In awọn imọ-ẹrọ igbale ti ode oni, iṣẹ́ opitika ti awọn fiimu tinrin ni asopọ ni pataki si akojọpọ ati didara ohun elo afojusun ti a lo ninu awọn ilana ifipamọ. Boya ninu PVD, magnetron sputtering, tabi awọn eto ALD ati PECVD ti o ti ni ilọsiwaju, afojusun naa n ṣiṣẹ gẹgẹbi orisun ipilẹ ti ohun elo ti o ṣe fẹlẹfẹlẹ iṣẹ lori substrate nikẹhin. Akopọ eroja rẹ, mimọ, ati ipilẹ kekere n ni ipa ipinnu lori atọka refractive, coefficient iparun, ati ihuwasi wiwo gbogbogbo ti fiimu ti a fi silẹ.
Àwọn ìyàtọ̀ nínú ìṣètò àfojúsùn ní ipa lórí stoichiometry àti iwuwo ti fíìmù tín-ín-rín náà, èyí tí ó máa ń pinnu àwọn ohun tí ó dúró ṣinṣin àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́ rẹ̀. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn ìbòrí dielectric tí a ṣe fún àwọn ohun èlò ìdènà-ìtànmọ́lẹ̀ tàbí àwọn ohun èlò ìtànmọ́lẹ̀ gíga, ìṣàkóso pípéye ti àwọn ìpíndọ́gba oxide irin—bíi TiO₂, SiO₂, tàbí Al₂O₃—ṣe pàtàkì. Kódà àwọn ìyàtọ̀ kékeré nínú akoonu oxygen tàbí ìpíndọ́gba cation nínú àfojúsùn lè yọrí sí àwọn ìyípadà nínú àtọ́ka ìtọ́kasí, ìbísí ìfàmọ́ra opitika, tàbí àìtọ́ka ìpele spectral, èyí tí ó lè ba ìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ jẹ́ nínú àwọn ètò opitika.
Bákan náà, nínú àwọn fíìmù onírin tín-tín, àkójọpọ̀ ohun tí a fẹ́ ṣe ni ó ń darí ìwọ̀n elekitironi tí ó ní òmìnira, ìwà plasmon ojú ilẹ̀, àti ìfarahàn ní gbogbo àwọn ìrísí tí a lè rí àti infurarẹẹdi. Àwọn ibi-afẹ́fẹ́ bàbà, fàdákà, tàbí aluminiomu tí ó mọ́ tónítóní máa ń rí i dájú pé àwọn ibi ìtújáde kan náà wà, wọ́n sì máa ń dín àwọn ibi ìtújáde kù tí ó lè ba ìṣọ̀kan opitika jẹ́. Àwọn ibi-afẹ́fẹ́ tí a fi irin ṣe tàbí tí a fi doped ni a sábà máa ń ṣe láti mú kí àwọn ohun ìní fíìmù pàtó sunwọ̀n sí i, bíi resistance ipata, líle ẹ̀rọ, tàbí ìfàmọ́ra opitika tí a lè yí padà, ṣùgbọ́n wọ́n nílò ìṣàkóso irin tí ó péye láti yẹra fún àwọn àbùkù tí ó lè ba iṣẹ́ opitika jẹ́.
Jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ànímọ́ ìṣètò kékeré ti ibi-àfojúsùn náà—ìwọ̀n ọkà, porosity, àti ìtọ́sọ́nà kirisitalographic—lè ní ipa lórí ìrísí àti ìwọ̀n ìdìpọ̀ ti fíìmù tí a fi pamọ́. Fún àpẹẹrẹ, nínú ìfọ́ magnetron, ìṣètò kékeré tí a fojúsùn ní ipa lórí ìbísí sputter, ìpínkiri igun ti àwọn ẹ̀yà tí a yọ jáde, àti wahala fíìmù, èyí tí gbogbo wọn ń ṣe àfikún sí ìṣọ̀kan ojú àti agbára.
Láti ṣe àṣeyọrí àwọn fíìmù tín-tín tó lágbára, ó ṣe pàtàkì láti so àwọn ìlànà ìfọkànsí pọ̀ mọ́ àwọn ìlànà ìfọkànsí. Yíyan ọ̀nà ìfọkànsí, ìwọ̀n otútù substrate, agbára ìfọ́nká, àti àyíká ìfọ́nká gbọ́dọ̀ jẹ́ àtúnṣe ní ìbámu pẹ̀lú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àfojúsùn láti ṣàkóso stoichiometry fíìmù, ìwọ̀n, àti ìṣẹ̀dá àbùkù. Àwọn ọ̀nà ìfọ́nká ...
Ní ṣókí, ohun èlò tí a fẹ́ lò kìí ṣe orísun àwọn átọ̀mù nínú ìbòrí ìgbálẹ̀ lásán—ó jẹ́ ohun tí ó ń pinnu àwọn ohun ìní ìpìlẹ̀ fíìmù tín-tín. Ìṣàkóso oníṣọ̀kan lórí ìṣẹ̀dá kẹ́míkà rẹ̀, ìwẹ̀nùmọ́ rẹ̀, àti ìṣètò kékeré ṣe pàtàkì láti ṣàṣeyọrí àwọn àmì ìfàmọ́ra pípéye, ìdúróṣinṣin ìrísí, àti ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́ nínú àwọn ìbòrí dielectric àti metal. Bí àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ìgbálẹ̀ ṣe ń yípadà sí ìṣedéédé gíga àti àwọn ìrísí onípele púpọ̀, ipa àwọn ohun èlò tí a fẹ́ lò ń di ohun pàtàkì síi, èyí tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ àwọn èròjà opitika nínú àwọn ètò ìfihàn, àwọn photonics, àwọn sensọ̀, àti àwọn ẹ̀rọ agbára.
Àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde nípasẹ̀olupese ẹrọ ti a fi n bo igbaleẸ̀rọ ìfọṣọ Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-03-2026