Абсталяванне для выпарвальнага пакрыцця — гэта тып абсталявання, які выкарыстоўваецца для нанясення тонкаплёнкавых матэрыялаў на паверхню падкладкі і шырока выкарыстоўваецца ў аптычных прыладах, электронных прыладах, дэкаратыўных пакрыццях і г.д. Выпарвальнае пакрыццё ў асноўным выкарыстоўвае высокую тэмпературу для пераўтварэння цвёрдых матэрыялаў у газападобны стан, а затым наносіцца на падкладку ў вакуумным асяроддзі. Прынцып працы абсталявання для выпарвальнага пакрыцця прыведзены ніжэй:
Вакуумнае асяроддзе:
Праца абсталявання для выпарвальнага пакрыцця павінна выконвацца ў асяроддзі высокага вакууму, каб прадухіліць рэакцыю матэрыялу з кіслародам або іншымі прымешкамі ў паветры падчас выпарэння і забяспечыць чысціню напыленай плёнкі.
Вакуумная камера дасягае неабходнага ўзроўню вакууму з дапамогай такога абсталявання, як механічныя помпы і дыфузійныя помпы.
Крыніца выпарэння:
Крыніца выпарэння — гэта прылада, якая выкарыстоўваецца для награвання і выпарэння матэрыялу пакрыцця. Да распаўсюджаных крыніц выпарэння адносяцца крыніцы рэзістыўнага нагрэву, крыніцы электронна-прамянёвага выпарэння і крыніцы лазернага выпарэння.
Рэзістыўны нагрэў: награванне матэрыялу праз рэзістыўны провад для яго выпарэння.
Электронна-прамянёвае выпарэнне: выкарыстанне электроннай гарматы для выпраменьвання электроннага прамяня для непасрэднага нагрэву пакрытага матэрыялу, каб прымусіць яго выпарыцца.
Лазернае выпарэнне: апраменьванне матэрыялу лазерным праменем высокай энергіі для хуткага выпарэння.
Працэс выпарвання:
Пакрыты матэрыял пераходзіць з цвёрдага або вадкага стану ў газападобны пад уздзеяннем высокай тэмпературы крыніцы выпарэння, утвараючы пару.
Гэтыя малекулы пары свабодна рухаюцца ў вакуумным асяроддзі і дыфундуюць ва ўсіх напрамках.
Нанясенне плёнкі:
Малекулы пары падчас руху сутыкаюцца з астуджанай паверхняй падкладкі, кандэнсуюцца і асядаюць, утвараючы тонкую плёнку.
Падкладку можна паварочваць або іншым чынам раўнамерна падвяргаць уздзеянню паравога асяроддзя, каб забяспечыць аднастайнасць і кансістэнцыю плёнкі.
Астуджэнне і зацвярдзенне:
Пасля нанясення плёнка астывае і зацвярдзее на паверхні падкладкі, утвараючы тонкі пласт з пэўнымі фізічнымі і хімічнымі ўласцівасцямі.
Сферы прымянення
Аптычнае пакрыццё: выкарыстоўваецца для вырабу антыблікавых плёнак, люстэркаў, фільтраў і іншых аптычных кампанентаў.
Электронныя прылады: выкарыстоўваюцца для вытворчасці інтэгральных схем, паўправадніковых прыбораў, дысплейных прылад і г.д.
Дэкаратыўныя пакрыцці: выкарыстоўваюцца для пакрыцця паверхняў упрыгожванняў, гадзіннікаў, ювелірных вырабаў і г.д. для паляпшэння іх эстэтыкі і зносаўстойлівасці.
Функцыянальныя пакрыцці: выкарыстоўваюцца для вырабу плёнак са спецыяльнымі функцыямі, такімі як антыкаразійныя, антыакісляльныя і зносаўстойлівыя.
Дзякуючы высокай чысціні, аднастайнасці і шматфункцыянальнасці, тэхналогія выпарнага пакрыцця шырока выкарыстоўваецца ў многіх высокадакладных і запатрабаваных галінах.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 23 ліпеня 2024 г.