Fordampningsbelægningsudstyr er en type udstyr, der bruges til at aflejre tyndfilmsmaterialer på overfladen af et substrat, og det er meget udbredt inden for optiske enheder, elektroniske enheder, dekorative belægninger og så videre. Fordampningsbelægning bruger primært høj temperatur til at omdanne faste materialer til gasformige tilstande, som derefter aflejres på substratet under vakuum. Følgende er arbejdsprincippet for fordampningsbelægningsudstyr:
Vakuummiljø:
Arbejdet med fordampningsbelægningsudstyr skal udføres i et højvakuummiljø for at forhindre materialet i at reagere med ilt eller andre urenheder i luften under fordampning og for at sikre renheden af den aflejrede film.
Vakuumkammeret opnår det nødvendige vakuumniveau ved hjælp af udstyr såsom mekaniske pumper og diffusionspumper.
Fordampningskilde:
En fordampningskilde er en anordning, der bruges til at opvarme og fordampe belægningsmaterialet. Almindelige fordampningskilder omfatter modstandsvarmekilder, elektronstrålefordampningskilder og laserfordampningskilder.
Modstandsopvarmning: opvarmning af materialet gennem en modstandstråd for at fordampe det.
Elektronstrålefordampning: brug af en elektronkanon til at udsende en elektronstråle for direkte at opvarme det belagte materiale for at få det til at fordampe.
Laserfordampning: Bestråle materialet med en højenergilaserstråle for at få det til at fordampe hurtigt.
Fordampningsproces:
Det belagte materiale omdannes fra fast eller flydende tilstand til gasformig tilstand under fordampningskildens høje temperatur, hvorved der dannes damp.
Disse dampmolekyler bevæger sig frit i et vakuummiljø og diffunderer i alle retninger.
Filmaflejring:
Dampmolekyler støder på den afkølede overflade af substratet, når de bevæger sig, kondenserer og aflejres for at danne en tynd film.
Underlaget kan roteres eller på anden måde udsættes ensartet for dampmiljøet for at sikre filmens ensartethed og konsistens.
Afkøling og hærdning:
Efter aflejring afkøles og hærder filmen på substratoverfladen for at danne et tyndt filmlag med specifikke fysiske og kemiske egenskaber.
Anvendelsesområder
Optisk belægning: Bruges til at fremstille antireflekterende film, spejle, filtre og andre optiske komponenter.
Elektroniske enheder: bruges til at fremstille integrerede kredsløb, halvlederkomponenter, displayenheder osv.
Dekorative belægninger: bruges til overfladebelægning af dekorationer, ure, smykker osv. for at forbedre deres æstetik og slidstyrke.
Funktionelle belægninger: bruges til at fremstille film med særlige funktioner såsom antikorrosion, antioxidation og slidstyrke.
Med sin høje renhed, ensartethed og multifunktionalitet er fordampningsbelægningsteknologi blevet udbredt anvendt i mange højpræcisions- og højefterspørgselsapplikationer.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 23. juli 2024