Die Anlage ist vertikal modular aufgebaut und mit mehreren Zugangstüren ausgestattet, um die unabhängige Installation und Wartung des Hohlraums, die Montage und zukünftige Aufrüstung zu ermöglichen. Ein vollständig geschlossenes Fördersystem für gereinigtes Material verhindert eine Kontamination des Werkstücks. Das Werkstück kann ein- oder beidseitig beschichtet werden, hauptsächlich zur Abscheidung optischer Farb- oder Metallfilme.
Der Beschichtungsraum der Anlage hält lange Zeit ein Hochvakuum aufrecht, mit wenig Verunreinigungsgas, hoher Beschichtungsreinheit und gutem Brechungsindex. Das vollautomatische Speedflo-Regelsystem optimiert die Filmabscheidungsrate. Die Prozessparameter sind nachverfolgbar, und der Produktionsprozess kann während des gesamten Prozesses überwacht werden, um Produktionsfehler leichter erkennen zu können. Die Anlage verfügt über einen hohen Automatisierungsgrad. Sie kann zusammen mit dem Manipulator eingesetzt werden, um die vorderen und hinteren Prozesse zu verbinden und so die Arbeitskosten zu senken.
Mit der Beschichtungsanlage können Nb2O5, SiO2, TiO2, in, Cu, Cr, Ti, SUS, Ag und anderen Oxiden sowie einfachen Metallmaterialien. Es wird hauptsächlich im optischen Farbfilmverfahren zur Überlagerung von Metall und optischen Materialien verwendet. Es eignet sich für Flachprodukte aus Glas, PC,HAUSTIERund andere Materialien. Es wird häufig in PET-Folien/Verbundplatten, Glasabdeckungen, Bildschirmen und anderen Produkten verwendet.