Lurruntze-estaldurako ekipoa substratuaren gainazalean film meheko materialak uzteko erabiltzen den ekipo mota bat da, gailu optikoen, gailu elektronikoen, apaingarrien eta abarren arloetan oso erabilia. Lurruntze-estaldurak batez ere tenperatura altua erabiltzen du material solidoak egoera gaseosoan bihurtzeko, eta ondoren substratuan uztea hutsean dagoen ingurune batean. Hona hemen lurruntze-estaldurako ekipoen funtzionamendu-printzipioa:
Hutseko ingurunea:
Lurruntze-estaldurako ekipoen lana hutsune handiko ingurune batean egin behar da, materialak lurruntzean zehar oxigenoarekin edo aireko beste ezpurutasunekin erreakzionatzea saihesteko eta metatutako filmaren garbitasuna bermatzeko.
Hutsean ganberak behar den hutsune-maila lortzen du ponpa mekanikoen eta difusio-ponpen bidez.
Lurruntze iturria:
Lurruntze-iturria estaldura-materiala berotzeko eta lurruntzeko erabiltzen den gailua da. Lurruntze-iturri ohikoenen artean erresistentzia-berokuntza iturriak, elektroi-sorta lurruntze-iturriak eta laser-lurruntze-iturriak daude.
Erresistentzia-berokuntza: materiala erresistentzia-hari baten bidez berotzea lurruntzeko.
Elektroi-izpien lurrunketa: elektroi-kanoi bat erabiltzea da estalitako materiala zuzenean berotzeko eta lurruntzeko.
Laser lurrunketa: materiala energia handiko laser izpi batekin irradiatu azkar lurrundu dadin.
Lurruntze prozesua:
Estalitako materiala egoera solido edo likidotik egoera gaseosora eraldatzen da lurruntze-iturriaren tenperatura altuan, lurruna sortuz.
Molekula hauek libreki mugitzen dira hutsunean eta norabide guztietan barreiatzen dira.
Filmaren deposizioa:
Lurrun-molekulak substratuaren hoztutako gainazalarekin topo egiten dute mugitzen, kondentsatzen eta metatzen direnean, film mehe bat eratuz.
Substratua biratu edo bestela uniformeki jarri daiteke lurrun-ingurunearen eraginpean, filmaren uniformetasuna eta koherentzia bermatzeko.
Hoztea eta sendatzea:
Metatu ondoren, filma hoztu eta solidotu egiten da substratuaren gainazalean, propietate fisiko eta kimiko espezifikoak dituen film geruza mehe bat eratzeko.
Aplikazio Eremuak
Estaldura optikoa: islatzearen aurkako filmak, ispiluak, iragazkiak eta bestelako osagai optikoak egiteko erabiltzen da.
Gailu elektronikoak: zirkuitu integratuak, erdieroale gailuak, pantaila gailuak eta abar fabrikatzeko erabiltzen dira.
Estaldura apaingarriak: apaingarrien, erlojuen, bitxien eta abarren gainazaleko estaldurarako erabiltzen dira, haien estetika eta higadurarekiko erresistentzia hobetzeko.
Estaldura funtzionalak: korrosioaren aurkako, oxidazioaren aurkako eta higaduraren aurkako funtzio bereziak dituzten filmak egiteko erabiltzen dira.
Bere purutasun, uniformetasun eta funtzionaltasun handiari esker, lurruntze-estalduraren teknologia oso erabilia izan da zehaztasun handiko eta eskaera handiko aplikazio askotan.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko uztailak 23