Vaporiĝa tegaĵa ekipaĵo estas speco de ekipaĵo uzata por deponi maldikajn filmmaterialojn sur la surfacon de la substrato, kiu estas vaste uzata en la kampoj de optikaj aparatoj, elektronikaj aparatoj, dekoraciaj tegaĵoj kaj tiel plu. Vaporiĝa tegaĵo ĉefe uzas altan temperaturon por konverti solidajn materialojn en gasan staton, kaj poste deponi ĝin sur la substraton sub vakua medio. Jen la funkcia principo de vaporiĝa tegaĵa ekipaĵo:
Vakua medio:
La laboro de vaporiĝema tegaĵa ekipaĵo devas esti efektivigita en alta vakua medio por malhelpi la materialon reagi kun oksigeno aŭ aliaj malpuraĵoj en la aero dum vaporiĝo kaj por certigi la purecon de la deponita filmo.
La vakua ĉambro atingas la bezonatan vakuan nivelon per ekipaĵo kiel mekanikaj pumpiloj kaj difuzpumpiloj.
Fonto de vaporiĝo:
Vaporiĝfonto estas aparato uzata por varmigi kaj vaporigi la tegaĵmaterialon. Oftaj vaporiĝfontoj inkluzivas rezistancajn hejtigfontojn, elektronfaskajn vaporiĝfontojn kaj laserajn vaporiĝfontojn.
Rezistohejtado: varmigo de la materialo per rezistancodrato por vaporigi ĝin.
Elektronfaska vaporiĝo: uzante elektronkanonon por elsendi elektronfaskon por rekte varmigi la tegitan materialon por igi ĝin vaporiĝi.
Lasera vaporiĝo: surradiu la materialon per alt-energia lasera radio por rapide vaporiĝi.
Vaporiĝa procezo:
La kovrita materialo transformiĝas de solida aŭ likva stato al gasa stato sub la alta temperaturo de la vaporiĝfonto, formante vaporon.
Tiuj vapormolekuloj moviĝas libere en vakua medio kaj difuzas en ĉiuj direktoj.
Filma deponado:
Vapormolekuloj renkontas la malvarmigitan surfacon de la substrato dum ili moviĝas, kondensiĝas kaj deponiĝas por formi maldikan filmon.
La substrato povas esti rotaciita aŭ alie unuforme eksponita al la vapora medio por certigi homogenecon kaj konsistencon de la filmo.
Malvarmiĝo kaj Kuracado:
Post la deponado, la filmo malvarmiĝas kaj hardas sur la substrata surfaco por formi maldikan filman tavolon kun specifaj fizikaj kaj kemiaj ecoj.
Aplikaj Areoj
Optika tegaĵo: Uzata por fari kontraŭreflektajn filmojn, spegulojn, filtrilojn kaj aliajn optikajn komponantojn.
Elektronikaj aparatoj: uzataj por fabriki integrajn cirkvitojn, duonkonduktajn aparatojn, ekranajn aparatojn, ktp.
Dekoraciaj tegaĵoj: uzataj por surfactegado de ornamaĵoj, horloĝoj, juveloj, ktp. por plibonigi ilian estetikon kaj eluziĝreziston.
Funkciaj tegaĵoj: uzataj por fari filmojn kun specialaj funkcioj kiel kontraŭkorodaj, kontraŭoksidaj kaj eluziĝrezistemaj.
Kun sia alta pureco, homogeneco kaj multfunkcieco, vaporiĝema tegaĵteknologio estis vaste uzata en multaj altprecizaj kaj altpostulataj aplikoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakua tegaĵmaŝinoGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 23-a de Julio, 2024