La funkciado de diversaj vakuaj pumpiloj havas aliajn diferencojn krom la kapablo pumpi vakuon al la ĉambro. Tial, estas tre grave klarigi la laboron entreprenitan de la pumpilo en la vakua sistemo dum elektado, kaj la rolo ludata de la pumpilo en malsamaj laborkampoj estas resumita jene.
1. Esti la ĉefa pumpilo en la sistemo
La ĉefa pumpilo estas la vakua pumpilo, kiu rekte pumpas la pumpitan ĉambron de la vakua sistemo por atingi la vakuan gradon bezonatan por plenumi la procezajn postulojn.
2、Malglata pumppumpilo
Malglata pumppumpilo estas vakuopumpilo, kiu komencas malpliiĝi de aerpremo, kaj la premo de la vakuosistemo atingas alian pumpsistemon, kiu povas komenci funkcii.
3、Antaŭfaza pumpilo
Antaŭfaza pumpilo estas vakupumpilo uzata por konservi la antaŭfazan premon de alia pumpilo sub ĝia plej alta permesita antaŭfaza premo.
4、Tenopumpilo
Tenanta pumpilo estas pumpilo, kiu ne povas efike uzi la ĉefan antaŭfazan pumpilon kiam la pumpado de la vakua sistemo estas tre malgranda. Tial, alia speco de helpa antaŭfaza pumpilo kun pli malgranda pumpadrapido estas uzata en la vakua sistemo por konservi la normalan funkciadon de la ĉefa pumpilo aŭ por konservi la malaltan premon bezonatan de la malplenigita ujo.
5、Malglata vakua pumpilo aŭ malalta vakua pumpilo
Malglata aŭ malglata vakua pumpilo estas vakua pumpilo, kiu ekfunkcias de la aero kaj funkcias en la gamo de malalta aŭ malglata vakua premo post redukto de la premo de la pumpita ujo.
6、Alta vakua pumpilo
Alta vakua pumpilo rilatas al la vakua pumpilo funkcianta en alta vakua intervalo.
7、Ultra-alta vakua pumpilo
Ultra-alta vakua pumpilo rilatas al la vakua pumpilo funkcianta en ultra-alta vakua gamo.
8、Akcelpumpilo
Akcelpumpilo kutime rilatas al la vakupumpilo funkcianta inter malalta vakupumpilo kaj alta vakupumpilo por pliigi la pumpkapaciton de la pumpsistemo en la meza premintervalo aŭ redukti la pumprapidecon de la antaŭa pumpilo.
Enkonduko al Jona Purigilo
Plasmopurigilo
1. Plasmo estas jonigita gaso en kiu la densecoj de pozitivaj jonoj kaj elektronoj estas proksimume egalaj. Ĝi konsistas el jonoj, elektronoj, liberaj radikaluloj kaj neŭtralaj partikloj.
2. Ĝi estas la kvara stato de materio. Ĉar plasmo estas kombinaĵo de pli alta energio ol gaso, la substanco en la plasma medio povas akiri pli da fizik-kemiaj kaj aliaj reakciaj karakterizaĵoj.
3. La mekanismo de plasmopurigilo dependas de la "plasmostato" de la materialo, la "aktiviga efiko", por forigi surfacajn makulojn.
4. Plasmopurigado estas ankaŭ la plej senfunda senŝeliga tipo de purigado inter ĉiuj purigmetodoj. Ĝi povas esti vaste uzata en duonkonduktaĵoj, mikroelektroniko, COG, LCD, LCM kaj LED-procezoj.
5. Preciza purigado antaŭ aparata pakado, vakua elektroniko, konektiloj kaj relajsoj, suna fotovoltaika industrio, plasta, kaŭĉuka, metala kaj ceramika surfacopurigado, gravuradotraktado, cindradotraktado, surfacoaktivigo kaj aliaj kampoj de vivsciencaj eksperimentoj.
Afiŝtempo: 7-a de novembro 2022