I le suiga faatekinolosi i aso nei, o le tuputupu aʻe tele o le fesiitaiga o faʻamatalaga o loʻo faʻatinoina e fegalegaleaiga maualuga i telefonipoto, aafiaga AR/VR loloto, ma le tele o avega faigaluega faʻakomepiuta i komepiuta faʻatino maualuga. O afifiina masani 2D—faʻatasi ai ma auala fesoʻotaʻi uumi ma le tele o gau o fesiitaiga—e le mafai ona toe foia faʻalavelave faʻatino.
O le iʻuga, ua tulaʻi mai le faʻaputuina o sipa ma le afifiina 3D o se itu taua mo le alamanuia. Ina ia mafai ai ona faʻatino ni fesoʻotaʻiga 3D lelei moni, ua tu matilatila le tekinolosi Through Glass Via (TGV) ma ona tulaga lelei tulaga ese, e alu ese mai le R&D i le faʻaaogaina i alamanuia. Ua avea nei le TGV ma se mea taua mo masini eletise o le isi tupulaga.
1. Tekonolosi TGV: O le "Alaala" o le Feso'ota'iga 3D
1.1 Manatu Autū: O le ā Tonu Lava le TGV?
O le uiga autū o le TGV o le fa'atupuina lea o ni microvias fa'atulagaina e ala i se mea fa'avae tioata. O nei vias e fai ma alalaupapa eletise, e fa'afeso'ota'i sa'o ai ni fasipepa po'o ni vaega ua fa'aputuina, e mafai ai ona fa'asalalauina uma fa'ailoilo ma le eletise. Pe a fa'atusatusa i le "planar wiring" masani, o le feso'ota'iga fa'atulagaina e fa'apu'upu'u tele ai auala fa'asalalau ma fa'amalosia ai le fa'aitiitiga o masini ma le tu'ufa'atasia maualuga.
1.2 Aiseā ua avea ai tioata ma mea e feaveaʻi faanatura mo le TGV
Ua sili atu le TGV i le TSV (Through Silicon Via) ona o itu taua e tolu o le tioata:
Maualalo le dielectric constant – puipuia o faailoilo maualuga-frequency: O le tioata e iai lona maualalo o le dielectric constant, e faʻaitiitia ai le leiloa o le dielectric i le taimi o le fesiitaiga ma faʻasaoina le saogalemu o faailoilo i faʻaoga maualuga-frequency e pei o le 5G ma le HPC.
Fegalegaleai o le fa'alauteleina o le vevela ma le silicon – fa'aleleia atili ai le fa'atuatuaina: E tutusa lelei le tioata ma le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela o le silicon, e fa'aitiitia ai le atuatuvale fa'avevela ma fa'aletonu i le taimi o le ta'amilosaga fa'avevela, ma fa'alauteleina ai le umi e ola ai le masini.
Maualuga le manino o le optic – e mafai ai ona tu'ufa'atasia le optoelectronic: E le pei o le opaque silicon, e lagolagoina e le manino o le tioata fa'aoga fa'afefiloi eletise-optical. Mo se fa'ata'ita'iga, i totonu o silicon photonics modules, e mafai ai e le tioata ona feso'ota'i eletise ma le fa'asalalauina o fa'ailo optic; i AR/VR microdisplays, e fa'aitiitia ai le poloka optic ma fa'aleleia atili ai le pupula ma le manino.
1.3 Mai le TSV i le TGV: O se Evolusi Faanatura
A o le'i oo i le TGV, o le TSV o le tekinolosi autū lea o feso'ota'iga 3D. Peita'i, o lo'o feagai le TSV ma lu'itau fa'atupula'ia a'o fa'atupula'ia le tele o feso'ota'iga:
Tau maualuga: O faiga faigata o le faagasologa—togiina, fa'avevela, fa'apipi'iina i u'amea—e lē talafeagai ai le TSV mo gaosiga tetele.
Popolega i le faʻatuatuaina: O le lē fetaui o le faʻalauteleina o le vevela i le va o le silicon ma isi meafaitino e masani ona iʻu ai i le māvaevae poʻo le gau o le soʻoga o le uʻamea.
Lapo'a fa'atapula'aina o le fa'aoga: O le opacity o Silicon e le aofia ai le TSV mai fa'aoga optoelectronic e mana'omia ai le manino.
E foia lelei e le TGV nei faafitauli, ma avea ai ma fofo feso'ota'iga e sili ona lelei mo le isi augatupulaga.
2. Via Coating: O le Fa'agaoioiga Autu e Fa'agaoioia ai le TGV
2.1 Va'aiga Autū: A aunoa ma se Ufiufi, o le TGV ua na'o se "Paipa Gaogao"
O tioata vias e fa'amama ma e le mafai ona fa'afoeina le eletise. Ina ia mafai ai ona feso'ota'i, e tatau ona fa'apipi'i se vaega fa'afoeina tutusa (e masani lava o se ata u'amea) i autafa o le via. O lenei vaega e galue o se auala fa'ailo—e fuafua ai le saoasaoa, leiloa, ma le mautu. O ufiufi e le tutusa pe le atoatoa e mafua ai le tete'e maualuga, fa'aitiitia o fa'ailo, po'o ni matagaluega tatala, ma avea ai le via metallization ma laina ola o le tekinolosi TGV.
2.2 Luʻitau: O Tiga Matuia e Lua
Ufiufi Maualuga o le Fua Faatatau
Ua i ai nei le lautele o le TGV i le vaega o le micrometer (e oo atu i le ~30 μm) ma loloto e sili atu i le 10:1 aspect ratios. E faigata i auala masani o le fa'aputuina ona ausia le ufiufi o le pito i lalo ma ata tutusa o le puipui i autafa, e masani ona tu'ua ai ni "vaega oti" e le'i ufiufiina e fa'aleagaina ai le fa'atinoga o feso'ota'iga.
Pulea o Mea Sese – O Le Fasioti Tagata Natia
O tulimanu ma puipui i autafa e faigofie ona i ai ni avanoa po'o ni pupuni e fa'apipi'i ai. O nei fa'aletonu e mafua ai ni tete'e fa'apitonu'u po'o ni matagaluega tatala, ma motusia sa'o ai feso'ota'iga i le va o chips ma masini. O le taofia o fa'aletonu o le lu'itau autu lea o le ufiufi TGV.
3. Auala e Fa'a'ofu ai: Malosiaga ma Tapula'a
Fa'aputuga o le Ausa Fa'aletino (PVD): Matua ae Fa'atapula'aina
O faiga e pei o le fa'amamago ma le sputtering e maua ai ni ata tifaga e maualuga le mama ma pipii mau. Peita'i, ona o lona natura "line-of-sight", e faigata i le PVD ona maua ni vias maualuga le aspect ratio ma e sili ona fetaui mo vias i lalo ifo o le ~5:1 aspect ratios.
Fa'aputuga o le Ausa Kemikolo (CVD): E Mafai ona Fa'amamāina i le Fua Fa'atatau Maualuga ae Taugata
E fa'aaogā e le CVD ni kasa e sosolo solo i autafa o le fale, ma maua ai ni ufiufi tutusa e tusa lava pe i ni fausaga e maualuga le fua faatatau. Peita'i, o tulaga maualuga o le vevela ma le mamafa e ono fa'aleagaina ai mea e fai i tioata, ma e taugata tele fo'i meafaigaluega, ma e talafeagai ai mo fa'aoga maualuluga.
Fa'aputuga Eletise (ECD): Gaosiga Tele e Taugofie
O ata tifaga e fa'afoeina ai le eletise i luga o le ECD plates e ala i le fa'aitiitia o ions u'amea i luga o puipui i autafa. E ofoina atu le tau maualalo ma le maualuga o le gaosiga, e fetaui lelei mo le gaosiga o le tele. Peita'i, e taua tele le pulea lelei o le maualuga o le electrolyte ma le mamafa o le tafe—o le eseesega e mafua ai ni ata tifaga e iai ni porous po'o ni fa'aleagaina. E masani ona fa'aogaina i vias e 5–50 μm le lautele.
Atomic Layer Deposition (ALD): O le fofo sa'o
E ausia e le ALD le puleaina o le mafiafia o le atomic-scale ma le conformality sili ona lelei, ma avea ai ma mea lelei mo vias maualuga tele. E foia ai le luʻitau o le ufiufi ae e mafatia i le telegese o le faʻaputuina ma le taugata tele. O le mea lea, o le ALD e faʻapitoa mo le aerospace ma sensors e maualuga le faʻatuatuaina.
4. Le Taua o le TGV Coating: Fa'aleleia atili ai le Fa'atinoga o Feso'ota'iga 3D
Fa'aleleia atili o le Saosaoa – Feso'ota'iga Tuusa'o e Saosaoa Maualuga
I le afifiina 2D, e tatau ona malaga fa'ailo i ni mamao mamao, ma fa'ateleina ai le leiloa. Faatasi ai ma le metallization TGV, o feso'ota'iga chip-to-board ma chip-to-system e pupuu, fa'atulagaina, ma maualalo le leiloa. I totonu o 'au'aunaga HPC, o vias ua ufiufiina e le TGV e mafai ai ona fa'aleleia atili le saoasaoa o feso'ota'iga CPU-to-memory/GPU i le silia ma le 30%, fa'aitiitia ai le latency ma fa'aleleia atili ai le lelei o le faiga.
Fa'aaogāina Lelei o le Malosiaga – Fa'aitiitia le Fa'atuai ma le Fa'aaogaina o le Malosiaga
O auala feso'ota'i pupuu e fa'aitiitia ai le fa'atuai, ae o ufiufi e maualalo le tete'e e fa'aitiitia ai le vevela o le Joule. Mo se fa'ata'ita'iga, o le afifiina o le pu'upu'u telefonipoto e mafai ona fa'aitiitia ai le fa'aaogaina o le eletise autu i le 15–20%, fa'alauteleina ai le ola o le maa ma fa'aleleia atili ai le poto masani a le tagata fa'aoga.
5. Zhenhua Vacuum: Fofo Fa'aleleia o le TGV Coating
Fa'amanuiaga o Meafaigaluega
Fa'aleleia Atili o le Deep-Via
O le tekinolosi fa'apitoa e ufiufi ai le loloto o le pu e mafai ai ona fa'aputu tutusa le fatu e o'o lava i vias e la'ititi e pei o le 30 μm ma le aspect ratios e sili atu i le 10:1—e foia ai se tasi o lu'itau sili ona faigata o le alamanuia.
Taulimaina o le Substrate e Mafai ona Fa'afetaui
E lagolagoina le tele o lapopo'a o le tioata, e aofia ai le 600 × 600 mm / 510 × 515 mm, fa'atasi ai ma le fa'alauteleina i fa'atulagaga tetele.
Fetuutuuna'i o Faiga – Fegalegaleaiga o Meafaitino e Tele
Lagolagoina ata tifaga e fa'avevela ai le eletise ma le aoga e pei o le Cu, Ti, W, Ni, ma le Pt, e fa'afetaui ai mana'oga eseese mo le tete'e atu i le fa'avevela ma le 'ele.
Fa'atinoga Mausali ma Tausiga Faigofie
Ua fa'apipi'iina i ni faiga fa'atonutonu atamai mo le mata'ituina moni o le mafiafia o le ata tifaga i le taimi moni, ma se mamanu fa'apitoa mo le faigofie o le tausiga ma le fa'aitiitia o le taimi e le fa'agaoioia ai.
Va'aiga o le Talosaga
E talafeagai mo le afifiina fa'apitoa o le TGV/TSV/TMV, e mafai ai ona fa'aputuina le fatu i totonu o vias loloto ma le fua fa'atatau o le 10:1.
—O lenei tusiga na lomia e meafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea kamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Setema-27-2025