Aurustuskatmisseadmed on seadmed, mida kasutatakse õhukeste kilematerjalide sadestamiseks aluspinnale ja mida kasutatakse laialdaselt optiliste seadmete, elektroonikaseadmete, dekoratiivkatete jms valdkonnas. Aurustuskatmisel kasutatakse peamiselt kõrget temperatuuri tahkete materjalide gaasilisse olekusse muutmiseks ja seejärel vaakumkeskkonnas aluspinnale sadestamiseks. Aurustuskatmisseadmete tööpõhimõte on järgmine:
Vaakumkeskkond:
Aurustuskatte seadmete tööd tuleb teha kõrgvaakumis, et vältida materjali reageerimist hapniku või muude õhus olevate lisanditega aurustamise ajal ja tagada sadestatud kile puhtus.
Vaakumkamber saavutab vajaliku vaakumtaseme selliste seadmete abil nagu mehaanilised pumbad ja difusioonpumbad.
Aurustumisallikas:
Aurustusallikas on seade, mida kasutatakse kattematerjali kuumutamiseks ja aurustamiseks. Levinud aurustusallikate hulka kuuluvad takistuskütteallikad, elektronkiire aurustusallikad ja laseraurustusallikad.
Takistuskuumutamine: materjali kuumutamine läbi takistustraadi selle aurustamiseks.
Elektronkiire aurustamine: elektronkiire kiirgamine elektronpüstoli abil, mis kuumutab kaetud materjali otse aurustumiseks.
Laseraurustamine: materjali kiiritatakse suure energiaga laserkiirega, et see kiiresti aurustuks.
Aurustusprotsess:
Kaetud materjal muundatakse aurustusallika kõrge temperatuuri mõjul tahkest või vedelast olekust gaasilisse olekusse, moodustades auru.
Need aurumolekulid liiguvad vaakumkeskkonnas vabalt ja hajuvad igas suunas.
Kile sadestamine:
Aurumolekulid satuvad substraadi jahtunud pinnaga kokku, kui nad liiguvad, kondenseeruvad ja ladestuvad, moodustades õhukese kile.
Kile ühtluse ja konsistentsi tagamiseks saab substraati pöörata või muul viisil ühtlaselt aurukeskkonnaga kokku puutuda.
Jahutamine ja kõvenemine:
Pärast sadestamist jahtub ja kõveneb kile aluspinnal, moodustades õhukese kihi, millel on spetsiifilised füüsikalised ja keemilised omadused.
Rakendusvaldkonnad
Optiline kate: Kasutatakse peegeldusvastaste kilede, peeglite, filtrite ja muude optiliste komponentide valmistamiseks.
Elektroonikaseadmed: kasutatakse integraallülituste, pooljuhtseadiste, kuvarite jms tootmiseks.
Dekoratiivkatted: kasutatakse kaunistuste, kellade, ehete jms pinnakatmiseks, et parandada nende esteetikat ja kulumiskindlust.
Funktsionaalsed katted: kasutatakse spetsiaalsete funktsioonidega kilede valmistamiseks, näiteks korrosioonivastane, oksüdatsioonivastane ja kulumiskindel.
Oma kõrge puhtusastme, ühtluse ja multifunktsionaalsusega on aurustuskatte tehnoloogiat laialdaselt kasutatud paljudes ülitäpsetes ja nõudlikes rakendustes.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasina tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 23. juuli 2024