Buxarlayıcı örtük avadanlığı, optik cihazlar, elektron cihazlar, dekorativ örtüklər və s. sahələrdə geniş istifadə olunan nazik təbəqə materiallarını substratın səthinə çökdürmək üçün istifadə olunan bir növ avadanlıqdır. Buxarlandırıcı örtük əsasən bərk materialları qaz halına çevirmək üçün yüksək temperaturdan istifadə edir və sonra vakuum mühiti altında substrata yerləşdirilir. Buxarlandırıcı örtük avadanlığının iş prinsipi aşağıdakılardır:
Vakuum mühiti:
Buxarlanma zamanı materialın havadakı oksigen və ya digər çirkləri ilə reaksiya verməsinin qarşısını almaq və çökdürülmüş filmin təmizliyini təmin etmək üçün buxarlandırıcı örtük avadanlıqlarının işi yüksək vakuum mühitində aparılmalıdır.
Vakuum kamerası mexaniki nasoslar və diffuziya nasosları kimi avadanlıq vasitəsilə tələb olunan vakuum səviyyəsinə nail olur.
Buxarlanma mənbəyi:
Buxarlanma mənbəyi örtük materialını qızdırmaq və buxarlamaq üçün istifadə olunan bir cihazdır. Ümumi buxarlanma mənbələrinə müqavimətli qızdırma mənbələri, elektron şüa buxarlanma mənbələri və lazer buxarlanma mənbələri daxildir.
Müqavimət qızdırması: materialın buxarlanması üçün müqavimət teli vasitəsilə qızdırılması.
Elektron şüasının buxarlanması: buxarlanmaq üçün örtülmüş materialı birbaşa qızdırmaq üçün bir elektron şüası yaymaq üçün elektron silahdan istifadə etmək.
Lazer buxarlanması: materialın sürətlə buxarlanması üçün yüksək enerjili lazer şüası ilə şüalandırın.
Buxarlanma prosesi:
Örtülmüş material buxarlanma mənbəyinin yüksək temperaturu altında bərk və ya maye haldan qaz halına çevrilərək buxar əmələ gətirir.
Bu buxar molekulları vakuum mühitində sərbəst hərəkət edir və bütün istiqamətlərə yayılır.
Filmin yerləşdirilməsi:
Buxar molekulları hərəkət edərkən, kondensasiya edərkən və nazik bir film meydana gətirmək üçün çökən zaman substratın soyudulmuş səthi ilə qarşılaşır.
Filmin vahidliyini və tutarlılığını təmin etmək üçün substrat döndərilə və ya başqa şəkildə buxar mühitinə bərabər şəkildə məruz qala bilər.
Soyutma və qurutma:
Çöküntüdən sonra film xüsusi fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərə malik nazik bir film təbəqəsi yaratmaq üçün substratın səthində soyuyur və quruyur.
Tətbiq sahələri
Optik örtük: əks etdirməyə qarşı filmlər, güzgülər, filtrlər və digər optik komponentlər hazırlamaq üçün istifadə olunur.
Elektron cihazlar: inteqral sxemlərin, yarımkeçirici cihazların, displey cihazların və s. istehsalı üçün istifadə olunur.
Dekorativ örtüklər: bəzək əşyalarının, saatların, zərgərlik məmulatlarının və s.-nin estetikasını və aşınmaya davamlılığını yaxşılaşdırmaq üçün səthi örtmək üçün istifadə olunur.
Funksional örtüklər: antikorroziya, oksidləşmə və aşınmaya davamlılıq kimi xüsusi funksiyaları olan filmlər hazırlamaq üçün istifadə olunur.
Yüksək təmizliyi, vahidliyi və çoxfunksionallığı ilə buxarlandırıcı örtük texnologiyası bir çox yüksək dəqiqlik və yüksək tələbat tələb edən tətbiqlərdə geniş istifadə edilmişdir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşını istehsalıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 23 iyul 2024-cü il