উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কঠিন পদার্থগুলিকে উত্তপ্ত করে পরমানন্দ বা বাষ্পীভূত করে একটি নির্দিষ্ট স্তরের উপর জমা করে একটি পাতলা আবরণ তৈরি করার প্রক্রিয়াকে ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ (যাকে বাষ্পীভবন আবরণ বলা হয়) বলা হয়।
ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে পাতলা ফিল্ম তৈরির ইতিহাস ১৮৫০-এর দশকে ফিরে পাওয়া যায়। ১৮৫৭ সালে, এম. ফারার নাইট্রোজেনে ধাতব তারগুলিকে বাষ্পীভূত করে পাতলা ফিল্ম তৈরির মাধ্যমে ভ্যাকুয়াম আবরণের প্রচেষ্টা শুরু করেন। সেই সময়ে ভ্যাকুয়াম প্রযুক্তির কম ব্যবহারের কারণে, এইভাবে পাতলা ফিল্ম তৈরি করা খুব সময়সাপেক্ষ ছিল এবং ব্যবহারিক ছিল না। ১৯৩০ সাল পর্যন্ত তেল ছড়িয়ে দেওয়ার পাম্পে একটি যান্ত্রিক পাম্প জয়েন্ট পাম্পিং সিস্টেম প্রতিষ্ঠিত হয়নি, ভ্যাকুয়াম প্রযুক্তি দ্রুত বিকশিত হতে পারে, কেবল বাষ্পীভবন এবং স্পুটারিং লেপকে একটি ব্যবহারিক প্রযুক্তিতে পরিণত করতে পারে।
যদিও ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন একটি প্রাচীন পাতলা ফিল্ম জমা করার প্রযুক্তি, তবে এটি সবচেয়ে সাধারণ পদ্ধতিতে ব্যবহৃত হয় ল্যাবরেটরি এবং শিল্প এলাকায়। এর প্রধান সুবিধা হল সহজ অপারেশন, জমা করার পরামিতিগুলির সহজ নিয়ন্ত্রণ এবং ফলস্বরূপ ফিল্মগুলির উচ্চ বিশুদ্ধতা। ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রক্রিয়াটি নিম্নলিখিত তিনটি ধাপে ভাগ করা যেতে পারে।
১) উৎস উপাদানকে উত্তপ্ত করে গলিয়ে বাষ্পীভূত বা পরমানন্দ করা হয়; ২) উৎস উপাদান থেকে বাষ্প অপসারণ করে বাষ্পীভূত বা পরমানন্দ করা হয়।
২) বাষ্প উৎস উপাদান থেকে সাবস্ট্রেটে স্থানান্তরিত হয়।
৩) বাষ্প স্তরের পৃষ্ঠে ঘনীভূত হয়ে একটি কঠিন স্তর তৈরি করে।
পাতলা ফিল্মের ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন সাধারণত পলিক্রিস্টালাইন ফিল্ম বা অ্যামোরফাস ফিল্ম হয়, ফিল্ম থেকে দ্বীপের বৃদ্ধি প্রাধান্য পায়, নিউক্লিয়েশন এবং ফিল্ম দুটি প্রক্রিয়ার মাধ্যমে। বাষ্পীভবনিত পরমাণু (বা অণু) সাবস্ট্রেটের সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয়, সাবস্ট্রেটের সাথে স্থায়ী সংযুক্তির অংশ, শোষণের অংশ এবং তারপর সাবস্ট্রেট থেকে বাষ্পীভূত হয়, এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠ থেকে সরাসরি প্রতিফলনের অংশ। তাপীয় চলাচলের কারণে পরমাণুর (বা অণু) সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের সাথে আনুগত্য পৃষ্ঠ বরাবর চলতে পারে, যেমন অন্যান্য পরমাণু স্পর্শ করলে গুচ্ছগুলিতে জমা হয়। যেখানে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের উপর চাপ বেশি থাকে বা স্ফটিক সাবস্ট্রেটের দ্রবণ ধাপে ক্লাস্টারগুলি হওয়ার সম্ভাবনা সবচেয়ে বেশি, কারণ এটি শোষিত পরমাণুর মুক্ত শক্তিকে হ্রাস করে। এটি নিউক্লিয়েশন প্রক্রিয়া। পরমাণু (অণু) আরও জমা হওয়ার ফলে উপরে উল্লিখিত দ্বীপ-আকৃতির গুচ্ছগুলি (নিউক্লিয়াস) সম্প্রসারিত হয় যতক্ষণ না সেগুলি একটি অবিচ্ছিন্ন ফিল্মে প্রসারিত হয়। অতএব, ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবনিত পলিক্রিস্টালাইন ফিল্মগুলির গঠন এবং বৈশিষ্ট্যগুলি বাষ্পীভবনের হার এবং সাবস্ট্রেট তাপমাত্রার সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। সাধারণভাবে বলতে গেলে, সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা যত কম হবে, বাষ্পীভবনের হার তত বেশি হবে, ফিল্ম গ্রেইন তত সূক্ষ্ম এবং ঘন হবে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: মার্চ-২৩-২০২৪