Nínú ìyípadà oní-nọ́ńbà lónìí, ìdàgbàsókè gbígbòòrò ti ìgbéjáde dátà ni a ń darí nípasẹ̀ ìbáṣepọ̀ ìgbàlódé gíga nínú àwọn fóònù alágbèéká, àwọn ìrírí AR/VR tí ó wúlò, àti àwọn iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ oní-nọ́ńbà nínú ìṣiṣẹ́ gíga. Àpò ìṣiṣẹ́ 2D ìbílẹ̀—pẹ̀lú àwọn ipa ọ̀nà ìsopọ̀ gígùn àti àdánù ìgbéjáde gíga—kò le já àwọn ìdènà iṣẹ́ mọ́.
Nítorí náà, ìdìpọ̀ chip àti 3D packing ti yọrí sí ìtọ́sọ́nà ètò ilé iṣẹ́ náà. Láti mú kí ìsopọ̀ 3D tó gbéṣẹ́ dáadáa, ìmọ̀ ẹ̀rọ Through Glass Via (TGV) ti yọrí sí rere pẹ̀lú àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ rẹ̀, ó ń gbéra láti àwọn ìpamọ́ R&D sí lílo ilé iṣẹ́. TGV ti di ohun èlò pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ itanna ìran tó ń bọ̀.
1. Ìmọ̀-ẹ̀rọ TGV: “Afara” ti Ìsopọ̀ 3D
1.1 Ìrònú Àkọ́kọ́: Kí ni TGV gan-an?
Kókó TGV ni ṣíṣe àwọn microvia inaro nípasẹ̀ ohun èlò dígí. Àwọn vias wọ̀nyí ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn afárá iná, tí wọ́n so àwọn ërún tàbí àwọn èròjà pọ̀ tààrà, tí ó ń jẹ́ kí ìfiranṣẹ́ àmì àti agbára tànkálẹ̀. Ní ìfiwéra pẹ̀lú “okùn onípele” ìbílẹ̀, ìsopọ̀ inaro ń dín àwọn ipa ọ̀nà gbigbe kù lọ́nà tí ó ṣe pàtàkì, ó sì ń mú kí ẹ̀rọ dínkù sí i àti ìṣọ̀kan gíga.
1.2 Ìdí tí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ gilasi fi jẹ́ ohun tí ń gbé TGV lárugẹ
TGV ju TSV lọ (Nipasẹ Silicon Via) nitori awọn anfani ohun elo mẹta pataki ti gilasi:
Díẹ̀díẹ̀ dielectric dúró – tó ń dáàbò bo àwọn àmì ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga: Gíláàsì ní ìdúró dielectric kékeré, tó ń dín àdánù dielectric kù nígbà tí a bá ń gbé e jáde, tó sì ń pa ìwà títọ́ àmì mọ́ nínú àwọn ohun èlò ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ gíga bíi 5G àti HPC.
Ibamu imugboro ooru pẹlu silikoni – ti o mu igbẹkẹle pọ si: Gilasi baamu iye silikoni ti imugboro ooru, o dinku wahala thermo-mechanical ati awọn ikuna lakoko iyipo ooru, nitorinaa o mu igbesi aye ẹrọ naa pọ si.
Ìmọ́lẹ̀ ojú tó ga – tó ń mú kí ìṣọ̀kan optoelectronic ṣiṣẹ́: Láìdàbí silíkónì tí kò ní ìmọ́lẹ̀, ìmọ́lẹ̀ ojú dígí ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ elektro-optíkì. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn modulu silicon photonics, gilasi ń mú kí ìsopọ̀ iná mànàmáná àti ìfiranṣẹ́ àmì optíkì ṣeé ṣe; nínú àwọn ìfihàn AR/VR micro, ìmọ́lẹ̀ ojú dídínkù ìdènà ojú dídín, ó sì ń mú kí ìmọ́lẹ̀ àti ìmọ́lẹ̀ sunwọ̀n síi.
1.3 Láti TSV sí TGV: Ìyípadà Àdánidá
Kí TGV tó dé, TSV ni ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ 3D tó gbajúmọ̀ jùlọ. Síbẹ̀síbẹ̀, TSV dojúkọ àwọn ìpèníjà tó ń pọ̀ sí i bí ìṣọ̀kan ṣe ń pọ̀ sí i:
Iye owo giga: Awọn ilana ti o nira pupọ - dida, idabobo, ati isọdi-irin - jẹ ki TSV ko dara fun iṣelọpọ iwọn nla.
Àwọn àníyàn ìgbẹ́kẹ̀lé: Àìbáramu ìfẹ̀sí ooru láàárín silikoni àti àwọn ohun èlò míràn sábà máa ń yọrí sí ìfọ́ tàbí ìfọ́pọ̀ ìsopọ̀ tí a so pọ̀.
Àkójọpọ̀ ìlò tó lopin: Àìsí ìbòjú Silicon kò yọ TSV kúrò nínú àwọn ìlò optoelectronic tó nílò ìfihàn.
TGV n koju awon aaye irora wonyi daradara, ti o je ki o je ojutu isopọmọ iran ti o tẹle ti o fẹran julọ.
2. Nípasẹ̀ ìbòrí: Agbára ìṣiṣẹ́ tó ń mú kí TGV ṣiṣẹ́ dáadáa
2.1 Ìmọ̀ràn Pàtàkì: Láìsí Àwọ̀, TGV jẹ́ “Túùbù Òfo” lásán
Àwọn gíláàsì jẹ́ ààbò nípa ti ara wọn, wọn kò sì le ṣe iná mànàmáná. Láti mú kí ìsopọ̀mọ́ra ṣeé ṣe, a gbọ́dọ̀ gbé ìpele ìdarí onípele kan (tí ó sábà máa ń jẹ́ fíìmù irin) sí ẹ̀gbẹ́ àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́. Ìpele yìí ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà àfihàn—tí ó ń pinnu iyàrá, pípàdánù, àti ìdúróṣinṣin. Àwọn ìbòrí tí kò bá ara mu tàbí tí ó ní àbùkù máa ń fa ìdènà gíga, ìdínkù àmì, tàbí àwọn àyíká ṣíṣí sílẹ̀, èyí tí ó ń mú kí ìmọ̀-ẹ̀rọ TGV wà ní ipò ìyè nípasẹ̀ irin.
2.2 Àwọn Ìpèníjà: Àwọn Àmì Ìrora Pàtàkì Méjì
Ibora ipin apa giga
Àwọn ìwọ̀n TGV wà ní ìwọ̀n micrometer báyìí (tó wà ní ~30 μm) pẹ̀lú ìjìnlẹ̀ tó ju ìpíndọ́gba 10:1 lọ. Àwọn ọ̀nà ìfipamọ́ ìbílẹ̀ ń tiraka láti dé ibi ìbòrí ìsàlẹ̀ àti àwọn fíìmù ẹ̀gbẹ́ tí ó dọ́gba, wọ́n sábà máa ń fi àwọn “ibi tí ó ti kú” tí a kò bò sílẹ̀ tí ó ń ba iṣẹ́ ìsopọ̀ jẹ́.
Ìṣàkóso Àbùkù – Apànìyàn Tí Ó Farasin
Àwọn igun àti àwọn ibi tí ó ní ìdàrúdàpọ̀ nípasẹ̀ àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ máa ń ní ìfàsẹ́yìn sí àwọn òfo tàbí àwọn ìfọ́. Àwọn àbùkù wọ̀nyí máa ń fa àwọn ìpele ìdènà agbègbè tàbí àwọn àyíká ṣíṣí sílẹ̀, èyí tí ó máa ń ba àwọn ìsopọ̀ láàrín àwọn ègé àti àwọn ẹ̀rọ jẹ́. Nítorí náà, ìdènà àbùkù ni ìpèníjà pàtàkì ti ìbòrí TGV.
3. Àwọn Ọ̀nà Ìbòrí Mẹ́rin: Àwọn Agbára àti Àwọn Ààlà
Ìgbékalẹ̀ Afẹ́fẹ́ Ti Ara (PVD): Ó dàgbà ṣùgbọ́n ó ní ààlà
Àwọn ìlànà bíi ìtújáde àti ìfọ́ omi ń pèsè àwọn fíìmù mímọ́ tó ga, tó sì lẹ̀ mọ́ ara wọn dáadáa. Síbẹ̀síbẹ̀, nítorí “ìríran” rẹ̀, PVD ń jìjàkadì pẹ̀lú ìwọ̀n ìríran gíga, ó sì dára jùlọ fún àwọn ìwọ̀n ìríran tó wà ní ìsàlẹ̀ ~5:1.
Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kẹ́míkà (CVD): Ìpíndọ́gba Àwòrán Gíga Lè Ṣeéṣe Ṣùgbọ́n Ó Kúrò Jù
CVD nlo awọn ohun elo ti o n fa gaasi ti o tan kaakiri nipasẹ awọn odi ẹgbẹ, ti o n pese awọn awọ ti o jọra paapaa ni awọn eto ipin iwọn giga. Sibẹsibẹ, awọn ipo iwọn otutu giga ati titẹ le ba awọn ipilẹ gilasi jẹ, ati pe idiyele ohun elo ga, eyiti o jẹ ki o dara julọ fun awọn ohun elo ti o ga julọ.
Isọdipo Elektrokemika (ECD): Iṣelọpọ Ibi-pupọ ti o munadoko-owo
Àwọn fíìmù ECD tí ń darí àwọn ohun èlò náà nípa dídín àwọn ion irin kù nípasẹ̀ àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́. Ó ní owó díẹ̀ àti agbára gíga, ó dára fún ìṣẹ̀dá iwọn didun. Síbẹ̀síbẹ̀, ìṣàkóso ìṣọ̀kan elekitiroliti àti ìwọ̀n ìṣàn omi ṣe pàtàkì—ìyàtọ̀ yóò yọrí sí àwọn fíìmù oníhò tàbí ìbàjẹ́. A sábà máa ń lò ó sí àwọn vias 5–50 μm ní ìwọ̀n ìlà.
Isọdipọ Layer Atomic (ALD): Ojutu Pataki naa
ALD ṣàṣeyọrí ìṣàkóso ìwọ̀n atomiki àti ìtẹ̀léra tó dára, èyí tó mú kí ó dára fún ìpíndọ́gba apá tó ga gan-an. Ó yanjú ìpèníjà ìbòrí ṣùgbọ́n ó ní ìṣòro ìfipamọ́ tó lọ́ra gidigidi àti iye owó tó ga. Nítorí náà, ALD jẹ́ pàtàkì fún àwọn sensọ̀ afẹ́fẹ́ àti àwọn sensọ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
4. Iye Aṣọ TGV: Wiwakọ Iṣẹ Isopọmọ 3D
Ìrísí Ìyára - Àwọn Ìsopọ̀ Taara Gíga
Nínú àpò 2D, àwọn àmì gbọ́dọ̀ rìn jìnnà réré, èyí sì máa ń mú kí àdánù pọ̀ sí i. Pẹ̀lú ìṣẹ̀dá TGV, àwọn ìsopọ̀ chip-to-board àti chip-to-system di kúkúrú, inaro, àti pípadánù díẹ̀. Nínú àwọn olupin HPC, àwọn vias tí a fi TGV bo mú kí iyara ìbánisọ̀rọ̀ CPU-to-memory/GPU sunwọ̀n sí i ní ìwọ̀n 30%, èyí tí ó dín àkókò ìdúró kù, tí ó sì ń mú kí iṣẹ́ ètò náà sunwọ̀n sí i.
Lilo Agbara - Idaduro kekere ati Lilo Agbara
Àwọn ipa ọ̀nà ìbáṣepọ̀ kúkúrú dín ìfàsẹ́yìn kù, nígbà tí àwọn ìbòrí tí kò ní agbára púpọ̀ dín ìgbóná Joule kù. Fún àpẹẹrẹ, àpò ìbòrí fóònù alágbéká TGV lè dín agbára core control kù ní 15–20%, kí ó mú kí batiri pẹ́ sí i, kí ó sì mú kí ìrírí olùlò sunwọ̀n sí i.
5. Zhenhua Vacuum: Àwọn Ìdáhùn Ìbòrí TGV Tó Tẹ̀síwájú
Àwọn Àǹfààní Ẹ̀rọ
Ṣíṣe àtúnṣe Jíjìn-Nípasẹ̀
Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí ihò jíjìn tí ó ní agbára mú kí ìpele irúgbìn kan náà wà ní ìwọ̀n kékeré tó tó 30 μm pẹ̀lú àwọn ìpíndọ́gba apá tí ó ju 10:1 lọ—láti yanjú ọ̀kan lára àwọn ìpèníjà tí ó le jùlọ ní ilé-iṣẹ́ náà.
Ṣíṣe àtúnṣe sí ìṣàlẹ̀
Ó ṣe àtìlẹ́yìn fún onírúurú ìwọ̀n ìṣàlẹ̀ gilasi, pẹ̀lú 600 × 600 mm / 510 × 515 mm, pẹ̀lú ìyípadà sí àwọn ìrísí tó tóbi jù.
Irọrun Ilana - Ibamu Pupọ-Ohun elo
Ṣe atilẹyin fun awọn fiimu ti n ṣe itọsọna ati iṣẹ-ṣiṣe bi Cu, Ti, W, Ni, ati Pt, ni ibamu pẹlu awọn ibeere lilo oriṣiriṣi fun agbara gbigbe ati resistance ipata.
Iṣẹ́ Iduroṣinṣin ati Itọju Rọrun
A pese pẹlu awọn eto iṣakoso ilana oye fun ibojuwo akoko gidi ti ibamu sisanra fiimu, ati apẹrẹ modulu fun itọju irọrun ati idinku akoko isinmi.
Ààlà Ohun Èlò
Ó wúlò fún àkójọpọ̀ TGV/TSV/TMV tó ti ní ìlọsíwájú, èyí tó ń jẹ́ kí ìforúkọsílẹ̀ irúgbìn tó wà nínú àwọn ọ̀nà jíjìn pẹ̀lú ìpíndọ́gba ìpíndọ́gba 10:1.
—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-27-2025