित नहीं हो जाते। इसलिए, वैक्यूम वाष्पित पॉलीक्रिस्टलाइन फिल्मों की संरचना और गुण वाष्पीकरण दर और सब्सट्रेट तापमान से निकटता से संबंधित हैं। आम तौर पर, सब्सट्रेट का तापमान जितना कम होता है, वाष्पीकरण दर उतनी ही अधिक होती है, फिल्म का दाना उतना ही महीन और सघन होता है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: मार्च-23-2024