In teknụzụ mkpuchi uzuoku ọgbara ọhụrụ, arụmọrụ anya nke ihe nkiri dị gịrịgịrị nwere njikọ dị n'ime ya na nhazi na ịdị mma nke ihe ebumnuche ejiri na usoro nkwụnye ihe. Ma ọ bụ na PVD, magnetron sputtering, ma ọ bụ sistemụ ALD na PECVD dị elu, ihe mgbaru ọsọ na-eje ozi dị ka isi iyi nke ihe nke na-emecha mepụta oyi akwa ọrụ na substrate ahụ. Ihe mejupụtara ya, ịdị ọcha ya, na obere nhazi ya na-enwe mmetụta dị mkpa na index refractive, coefficient destruction, na omume spectral zuru oke nke ihe nkiri ahụ echekwara.
Mgbanwe dị iche iche na ihe mejupụtara ebumnuche na-emetụta kpọmkwem stoichiometry na njupụta nke ihe nkiri dị gịrịgịrị, nke na-ekpebikwa ihe ndị na-agbanwe agbanwe na arụmọrụ ya. Dịka ọmụmaatụ, na mkpuchi dielectric nke emere maka ojiji mgbochi ntụgharị uche ma ọ bụ ngwa ntụgharị uche dị elu, njikwa ziri ezi nke oke oxide metal - dị ka TiO₂, SiO₂, ma ọ bụ Al₂O₃ - dị mkpa. Ọbụna obere mgbanwe na ọdịnaya oxygen ma ọ bụ oke cation na ebumnuche nwere ike ibute mgbanwe na index refractive, mmụba nke nnabata anya, ma ọ bụ nhazi spectral band, nke na-emebi arụmọrụ ngwaọrụ na sistemụ anya.
N'otu aka ahụ, na fim ndị dị gịrịgịrị nke ígwè, ihe e ji mee ya na-achịkwa njupụta elektrọn efu, omume plasmon elu, na ntụgharị uche n'ofe ụdị a na-ahụ anya na nke infrared. Ihe e ji mee ya bụ ọla kọpa, ọlaọcha, ma ọ bụ aluminom nke dị ọcha nke ukwuu na-eme ka e nwee otu ebe a na-etinye ihe ma belata ebe ndị na-agbasa ihe nke nwere ike imebi nha anya. A na-emekarị ihe e ji mee ihe ma ọ bụ doped iji melite ihe ndị metụtara ihe nkiri, dị ka iguzogide nchara, ike igwe, ma ọ bụ nnabata anya a na-agbanwe agbanwe, mana ọ chọrọ njikwa ígwè kpọmkwem iji zere ibute ntụpọ ndị na-emebi arụmọrụ anya.
Ọzọkwa, njirimara microstructural nke ihe a na-achọ—nha ọka, porosity, na nhazi kristal—nwere ike imetụta ọdịdị na njupụta nke ihe nkiri ahụ e tinyere. Dịka ọmụmaatụ, na magnetron sputtering, microstructure lekwasịrị anya na-emetụta mmepụta sputter, nkesa akụkụ nke ụdị ndị a na-achụpụ, na nrụgide fim, nke niile na-enye aka na nha anya na ịdịte aka.
Iji nweta ihe nkiri dị gịrịgịrị dị elu, ọ dị mkpa ijikọta nhazi ebumnuche na paramita usoro. Nhọrọ nke usoro itinye ihe, okpomọkụ substrate, ike sputtering, na gburugburu vacuum ga-abụrịrị nke kachasị mma yana nhazi ebumnuche iji chịkwaa stoichiometry ihe nkiri, njupụta, na nhazi ntụpọ. Ngwọta mkpuchi vacuum dị elu na-eji sistemụ nlekota na nzaghachi n'ime ebe ahụ iji gbanwee ọnọdụ itinye ihe n'ime ya nke ọma, na-ahụ na njirimara anya nke ihe nkiri ahụ kwekọrọ na nkọwapụta imewe.
Na nchịkọta, ihe a na-elekwasị anya abụghị naanị isi iyi nke atọm dị na mkpuchi vacuum—ọ bụ isi ihe na-ekpebi ihe ndị dị mkpa maka ihe nkiri dị gịrịgịrị. Njikwa nlezianya na nhazi kemịkalụ ya, ịdị ọcha ya, na obere nhazi dị mkpa iji nweta ihe ngosi refractive ziri ezi, iguzosi ike n'ezi ihe, na nkwụsi ike ogologo oge na mkpuchi dielectric na metal. Ka teknụzụ mkpuchi vacuum na-agbanwe gaa na nkenke dị elu na usoro nhazi dị iche iche dị mgbagwoju anya, ọrụ nke ihe ndị a na-elekwasị anya na-aghọwanye ihe dị oke mkpa, na-akwado arụmọrụ nke ihe ndị dị na anya na sistemụ ngosipụta, photonics, sensọ, na ngwaọrụ ike.
E bipụtara akụkọ a site n'akaonye nrụpụta akụrụngwa mkpuchi ikukuZhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-03-2026