ບົດບາດທີ່ກຳນົດຂອງອົງປະກອບວັດສະດຸເປົ້າໝາຍຕໍ່ປະສິດທິພາບທາງແສງຂອງຟິມບາງໆ

In ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ທັນສະໄໝ, ປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງຂອງຟິມບາງໆແມ່ນເຊື່ອມໂຍງໂດຍກົງກັບອົງປະກອບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງວັດສະດຸເປົ້າໝາຍທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການວາງຊັ້ນ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນໃນລະບົບ PVD, ການສະເປດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ຫຼື ລະບົບ ALD ແລະ PECVD ທີ່ກ້າວໜ້າ, ເປົ້າໝາຍເຮັດໜ້າທີ່ເປັນແຫຼ່ງພື້ນຖານຂອງວັດສະດຸທີ່ໃນທີ່ສຸດກໍ່ປະກອບເປັນຊັ້ນທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ອົງປະກອບຂອງທາດ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະ ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງມັນມີອິດທິພົນຢ່າງເດັດຂາດຕໍ່ດັດຊະນີການຫັກເຫ, ສຳປະສິດການສູນພັນ, ແລະ ພຶດຕິກຳທາງສະເປກຕຣຳໂດຍລວມຂອງຟິມທີ່ວາງຊັ້ນ.

ການປ່ຽນແປງຂອງອົງປະກອບເປົ້າໝາຍສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ stoichiometry ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມບາງໆ, ເຊິ່ງໃນທາງກັບກັນຈະກຳນົດຄ່າຄົງທີ່ທາງແສງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງປະສິດທິພາບ. ຕົວຢ່າງ, ໃນການເຄືອບໄດອີເລັກຕຣິກທີ່ອອກແບບມາສຳລັບການນຳໃຊ້ຕ້ານການສະທ້ອນ ຫຼື ການສະທ້ອນສູງ, ການຄວບຄຸມອັດຕາສ່ວນໂລຫະອົກໄຊທີ່ຊັດເຈນ - ເຊັ່ນ TiO₂, SiO₂, ຫຼື Al₂O₃ - ແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງເລັກນ້ອຍໃນປະລິມານອົກຊີເຈນ ຫຼື ອັດຕາສ່ວນ cation ໃນເປົ້າໝາຍສາມາດນຳໄປສູ່ການປ່ຽນແປງຂອງດັດຊະນີການຫັກເຫ, ການດູດຊຶມທາງແສງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຫຼື ການບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງແຖບສະເປກຕຣຳ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນໃນລະບົບທາງແສງ.

ໃນລັກສະນະດຽວກັນ, ໃນຟິມບາງໆທີ່ເປັນໂລຫະ, ສ່ວນປະກອບເປົ້າໝາຍກຳນົດຄວາມໜາແໜ້ນຂອງເອເລັກຕຣອນອິດສະຫຼະ, ພຶດຕິກຳຂອງພລາສມອນໜ້າດິນ, ແລະ ການສະທ້ອນແສງໃນທົ່ວສະເປກຕຣຳທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ ແລະ ອິນຟາເຣດ. ເປົ້າໝາຍທອງແດງ, ເງິນ, ຫຼື ອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຮັບປະກັນການຕົກຕະກອນທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຈຸດສູນກາງການກະແຈກກະຈາຍທີ່ສາມາດຫຼຸດຄວາມສະໝ່ຳສະເໝີທາງແສງ. ເປົ້າໝາຍທີ່ມີໂລຫະປະສົມ ຫຼື ເປົ້າໝາຍທີ່ມີສານປະສົມມັກຖືກອອກແບບມາເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຄຸນສົມບັດຂອງຟິມສະເພາະ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ຄວາມແຂງທາງກົນຈັກ, ຫຼື ການດູດຊຶມທາງແສງທີ່ສາມາດປັບໄດ້, ແຕ່ຕ້ອງການການຄວບຄຸມທາງໂລຫະທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການນຳເອົາຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບທາງແສງຫຼຸດລົງ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄຸນລັກສະນະທາງດ້ານໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງເປົ້າໝາຍ — ຂະໜາດຂອງເມັດ, ຄວາມพรຸນ, ແລະ ທິດທາງຂອງຜລຶກ — ສາມາດມີອິດທິພົນຕໍ່ຮູບຮ່າງ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງຟິມທີ່ວາງໄວ້. ຕົວຢ່າງ, ໃນການສະເປເຕີ້ແມກນີຕຣອນ, ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງເປົ້າໝາຍມີຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງສະເປເຕີ້, ການແຈກຢາຍມຸມຂອງຊະນິດທີ່ຖືກປ່ອຍອອກມາ, ແລະ ຄວາມກົດດັນຂອງຟິມ, ເຊິ່ງທັງໝົດນີ້ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງແສງ ແລະ ຄວາມທົນທານ.

ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຟິມບາງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ມັນເປັນສິ່ງສຳຄັນທີ່ຈະຕ້ອງປະສົມປະສານການອອກແບບເປົ້າໝາຍເຂົ້າກັບພາລາມິເຕີຂອງຂະບວນການ. ການເລືອກເຕັກນິກການວາງຊັ້ນ, ອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ພະລັງງານການສະເປເຕີ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດຮ່ວມກັບສ່ວນປະກອບເປົ້າໝາຍເພື່ອຄວບຄຸມປະລິມານສານຕໍ່ຂອງຟິມ, ຄວາມໜາແໜ້ນ, ແລະການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງ. ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ກ້າວໜ້າໃຊ້ປະໂຫຍດຈາກລະບົບການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ລະບົບການຕອບສະໜອງໃນສະຖານທີ່ເພື່ອປັບສະພາບການວາງຊັ້ນແບບໄດນາມິກ, ຮັບປະກັນວ່າຄຸນສົມບັດທາງແສງຂອງຟິມກົງກັບຂໍ້ກຳນົດການອອກແບບຢ່າງໃກ້ຊິດ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນແຫຼ່ງຂອງອະຕອມໃນການເຄືອບສູນຍາກາດເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນຕົວກຳນົດພື້ນຖານຂອງຄຸນສົມບັດທາງແສງຂອງຟິມບາງໆ. ການຄວບຄຸມຢ່າງລະອຽດກ່ຽວກັບອົງປະກອບທາງເຄມີ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງມັນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເພື່ອບັນລຸດັດຊະນີການຫັກເຫທີ່ຊັດເຈນ, ຄວາມແນ່ນອນຂອງສະເປກຕຣຳ, ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວທັງໃນການເຄືອບໄດອີເລັກຕຣິກ ແລະໂລຫະ. ໃນຂະນະທີ່ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດພັດທະນາໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະສະຖາປັດຕະຍະກຳຫຼາຍຊັ້ນທີ່ສັບສົນ, ບົດບາດຂອງວັດສະດຸເປົ້າໝາຍກາຍເປັນສິ່ງສຳຄັນຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເປັນພື້ນຖານໃຫ້ແກ່ປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບທາງແສງໃນລະບົບຈໍສະແດງຜົນ, ໂຟໂຕນິກ, ເຊັນເຊີ, ແລະອຸປະກອນພະລັງງານ.

ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua