N'oge mgbanwe dijitalụ nke taa, mmụba dị egwu nke nnyefe data na-adabere na mmekọrịta ugboro ugboro dị na ekwentị mkpanaaka, ahụmịhe AR/VR na-adọrọ adọrọ, na nnukwu ibu ọrụ kọmputa na kọmputa arụmọrụ dị elu. Nkwakọ ngwaahịa 2D ọdịnala—nwere ụzọ njikọ dị ogologo na mfu nnyefe dị elu—enweghịzi ike imebi ihe mgbochi arụmọrụ.
N'ihi ya, nhazi chip na nkwakọ ngwaahịa 3D apụtala dị ka ụzọ atụmatụ ụlọ ọrụ ahụ si arụ ọrụ. Iji mee ka njikọ 3D dị irè nke ọma, teknụzụ Site na Glass Via (TGV) apụtawo ìhè na uru pụrụ iche ya, na-esi na nchekwa R&D gaa na ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe. TGV na-aghọzi ihe na-enyere aka ugbu a maka ngwaọrụ eletrọniki ọgbọ na-abịa.
1. Teknụzụ TGV: "Àkwà mmiri" nke njikọ 3D
1.1 Isi Echiche: Gịnị bụ kpọmkwem TGV?
Isi ihe dị na TGV bụ imepụta obere microvia kwụ ọtọ site na ihe mkpuchi iko. Via ndị a na-arụ ọrụ dị ka àkwà mmiri eletriki, na-ejikọ ibe ma ọ bụ ihe mejupụtara ya ozugbo, na-eme ka ma mgbama ma nnyefe ike dị. Ma e jiri ya tụnyere "wire planar" ọdịnala, njikọ kwụ ọtọ na-eme ka ụzọ nnyefe dị mkpụmkpụ nke ukwuu ma na-akwado obere ngwaọrụ na njikọta dị elu.
1.2 Ihe Mere Ihe Ndị Dị n'Ime Iko Ji Bụrụ Ihe E Ji Eme Ihe Maka TGV
TGV karịrị TSV (site na Silicon Via) n'ihi uru ihe atọ dị mkpa nke iko:
Ọ dịghị agbanwe agbanwe dielectric - na-echebe akara ngosi ugboro ugboro: Iko nwere obere dielectric, na-ebelata mfu dielectric n'oge nnyefe ma na-echekwa iguzosi ike n'ezi ihe mgbaàmà na ngwa ugboro ugboro dị ka 5G na HPC.
Ndakọrịta nke mgbasa okpomọkụ na silicon - nke na-eme ka ntụkwasị obi dịkwuo mma: Glass na-adakọ nke ọma na ọnụọgụgụ silicon nke mgbasa okpomọkụ, na-ebelata nrụgide thermo-mechanical na ọdịda n'oge ịgbagharị okpomọkụ, si otú a na-agbatị ndụ ngwaọrụ ahụ.
Nnukwu nghọta anya - na-eme ka njikọta optoelectronic dị ike: N'adịghị ka silicon na-adịghị mma, nghọta iko na-akwado ngwa ngwa electro-optical. Dịka ọmụmaatụ, na modulu silicon photonics, iko na-eme ka njikọ eletriki na nnyefe mgbaàmà anya dị ike dị ike; na obere ngosipụta AR/VR, nghọta na-ebelata mkpọchi anya ma na-eme ka ìhè na ịdị ọcha dịkwuo mma.
1.3 Site na TSV ruo TGV: Mgbanwe Okike
Tupu TGV, TSV bụ teknụzụ njikọ 3D kachasị. Agbanyeghị, TSV na-eche nsogbu ndị na-arị elu ihu ka njupụta njikọta na-arị elu:
Ọnụ ego dị elu: Usoro dị mgbagwoju anya—ịkpụcha ihe, mkpuchi ihe, imepụta ígwè—na-eme ka TSV ghara ịdị mma maka imepụta ihe buru ibu.
Nchegbu a pụrụ ịtụkwasị obi: Enweghị nkwekọ na mgbasa okpomọkụ dị n'etiti silicon na ihe ndị ọzọ na-ebutekarị mgbawa ma ọ bụ mmebi nkwonkwo.
Oke ojiji: Opacity nke Silicon anaghị ewepụ TSV na ngwa optoelectronic nke chọrọ nghọta.
TGV na-edozi isi ihe mgbu ndị a nke ọma, na-eme ka ọ bụrụ ihe ngwọta njikọ ọgbọ na-esote kachasị mma.
2. Site na mkpuchi: Ihe na-eme ka TGV rụọ ọrụ nke ọma
2.1 Isi Ihe: Na-enweghị mkpuchi, TGV bụ naanị "Tube efu"
Via iko na-eme ka ihe ghara ịdị ọcha ma ha enweghị ike ịrụ ọrụ ọkụ eletrik. Iji mee ka njikọ dị n'etiti, a ga-etinye oyi akwa conformal conductive (nke na-abụkarị ihe nkiri ígwè) n'akụkụ mgbidi ndị dị n'akụkụ. Oyi akwa a na-arụ ọrụ dị ka ụzọ mgbaama—na-ekpebi ọsọ, mfu, na nkwụsi ike. Mkpuchi na-adịghị otu ma ọ bụ nke nwere nkwarụ na-akpata nguzogide dị elu, mbelata akara, ma ọ bụ ọbụna sekit mepere emepe, na-eme site na iji metallisation mee ka teknụzụ TGV dị ndụ.
2.2 Ihe Ịma Aka: Isi Ihe Mgbu Abụọ Dị Mkpa
Mkpuchi Oke Akụkụ Dị Elu
Dayameta TGV dị ugbu a na oke micrometer (ruo ~30 μm) yana omimi gafere oke akụkụ 10:1. Usoro nchekwa ọdịnala na-agba mbọ inweta mkpuchi ala na ihe nkiri akụkụ otu, na-ahapụkarị "ebe nwụrụ anwụ" a na-ekpuchighị ekpuchi nke na-emebi arụmọrụ njikọ.
Njikwa Mmebi - Onye Na-egbu Ihe Zoro Ezo
Nkuku na ihe ndị siri ike site na mgbidi dị n'akụkụ na-enwekarị oghere ma ọ bụ afụ. Nrụhie ndị a na-akpata mmụba iguzogide mpaghara ma ọ bụ sekit mepere emepe, na-emebi njikọ dị n'etiti chips na ngwaọrụ ozugbo. Ya mere, mgbochi ntụpọ bụ isi ihe ịma aka nke mkpuchi TGV.
3. Ụzọ Mkpuchi Anọ: Ike na Mmachi
Mbelata Uzuoku Anụ Ahụ (PVD): Ndị Tozuru Okè mana Nwere Oke
Usoro dịka ịpụpụ mmiri na ịgbapụ mmiri na-enye ihe nkiri dị ọcha nke ukwuu, nke na-arapara nke ọma. Agbanyeghị, n'ihi ọdịdị "ahịrị anya" ya, PVD na-alụso oke akụkụ dị elu ọgụ ma kacha mma maka vias dị n'okpuru ~ 5: 1 akụkụ.
Mbelata Uzuoku Kemịkalụ (CVD): Oke Akụkụ Dị Elu Nwere Ike Mana Ọ Dị Ọnụ Ahịa
CVD na-eji ihe ndị na-ebute gas nke na-agbasa site na mgbidi, na-enye mkpuchi otu ụdị ọbụlagodi na nhazi akụkụ dị elu. Agbanyeghị, ọnọdụ okpomọkụ na nrụgide dị elu na-etinye ihe ndị na-eme ka iko dị n'ime ya mebie, ọnụ ahịa akụrụngwa dịkwa elu, nke na-eme ka ọ dabara adaba maka ngwa ndị dị elu.
Ntinye Electrochemical (ECD): Mmepụta Oke Ọnụ Ahịa Dị irè
ECD na-eme ka ihe nkiri ndị na-eduzi ihe dị iche iche site na ibelata ion ígwè site na mgbidi. Ọ na-enye ọnụ ala dị ala na nnukwu mmepụta, dị mma maka mmepụta olu. Agbanyeghị, njikwa siri ike nke njupụta elektrọl na njupụta ugbu a dị mkpa - mgbanwe na-eduga na fim ma ọ bụ mmetọ oghere. A na-ejikarị ya na vias 5-50 μm na dayameta.
Ndoputa Atọm Layer (ALD): Ngwọta Nkezi
ALD na-enweta njikwa ọkpụrụkpụ nke atọm na nhazi dị mma, na-eme ka ọ dị mma maka oke akụkụ dị elu. Ọ na-edozi nsogbu mkpuchi mana ọ na-enwe oke mbelata ngwa ngwa na ọnụ ahịa dị elu. Ya mere, ALD bụ isi ihe echekwara maka ihe mmetụta ikuku na nke a pụrụ ịtụkwasị obi.
4. Uru nke mkpuchi TGV: Ịkwalite arụmọrụ njikọ 3D
Nchọgharị Ọsọ - Njikọ Ọsọ Dị Elu
N'ime ngwugwu 2D, akara ngosi ga-aga ebe dị anya, na-abawanye mfu. Site na TGV metallisation, njikọ chip-to-board na chip-to-system na-aghọ mkpụmkpụ, kwụ ọtọ, na obere mfu. Na sava HPC, vias mkpuchi TGV na-eme ka ọsọ nkwukọrịta CPU-to-memory/GPU ka mma karịa 30%, na-ebelata oge nkwụsị ma na-eme ka arụmọrụ sistemụ dịkwuo mma.
Ịrụ Ọrụ Ike - Obere Oge Nkwụsị na Oriri Ike
Ụzọ njikọ dị mkpụmkpụ na-ebelata igbu oge, ebe mkpuchi ndị na-anaghị eguzogide obere na-ebelata okpomọkụ Joule. Dịka ọmụmaatụ, nkwakọ ngwaahịa chip ekwentị TGV nwere ike ibelata oriri ike isi site na 15–20%, na-agbatị ndụ batrị ma na-eme ka ahụmịhe onye ọrụ ka mma.
5. Zhenhua Vacuum: Ngwọta Mkpuchi TGV dị elu
Uru nke akụrụngwa
Mmezi Miri-Via
Teknụzụ mkpuchi oghere miri emi nke nwere ikike pụrụ iche na-eme ka a na-etinye otu akwa mkpụrụ n'ime ụzọ dị obere dịka 30 μm, yana oke akụkụ karịrị 10:1—na-edozi otu n'ime ihe ịma aka kachasị sie ike na ụlọ ọrụ ahụ.
Nhazi Substrate A Na-ahazi
Na-akwado ọtụtụ nha iko dị iche iche, gụnyere 600 × 600 mm / 510 × 515 mm, yana ike ịhazi ya ruo na usoro ndị buru ibu.
Mgbanwe Usoro - Ndakọrịta Ọtụtụ Ihe
Na-akwado ihe nkiri ndị na-eduzi ihe na ndị na-arụ ọrụ dịka Cu, Ti, W, Ni, na Pt, na-emezu ihe dị iche iche achọrọ maka ojiji na iguzogide mmebi.
Arụmọrụ kwụsiri ike na mmezi dị mfe
E ji usoro njikwa usoro ọgụgụ isi mee ihe maka nlekota oge nke ịdị n'otu ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ, yana nhazi modular maka mmezi dị mfe na mbelata oge ọrụ.
Oke Ngwa
Ọ dabara na nkwakọ ngwaahịa TGV/TSV/TMV dị elu, na-eme ka a na-etinye mkpụrụ osisi n'ime ụzọ miri emi nke nwere oke akụkụ nke 10:1.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Sep-27-2025