L'équipement de revêtement par évaporation est un équipement utilisé pour déposer des couches minces de matériaux à la surface d'un substrat. Il est largement utilisé dans les domaines des dispositifs optiques, des appareils électroniques, des revêtements décoratifs, etc. Le revêtement par évaporation utilise principalement une température élevée pour convertir les matériaux solides en gaz, puis les déposer sur le substrat sous vide. Le principe de fonctionnement de l'équipement de revêtement par évaporation est le suivant :
Environnement sous vide :
Le travail de l'équipement de revêtement par évaporation doit être effectué dans un environnement sous vide poussé pour empêcher le matériau de réagir avec l'oxygène ou d'autres impuretés de l'air pendant l'évaporation et pour garantir la pureté du film déposé.
La chambre à vide atteint le niveau de vide requis grâce à des équipements tels que des pompes mécaniques et des pompes à diffusion.
Source d'évaporation :
Une source d'évaporation est un dispositif utilisé pour chauffer et évaporer le matériau de revêtement. Les sources d'évaporation courantes comprennent les sources de chauffage par résistance, les sources d'évaporation par faisceau d'électrons et les sources d'évaporation laser.
Chauffage par résistance : chauffage du matériau à travers un fil résistant pour l'évaporer.
Évaporation par faisceau d'électrons : utilisation d'un canon à électrons pour émettre un faisceau d'électrons afin de chauffer directement le matériau revêtu pour le faire s'évaporer.
Évaporation laser : irradier le matériau avec un faisceau laser à haute énergie pour le faire s'évaporer rapidement.
Processus d'évaporation :
Le matériau enrobé passe de l'état solide ou liquide à l'état gazeux sous la température élevée de la source d'évaporation, formant de la vapeur.
Ces molécules de vapeur se déplacent librement dans un environnement sous vide et se diffusent dans toutes les directions.
Dépôt de film :
Les molécules de vapeur rencontrent la surface refroidie du substrat lorsqu'elles se déplacent, se condensent et se déposent pour former un film mince.
Le substrat peut être tourné ou exposé uniformément à l'environnement de vapeur pour garantir l'uniformité et la cohérence du film.
Refroidissement et durcissement :
Après dépôt, le film refroidit et durcit sur la surface du substrat pour former une fine couche de film dotée de propriétés physiques et chimiques spécifiques.
Domaines d'application
Revêtement optique : utilisé pour fabriquer des films antireflets, des miroirs, des filtres et d'autres composants optiques.
Appareils électroniques : utilisés pour fabriquer des circuits intégrés, des dispositifs semi-conducteurs, des dispositifs d'affichage, etc.
Revêtements décoratifs : utilisés pour le revêtement de surface des décorations, montres, bijoux, etc. pour améliorer leur esthétique et leur résistance à l'usure.
Revêtements fonctionnels : utilisés pour fabriquer des films dotés de fonctions spéciales telles que l'anti-corrosion, l'anti-oxydation et la résistance à l'usure.
Grâce à sa grande pureté, son uniformité et sa multifonctionnalité, la technologie de revêtement par évaporation a été largement utilisée dans de nombreuses applications de haute précision et à forte demande.
–Cet article est publié parfabrication de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 23 juillet 2024