Акрамя здольнасці перапампоўваць вакуум у камеру, прадукцыйнасць розных вакуумных помпаў мае і іншыя адрозненні. Таму пры выбары вельмі важна ўдакладніць працу, якую выконвае помпа ў вакуумнай сістэме, і роля, якую адыгрывае помпа ў розных працоўных абласцях, коратка апісана ніжэй.
1. З'яўляецца галоўным помпай у сістэме
Асноўны помпа — гэта вакуумны помпа, які непасрэдна перапампоўвае камеру вакуумнай сістэмы, каб атрымаць ступень вакууму, неабходную для задавальнення патрабаванняў працэсу.
2. Помпа для грубай адпампоўкі
Помпа грубай адпампоўкі - гэта вакуумная помпа, якая пачынае зніжаць ціск паветра, і ціск вакуумнай сістэмы дасягае іншай сістэмы адпампоўкі, якая можа пачаць працаваць.
3. Папярэдні помпа
Папярэдні помпа — гэта вакуумны помпа, які выкарыстоўваецца для падтрымання ціску папярэдняга этапу іншага помпы ніжэй за яго максімальна дазволены ціск папярэдняга этапу.
4. Утрымлівальны помпа
Утрымліваючы помпа — гэта помпа, які не можа эфектыўна выкарыстоўваць асноўны перадступенны помпа, калі магутнасць вакуумнай сістэмы вельмі малая. Па гэтай прычыне ў вакуумнай сістэме выкарыстоўваецца іншы тып дапаможнага перадступеннага помпы з меншай хуткасцю адпампоўкі для падтрымання нармальнай працы асноўнага помпы або для падтрымання нізкага ціску, неабходнага для апаражнёнага кантэйнера.
5. Грубы вакуумны помпа або помпа нізкага вакууму
Грубы або нізкі вакуумны помпа — гэта вакуумны помпа, які запускаецца з паветра і працуе ў дыяпазоне нізкага або грубага вакуумнага ціску пасля зніжэння ціску ў перапампоўваемай ёмістасці.
6. Высокавакуумны помпа
Высокавакуумны помпа азначае вакуумны помпа, які працуе ў дыяпазоне высокага вакууму.
7. Звышвысокавакуумны помпа
Звышвысокавакуумны помпа азначае вакуумны помпа, які працуе ў дыяпазоне звышвысокага вакууму.
8. Павышальны помпа
Павышальны помпа звычайна азначае вакуумны помпа, які працуе паміж нізкавакуумным помпам і высокавакуумным помпам, каб павялічыць прапускную здольнасць помпавай сістэмы ў сярэднім дыяпазоне ціску або знізіць патрабаванні да хуткасці адпампоўкі першага помпы.
Уводзіны ў іонны ачышчальнік
Плазменны ачышчальнік
1. Плазма — гэта іянізаваны газ, у якім шчыльнасць дадатных іонаў і электронаў прыблізна аднолькавая. Яна складаецца з іонаў, электронаў, свабодных радыкалаў і нейтральных часціц.
2. Гэта чацвёрты стан рэчыва. Паколькі плазма ўяўляе сабой спалучэнне больш высокай энергіі, чым газ, рэчыва ў плазменным асяроддзі можа набываць больш фізіка-хімічных і іншых рэакцыйных характарыстык.
3. Механізм плазменнай ачышчальнай машыны заключаецца ў тым, што для выдалення паверхневых плям выкарыстоўваецца «эфект актывацыі» матэрыялу ў «плазменным стане».
4. Плазменная ачыстка таксама з'яўляецца самым эфектыўным тыпам ачысткі сярод усіх метадаў. Яна шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковых прыборах, мікраэлектроніцы, COG, LCD, LCM і святлодыёдных працэсах.
5. Дакладная ачыстка перад упакоўкай прылад, вакуумная электроніка, раздымы і рэле, сонечная фотаэлектрычная прамысловасць, ачыстка паверхняў пластыка, гумы, металу і керамікі, апрацоўка травленнем, апрацоўка попелам, актывацыя паверхні і іншыя галіны эксперыментаў у галіне біялагічных навук.
Час публікацыі: 07 лістапада 2022 г.