Haihdutuspinnoituslaitteet ovat laitteita, joita käytetään ohuiden kalvomateriaalien kerrostamiseen substraatin pinnalle. Niitä käytetään laajalti optisten laitteiden, elektronisten laitteiden, koristepinnoitteiden ja niin edelleen aloilla. Haihdutuspinnoituksessa käytetään pääasiassa korkeaa lämpötilaa kiinteiden aineiden muuttamiseksi kaasumaiseen olomuotoon, minkä jälkeen ne kerrostetaan substraatille tyhjiöympäristössä. Seuraavassa on haihdutuspinnoituslaitteiden toimintaperiaate:
Tyhjiöympäristö:
Haihdutuspinnoituslaitteiden työ on suoritettava korkeassa tyhjiössä, jotta materiaali ei reagoi haihtumisen aikana ilman haihtumisen tai muiden epäpuhtauksien kanssa ja jotta kerrostuneen kalvon puhtaus varmistetaan.
Tyhjiökammio saavuttaa vaaditun tyhjiötason laitteiden, kuten mekaanisten pumppujen ja diffuusiopumppujen, avulla.
Haihtumisen lähde:
Haihdutuslähde on laite, jota käytetään pinnoitemateriaalin lämmittämiseen ja höyrystämiseen. Yleisiä haihdutuslähteitä ovat vastuslämmityslähteet, elektronisuihkuhöyrystyslähteet ja laserhöyrystyslähteet.
Vastuskuumennus: materiaalin kuumentaminen vastuslangan läpi sen haihduttamiseksi.
Elektronisuihkuhöyrystys: elektronitykin käyttäminen elektronisuihkun lähettämiseen päällystetyn materiaalin suoraksi lämmittämiseksi sen haihduttamiseksi.
Laserhöyrystys: säteilytä materiaalia korkeaenergisellä lasersäteellä, jotta se haihtuu nopeasti.
Haihdutusprosessi:
Päällystetty materiaali muuttuu kiinteästä tai nestemäisestä tilasta kaasumaiseksi haihdutuslähteen korkeassa lämpötilassa, jolloin muodostuu höyryä.
Nämä höyrymolekyylit liikkuvat vapaasti tyhjiöympäristössä ja leviävät kaikkiin suuntiin.
Kalvon laskeutuminen:
Höyrymolekyylit kohtaavat substraatin jäähdytetyn pinnan liikkuessaan, tiivistyessään ja kerrostuessaan muodostaen ohuen kalvon.
Substraattia voidaan pyörittää tai muuten altistaa tasaisesti höyryympäristölle kalvon tasaisuuden ja johdonmukaisuuden varmistamiseksi.
Jäähdytys ja kovettuminen:
Kerrostuksen jälkeen kalvo jäähtyy ja kovettuu alustan pinnalla muodostaen ohuen kalvokerroksen, jolla on erityiset fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet.
Soveltamisalueet
Optinen pinnoite: Käytetään heijastamattomien kalvojen, peilien, suodattimien ja muiden optisten komponenttien valmistukseen.
Elektroniset laitteet: käytetään integroitujen piirien, puolijohdelaitteiden, näyttölaitteiden jne. valmistukseen.
Koristepinnoitteet: käytetään koristeiden, kellojen, korujen jne. pintakäsittelyyn niiden estetiikan ja kulutuskestävyyden parantamiseksi.
Funktionaaliset pinnoitteet: käytetään kalvojen valmistukseen, joilla on erityisiä toimintoja, kuten korroosionesto, hapettumisenesto ja kulutuskestävyys.
Korkean puhtautensa, tasalaatuisuutensa ja monikäyttöisyytensä ansiosta haihdutuspinnoitustekniikkaa on käytetty laajalti monissa erittäin tarkoissa ja kysytyissä sovelluksissa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpäällystyskoneen valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 23.7.2024