Оборудването за изпарително покритие е вид оборудване, използвано за отлагане на тънкослойни материали върху повърхността на субстрата, което се използва широко в областта на оптичните устройства, електронните устройства, декоративните покрития и т.н. Изпарителното покритие използва главно висока температура за превръщане на твърдите материали в газообразно състояние и след това се отлага върху субстрата под вакуум. Следният принцип на работа на оборудването за изпарително покритие е:
Вакуумна среда:
Работата на оборудването за изпарително покритие трябва да се извършва във висока вакуумна среда, за да се предотврати реакцията на материала с кислород или други примеси във въздуха по време на изпаряване и да се гарантира чистотата на отложения филм.
Вакуумната камера постига необходимото ниво на вакуум чрез оборудване като механични помпи и дифузионни помпи.
Източник на изпарение:
Източникът на изпарение е устройство, използвано за нагряване и изпаряване на материала на покритието. Често срещани източници на изпарение включват източници на резистивно нагряване, източници на електроннолъчево изпарение и източници на лазерно изпарение.
Резистивно нагряване: нагряване на материала чрез резистивен проводник, за да се изпари.
Изпаряване с електронен лъч: използване на електронен пистолет за излъчване на електронен лъч за директно нагряване на покрития материал, за да се изпари.
Лазерно изпаряване: облъчете материала с високоенергиен лазерен лъч, за да го изпарите бързо.
Процес на изпаряване:
Покритият материал се трансформира от твърдо или течно състояние в газообразно под въздействието на високата температура на източника на изпарение, образувайки пара.
Тези парни молекули се движат свободно във вакуумна среда и дифундират във всички посоки.
Отлагане на филм:
Молекулите на парата се сблъскват с охладената повърхност на субстрата, докато се движат, кондензират и се отлагат, образувайки тънък филм.
Субстратът може да се завърти или по друг начин равномерно да се изложи на парната среда, за да се осигури еднородност и консистенция на филма.
Охлаждане и втвърдяване:
След отлагане, филмът се охлажда и втвърдява върху повърхността на субстрата, образувайки тънък филмов слой със специфични физични и химични свойства.
Области на приложение
Оптично покритие: Използва се за направата на антирефлексни филми, огледала, филтри и други оптични компоненти.
Електронни устройства: използвани за производство на интегрални схеми, полупроводникови устройства, дисплеи и др.
Декоративни покрития: използват се за повърхностно покритие на декорации, часовници, бижута и др., за да се подобри тяхната естетика и износоустойчивост.
Функционални покрития: използват се за направата на филми със специални функции като антикорозионни, антиокислителни и износоустойчиви.
С високата си чистота, еднородност и многофункционалност, технологията за изпарително покритие се използва широко в много високопрецизни и търсени приложения.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 23 юли 2024 г.