In teicneòlasan còmhdach falamh ùr-nodha, tha coileanadh optaigeach fhilmichean tana ceangailte gu dlùth ri co-dhèanamh agus càileachd an stuth targaid a thathar a’ cleachdadh ann am pròiseasan tasgaidh. Ge bith an ann an siostaman PVD, sputtering magnetron, no ALD agus PECVD adhartach, tha an targaid na thùs bunaiteach de stuth a chruthaicheas an sreath gnìomhach air an t-substrate mu dheireadh. Tha buaidh chinnteach aig a cho-dhèanamh eileamaideach, purrachd agus meanbh-structar air clàr-amais ath-tharraingeach, co-èifeachd cuir às, agus giùlan speactram iomlan an fhilm tasgaidh.
Bidh atharrachaidhean ann an co-dhèanamh an targaid a’ toirt buaidh dhìreach air stoichiometry agus dùmhlachd an fhilm tana, a tha an uair sin a’ dearbhadh a cunbhalachdan optigeach agus seasmhachd coileanaidh. Mar eisimpleir, ann an còtaichean dielectric a chaidh a dhealbhadh airson tagraidhean an-aghaidh meòrachadh no àrd-mheòrachadh, tha smachd mionaideach air co-mheasan ocsaid meatailt - leithid TiO₂, SiO₂, no Al₂O₃ - riatanach. Faodaidh eadhon gluasadan beaga ann an susbaint ocsaidean no co-mheasan cation anns an targaid leantainn gu gluasadan ann an clàr-amais ath-tharraingeach, barrachd gabhail optigeach, no mì-thaobhadh còmhlan speactram, a chuireas bacadh air èifeachdas innealan ann an siostaman optigeach.
San aon dòigh, ann am filmichean tana meatailteach, bidh co-dhèanamh an targaid a’ dearbhadh dùmhlachd nan electronan saora, giùlan plasmon uachdar, agus faileasachd thar an speactram faicsinneach agus infridhearg. Bidh targaidean copair, airgid no alùmanum àrd-ghlan a’ dèanamh cinnteach à tasgadh cunbhalach agus a’ lughdachadh ionadan sgapadh a dh’ fhaodadh aon-ghnèitheachd optigeach a mhilleadh. Bidh targaidean le measgachadh no dopadh gu tric air an innleachadh gus feartan sònraichte film a neartachadh, leithid strì an aghaidh creimeadh, cruas meacanaigeach, no gabhail a-steach optigeach atharrachail, ach feumaidh iad smachd meatailteach mionaideach gus nach cuir iad lochdan a-steach a chuireas bacadh air coileanadh optigeach.
A bharrachd air sin, faodaidh feartan meanbh-structarail an targaid—meud a’ ghràin, porosity, agus treòrachadh criostalagrafach—buaidh a thoirt air morf-eòlas agus dùmhlachd pacaidh an fhilm a chaidh a thasgadh. Ann an sputtering magnetron, mar eisimpleir, bidh meanbh-structar an targaid a’ toirt buaidh air toradh sputter, sgaoileadh ceàrnach nan gnèithean a thèid a thilgeil a-mach, agus cuideam film, a tha uile a’ cur ri cunbhalachd optigeach agus seasmhachd.
Gus filmichean tana àrd-choileanaidh a choileanadh, tha e deatamach dealbhadh targaid a thoirt còmhla ri paramadairean a’ phròiseis. Feumar an dòigh-obrach tasgaidh, teòthachd an t-substrate, cumhachd sputtering, agus àrainneachd falamh a bharrachadh còmhla ri co-dhèanamh an targaid gus smachd a chumail air stoichiometry, dùmhlachd, agus cruthachadh lochdan film. Bidh fuasglaidhean còmhdach falamh adhartach a’ cleachdadh siostaman sgrùdaidh is fios-air-ais in situ gus suidheachaidhean tasgaidh atharrachadh gu dinamach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil feartan optigeach an fhilm a’ freagairt gu dlùth ri sònrachaidhean dealbhaidh.
Mar gheàrr-chunntas, chan e dìreach stòr dadaman ann an còmhdach falamh a th’ anns an stuth targaid—’s e am prìomh fheart a th’ ann a tha a’ dearbhadh feartan optigeach film tana. Tha smachd mionaideach air a cho-dhèanamh ceimigeach, purrachd agus meanbh-structar riatanach gus clàran-amais ath-tharraingeach mionaideach, dìlseachd speactram agus seasmhachd fad-ùine a choileanadh ann an còmhdach dielectric agus meatailteach. Mar a bhios teicneòlasan còmhdach falamh ag atharrachadh a dh’ionnsaigh ailtireachd ioma-fhilleadh nas cruinne agus nas iom-fhillte, bidh àite stuthan targaid a’ sìor fhàs cudromach, a’ neartachadh coileanadh phàirtean optigeach ann an siostaman taisbeanaidh, fotonics, mothachairean agus innealan lùtha.
Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh leneach-dèanamh uidheamachd còmhdach falamhFalamh Zhenhua
Àm puist: Màrt-03-2026