U prucessu di riscaldamentu di materiali solidi in un ambiente à altu vuotu per sublimà o evaporà è depositalli nantu à un sustratu specificu per ottene una pellicola fina hè cunnisciutu cum'è rivestimentu per evaporazione à vuotu (chjamatu rivestimentu per evaporazione).
A storia di a preparazione di filmi fini per via di u prucessu di evaporazione à u vacuum pò esse tracciata finu à l'anni 1850. In u 1857, M. Farrar hà iniziatu u tentativu di rivestimentu à u vacuum evaporendu fili metallichi in azotu per furmà filmi fini. A causa di a tecnulugia di bassu vacuum di quellu tempu, a preparazione di filmi fini in questu modu pigliava assai tempu è ùn era micca pratica. Finu à u 1930, hè statu stabilitu un sistema di pompaggio meccanicu di giunti di pompa, a tecnulugia di u vacuum pò esse sviluppata rapidamente, solu per fà chì u rivestimentu per evaporazione è sputtering diventessi una tecnulugia pratica.
Ancu s'è l'evaporazione à vuoto hè una tecnulugia antica di deposizione di film sottili, hè u metudu u più cumunu utilizatu in laburatoriu è in l'industria. I so principali vantaghji sò un funziunamentu simplice, un cuntrollu faciule di i parametri di deposizione è l'alta purità di i filmi risultanti. U prucessu di rivestimentu à vuoto pò esse divisu in i trè passi seguenti.
1) u materiale surghjente hè riscaldatu è scioltu per evaporà o sublimà; 2) u vapore hè eliminatu da u materiale surghjente per evaporà o sublimà.
2) U vapore hè trasferitu da u materiale surghjente à u sustratu.
3) U vapore si condensa nantu à a superficia di u sustratu per furmà una pellicola solida.
L'evaporazione à vuoto di filmi fini, generalmente sò film policristallini o film amorfi, a crescita da film à isula hè dominante, attraversu i dui prucessi di nucleazione è di film. L'atomi (o molecule) evaporati si scontranu cù u sustratu, una parte di l'attaccamentu permanente à u sustratu, una parte di l'adsorbimentu è poi evapora da u sustratu, è una parte di a riflessione diretta da a superficia di u sustratu. L'adesione à a superficia di u sustratu di l'atomi (o molecule) per via di u muvimentu termicu pò spustassi longu a superficia, cum'è toccà altri atomi si accumulerà in gruppi. I gruppi sò più propensi à accade induve a tensione nantu à a superficia di u sustratu hè alta, o nantu à i passi di solvatazione di u sustratu cristallinu, perchè questu minimizza l'energia libera di l'atomi adsorbiti. Questu hè u prucessu di nucleazione. L'ulteriore deposizione di atomi (molecule) provoca l'espansione di i gruppi (nuclei) in forma d'isula citati sopra finu à ch'elli sò estesi in un film continuu. Dunque, a struttura è e proprietà di i filmi policristallini evaporati à vuoto sò strettamente ligate à a velocità di evaporazione è à a temperatura di u sustratu. In generale, più bassa hè a temperatura di u sustratu, più alta hè a velocità di evaporazione, più fine è densu hè u granu di u film.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 23 di marzu di u 2024