معدات الطلاء التبخيري هي نوع من المعدات المستخدمة لترسيب مواد الأغشية الرقيقة على سطح الركيزة، وتُستخدم على نطاق واسع في مجالات الأجهزة البصرية، والإلكترونيات، والطلاءات الزخرفية، وغيرها. يعتمد الطلاء التبخيري بشكل أساسي على درجة حرارة عالية لتحويل المواد الصلبة إلى حالة غازية، ثم ترسيبها على الركيزة في بيئة مفرغة من الهواء. مبدأ عمل معدات الطلاء التبخيري هو كما يلي:
بيئة الفراغ:
يجب أن يتم تنفيذ عمل معدات الطلاء التبخيري في بيئة ذات فراغ عالي لمنع تفاعل المادة مع الأكسجين أو الشوائب الأخرى في الهواء أثناء التبخر ولضمان نقاء الفيلم المترسب.
وتحقق غرفة التفريغ مستوى الفراغ المطلوب من خلال معدات مثل المضخات الميكانيكية ومضخات الانتشار.
مصدر التبخر:
مصدر التبخير هو جهاز يُستخدم لتسخين وتبخير مادة الطلاء. من مصادر التبخير الشائعة: مصادر التسخين بالمقاومة، ومصادر التبخير بشعاع الإلكترون، ومصادر التبخير بالليزر.
التسخين بالمقاومة: تسخين المادة من خلال سلك المقاومة لتبخيرها.
التبخر بحزمة الإلكترونات: استخدام مسدس إلكتروني لإصدار شعاع إلكتروني لتسخين المادة المطلية مباشرة لجعلها تتبخر.
التبخير بالليزر: تعريض المادة لشعاع ليزر عالي الطاقة لجعلها تتبخر بسرعة.
عملية التبخر:
تتحول المادة المطلية من الحالة الصلبة أو السائلة إلى الحالة الغازية تحت درجة الحرارة العالية لمصدر التبخر، مكونة البخار.
تتحرك جزيئات البخار هذه بحرية في بيئة الفراغ وتنتشر في جميع الاتجاهات.
ترسب الفيلم:
تلتقي جزيئات البخار بالسطح المبرد للركيزة أثناء تحركها، وتتكثف وتترسب لتشكل طبقة رقيقة.
يمكن تدوير الركيزة أو تعريضها بطريقة أخرى لبيئة البخار بشكل موحد لضمان اتساق الفيلم وتجانسه.
التبريد والمعالجة:
بعد الترسيب، يبرد الفيلم ويتصلب على سطح الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة من الفيلم ذات خصائص فيزيائية وكيميائية محددة.
مجالات التطبيق
الطلاء البصري: يستخدم في صناعة الأفلام المضادة للانعكاس والمرايا والمرشحات والمكونات البصرية الأخرى.
الأجهزة الإلكترونية: تستخدم في تصنيع الدوائر المتكاملة، وأجهزة أشباه الموصلات، وأجهزة العرض، وما إلى ذلك.
الطلاءات الزخرفية: تستخدم لطلاء أسطح الزخارف والساعات والمجوهرات وما إلى ذلك لتحسين جماليتها ومقاومتها للتآكل.
الطلاءات الوظيفية: تستخدم لصنع أفلام ذات وظائف خاصة مثل مقاومة التآكل ومضادات الأكسدة ومقاومة التآكل.
بفضل نقائها العالي وتوحيدها ووظائفها المتعددة، تم استخدام تقنية الطلاء التبخيري على نطاق واسع في العديد من التطبيقات عالية الدقة وعالية الطلب.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةتصنيع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٣ يوليو ٢٠٢٤