تجهیزات پوششدهی تبخیری نوعی تجهیزات است که برای رسوب مواد لایه نازک روی سطح زیرلایه استفاده میشود و به طور گسترده در زمینههای دستگاههای نوری، دستگاههای الکترونیکی، پوششهای تزئینی و غیره مورد استفاده قرار میگیرد. پوششدهی تبخیری عمدتاً از دمای بالا برای تبدیل مواد جامد به حالت گازی استفاده میکند و سپس در محیط خلاء روی زیرلایه رسوب میکند. اصول کار تجهیزات پوششدهی تبخیری به شرح زیر است:
محیط خلاء:
کار تجهیزات پوششدهی تبخیری باید در محیط خلاء بالا انجام شود تا از واکنش مواد با اکسیژن یا سایر ناخالصیهای موجود در هوا در حین تبخیر جلوگیری شود و خلوص فیلم رسوب داده شده تضمین شود.
محفظه خلاء از طریق تجهیزاتی مانند پمپهای مکانیکی و پمپهای دیفیوژن، سطح خلاء مورد نیاز را به دست میآورد.
منبع تبخیر:
منبع تبخیر وسیلهای است که برای گرم کردن و تبخیر ماده پوشش استفاده میشود. منابع تبخیر رایج شامل منابع گرمایش مقاومتی، منابع تبخیر پرتو الکترونی و منابع تبخیر لیزری هستند.
گرمایش مقاومتی: گرم کردن ماده از طریق یک سیم مقاومتی برای تبخیر آن.
تبخیر با پرتو الکترونی: استفاده از یک تفنگ الکترونی برای انتشار پرتو الکترونی برای گرم کردن مستقیم ماده پوشش داده شده و تبخیر آن.
تبخیر لیزری: ماده را با پرتو لیزر پرانرژی تابش میدهند تا به سرعت تبخیر شود.
فرآیند تبخیر:
ماده پوشش داده شده تحت دمای بالای منبع تبخیر از حالت جامد یا مایع به حالت گازی تبدیل میشود و بخار تشکیل میدهد.
این مولکولهای بخار در محیط خلاء آزادانه حرکت میکنند و در همه جهات پخش میشوند.
رسوب فیلم:
مولکولهای بخار با سطح خنکشدهی زیرلایه برخورد میکنند، حرکت میکنند، متراکم میشوند و رسوب میکنند تا یک لایه نازک تشکیل دهند.
میتوان زیرلایه را چرخاند یا به طور یکنواخت در معرض محیط بخار قرار داد تا یکنواختی و ثبات فیلم تضمین شود.
خنک سازی و عمل آوری:
پس از رسوبگذاری، فیلم روی سطح زیرلایه خنک و عملآوری میشود تا یک لایه نازک با خواص فیزیکی و شیمیایی خاص تشکیل دهد.
زمینههای کاربرد
پوشش نوری: برای ساخت فیلم های ضد انعکاس، آینه ها، فیلترها و سایر قطعات نوری استفاده می شود.
دستگاههای الکترونیکی: برای ساخت مدارهای مجتمع، دستگاههای نیمههادی، دستگاههای نمایشگر و غیره استفاده میشود.
پوششهای تزئینی: برای پوشش سطح تزئینات، ساعت، جواهرات و غیره به منظور بهبود زیباییشناسی و مقاومت در برابر سایش استفاده میشود.
پوششهای کاربردی: برای ساخت فیلمهایی با عملکردهای ویژه مانند ضد خوردگی، ضد اکسیداسیون و مقاومت در برابر سایش استفاده میشوند.
فناوری پوششدهی تبخیری با خلوص بالا، یکنواختی و چندمنظوره بودن، بهطور گسترده در بسیاری از کاربردهای با دقت بالا و تقاضای بالا مورد استفاده قرار گرفته است.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید دستگاه پوشش خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۳ ژوئیه ۲۰۲۴